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公开(公告)号：CN108767059A
公开(公告)日：2018-11-06
申请号：CN201810522180.8
申请日：2018-05-28
申请人： 山东建筑大学
IPC分类号： H01L31/18 , H01L31/032 , H01L21/368
CPC分类号： H01L31/18 , H01L21/02568 , H01L21/02628 , H01L21/02664 , H01L31/0322
摘要： 一种制备铜铟镓碲薄膜材料的制备方法，属于光电薄膜制备技术领域，本发明通过如下步骤得到，首先清洗玻璃基片，然后将TeO2、Cu(NO3)2、In(NO3)3和Ga(NO3)3先后放入溶剂中，配制澄清透明溶液，用旋涂法在玻璃片上得到前驱体薄膜，自然晾干，放入有水合联氨的可密闭容器，使前驱体薄膜样品不与联氨接触，将装有前驱体薄膜样品的密闭容器进行加热后取出样品进行干燥，可通过增加反应次数和热处理工艺改善薄膜质量，得到铜铟镓碲光电薄膜。本发明不需要高温高真空条件，对仪器设备要求低，生产成本低，生产效率高，易于操作。所得铜铟镓碲光电薄膜有较好的连续性和均匀性，这种新工艺为制备高性能的铜铟镓碲光电薄膜提供了一种成本低、可实现工业化的生产方法。
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公开(公告)号：CN108520900A
公开(公告)日：2018-09-11
申请号：CN201810523623.5
申请日：2018-05-28
申请人： 山东建筑大学
IPC分类号： H01L31/0216 , C03C17/22 , C01B19/00
CPC分类号： H01L31/0216 , C01B19/00 , C03C17/22 , C03C2217/289 , C03C2218/116 , C03C2218/31
摘要： 一种硝酸盐体系制备铜铝碲薄膜材料的制备方法，属于光电薄膜制备技术领域，本发明通过如下步骤得到，首先清洗玻璃基片，然后将TeO2、Cu(NO3)2和Al(NO3)3先后放入溶剂中，配制澄清透明溶液，用旋涂法在玻璃片上得到前驱体薄膜，自然晾干，放入有水合联氨的可密闭容器，使前驱体薄膜样品不与联氨接触，将装有前驱体薄膜样品的密闭容器进行加热后取出样品进行干燥，可通过增加反应次数和热处理工艺改善薄膜质量，得到铜铝碲光电薄膜。本发明不需要高温高真空条件，对仪器设备要求低，生产成本低，生产效率高，易于操作。所得铜铝碲光电薄膜有较好的连续性和均匀性，这种新工艺为制备高性能的铜铝碲光电薄膜提供了一种成本低、可实现工业化的生产方法。
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公开(公告)号：CN108711584A
公开(公告)日：2018-10-26
申请号：CN201810522795.0
申请日：2018-05-28
申请人： 山东建筑大学
IPC分类号： H01L31/18 , H01L31/032 , H01L21/368
CPC分类号： H01L31/18 , H01L21/02568 , H01L21/02628 , H01L21/02664 , H01L31/0322
摘要： 一种制备铜铟铝碲薄膜材料的制备方法，属于光电薄膜制备技术领域，本发明通过如下步骤得到，首先清洗玻璃基片，然后将TeO2、Cu(NO3)2、In(NO3)3和Al(NO3)3先后放入溶剂中，配制澄清透明溶液，用旋涂法在玻璃片上得到前驱体薄膜，自然晾干，放入有水合联氨的可密闭容器，使前驱体薄膜样品不与联氨接触，将装有前驱体薄膜样品的密闭容器进行加热后取出样品进行干燥，可通过增加反应次数和热处理工艺改善薄膜质量，得到铜铟铝碲光电薄膜。本发明不需要高温高真空条件，对仪器设备要求低，生产成本低，生产效率高，易于操作。所得铜铟铝碲光电薄膜有较好的连续性和均匀性，这种新工艺为制备高性能的铜铟铝碲光电薄膜提供了一种成本低、可实现工业化的生产方法。
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公开(公告)号：CN108624873A
公开(公告)日：2018-10-09
申请号：CN201810523624.X
申请日：2018-05-28
申请人： 山东建筑大学
IPC分类号： C23C18/12
CPC分类号： C23C18/1204 , C23C18/1245 , C23C18/1279 , C23C18/1291
摘要： 一种硝酸盐体系制备铜铟碲薄膜材料的制备方法，属于光电薄膜制备技术领域，本发明通过如下步骤得到，首先清洗玻璃基片，然后将TeO2、Cu(NO3)2和In(NO3)3先后放入溶剂中，配制澄清透明溶液，用旋涂法在玻璃片上得到前驱体薄膜，自然晾干，放入有水合联氨的可密闭容器，使前驱体薄膜样品不与水合联氨接触，将装有前驱体薄膜样品的密闭容器进行加热后取出样品进行干燥，可通过增加反应次数和热处理工艺改善薄膜质量，得到铜铟碲光电薄膜。本发明不需要高温高真空条件，对仪器设备要求低，生产成本低，生产效率高，易于操作。所得铜铟碲光电薄膜有较好的连续性和均匀性，这种新工艺为制备高性能的铜铟碲光电薄膜提供了一种成本低、可实现工业化的生产方法。
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公开(公告)号：CN108682619A
公开(公告)日：2018-10-19
申请号：CN201810522852.5
申请日：2018-05-28
申请人： 山东建筑大学
CPC分类号： H01L21/02521 , H01L31/18
摘要： 一种硝酸盐体系制备铜镓碲薄膜材料的制备方法，属于光电薄膜制备技术领域，本发明通过如下步骤得到，首先清洗玻璃基片，然后将TeO2、Cu(NO3)2和Ga(NO3)3先后放入溶剂中，配制澄清透明溶液，用旋涂法在玻璃片上得到前驱体薄膜，自然晾干，放入有水合联氨的可密闭容器，使前驱体薄膜样品不与联氨接触，将装有前驱体薄膜样品的密闭容器进行加热后取出样品进行干燥，可通过增加反应次数和热处理工艺改善薄膜质量，得到铜镓碲光电薄膜。本发明不需要高温高真空条件，对仪器设备要求低，生产成本低，生产效率高，易于操作。所得铜镓碲光电薄膜有较好的连续性和均匀性，这种新工艺为制备高性能的铜镓碲光电薄膜提供了一种成本低、可实现工业化的生产方法。
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公开(公告)号：CN108682618A
公开(公告)日：2018-10-19
申请号：CN201810522839.X
申请日：2018-05-28
申请人： 山东建筑大学
CPC分类号： H01L21/02521 , H01L31/18
摘要： 一种氯化物体系制备铜镓碲薄膜材料的制备方法，属于光电薄膜制备技术领域，本发明通过如下步骤得到，首先清洗玻璃基片，然后将TeO2、CuCl2和GaCl3先后放入溶剂中，配制澄清透明溶液，用旋涂法在玻璃片上得到前驱体薄膜，自然晾干，放入有水合联氨的可密闭容器，使前驱体薄膜样品不与水合联氨接触，将装有前驱体薄膜样品的密闭容器进行加热后取出样品进行干燥，可通过增加反应次数和热处理工艺改善薄膜质量，得到铜镓碲光电薄膜。本发明不需要高温高真空条件，对仪器设备要求低，生产成本低，生产效率高，易于操作。所得铜镓碲光电薄膜有较好的连续性和均匀性，这种新工艺为制备高性能的铜镓碲光电薄膜提供了一种成本低、可实现工业化的生产方法。
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