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公开(公告)号：CN118910416A
公开(公告)日：2024-11-08
申请号：CN202411419326.8
申请日：2024-10-12
申请人： 山东有研国晶辉新材料有限公司 , 有研亿金新材料(山东)有限公司
IPC分类号： C22B9/22
摘要： 本申请涉及金属熔炼技术领域的一种电子束炉结晶器及其制造方法和熔炼装置，电子束炉结晶器包括：结晶套，所述结晶套内形成有引锭腔，所述引锭腔的两端分别形成熔液进口和铸锭出口；多个隔板，所述多个隔板间隔的安装于所述结晶套的外周，隔板的两端分别靠近所述熔液进口和铸锭出口，相邻隔板之间形成流道；冷却液套，所述冷却液套套设于所述结晶套和所述多个隔板外侧，所述冷却液套上形成有与各所述流道的其中一共同端连通的进液腔体和与各所述流道的另一共同端连通的出液腔体。本申请的电子束炉结晶器可以提升对铸锭的冷却均匀性，提高铸锭的品质。
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公开(公告)号：CN116103622A
公开(公告)日：2023-05-12
申请号：CN202211611028.X
申请日：2022-12-14
申请人： 有研亿金新材料有限公司 , 有研亿金新材料(山东)有限公司
摘要： 本发明涉及磁控溅射靶材技术领域，尤其涉及一种高纯铝合金靶材及其制备方法，制备方法包括制备铝熔液、M熔液加料、合金熔炼及浇注和靶材制备。本发明的制备方法先将铝锭原料采用感应熔炼熔化为铝熔液，再采用高能束流将置于感应坩埚正上方的高熔点M棒料底端熔化形成M熔液，高熔点金属M直接以液态形式加入铝熔液中，为液‑液混合熔炼，这样，一方面避免了高温金属沉底坩埚或反应不充分，从而导致合金成分失配的问题，另一方面，液‑液混合可快速形成铝合金熔液，从而极大降低熔炼温度，避免了高温导致的铝挥发及熔液与坩埚反应引杂。
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公开(公告)号：CN115369366B
公开(公告)日：2023-02-14
申请号：CN202211299707.8
申请日：2022-10-24
申请人： 有研亿金新材料有限公司 , 有研亿金新材料(山东)有限公司
摘要： 本发明公开了一种背面强化的单体靶材及其制备方法，该背面强化的单体靶材包括一体成型的溅射层和强化层；所述溅射层的晶粒尺寸≤100μm；所述强化层位于溅射层的背面，强化层的硬度大于溅射层的硬度，强化层的厚度为0.5mm‑3mm，强化层的晶粒尺寸≤1μm。一方面本发明提供的背面强化的单体靶材不需要增加背板，避免了高成本和流程复杂的扩散焊接工艺；另一方面，相对于大尺寸靶材的整体强塑性变形工艺，本发明提供的方法仅仅是在靶材背面进行区域强塑性变形，工艺简单灵活。此外，本发明公开的方法能够改善材料表层的微观组织结构，有效提高工件的机械性能，进而使靶材的强度得到显著提升。
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公开(公告)号：CN118751909A
公开(公告)日：2024-10-11
申请号：CN202410695113.1
申请日：2024-05-31
申请人： 有研亿金新材料(山东)有限公司 , 有研亿金新材料有限公司
摘要： 本发明公开了一种可排气可除渣高纯金属铸造用漏斗装置及其使用方法；包括：漏斗本体和挡板，漏斗本体底部设有漏斗底孔，漏斗本体底部外固接有支撑圈，支撑圈上开有排气口，漏斗本体顶部一体固接有漏斗挂耳；挡板顶部含有挡板梁，挡板夹紧插入在漏斗挂耳的插槽中，挡板与漏斗本体的内壁接触。本发明在金属熔液浇注进入漏斗后，挡板可防止旋涡的产生，阻止氧化物、坩埚剥落物等随着旋涡进入铸模内，漏斗支撑圈上的排气孔可实现铸模内残有气体的排出，装置结构简单，操作方便且成本低，可获得内部致密、无夹杂、无气孔的高品质铸锭。
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公开(公告)号：CN116219446A
公开(公告)日：2023-06-06
申请号：CN202211546323.1
申请日：2022-12-05
申请人： 有研亿金新材料有限公司 , 有研亿金新材料(山东)有限公司
IPC分类号： C23G5/028
摘要： 一种集成电路用靶材的精密清洗方法，包括：(1)靶材在高纯有机溶剂清洗剂中进行高频超声清洗；(2)经步骤(1)超声清洗后的靶材浸泡在高纯共沸物有机溶剂清洗剂中进行漂洗；(3)靶材在蒸汽干燥箱中加热器对步骤(2)所用的高纯有机溶剂清洗剂进行加热，高纯有机溶剂清洗剂加热形成蒸汽清洗靶材，再停止加热溶剂，对靶材进行单独加热，干燥后得到洁净的靶材。所述工艺方法能够实现靶材在成品清洗过程中全程避免和水接触，有效杜绝靶材表面发生电化学反应的可能性，同时能够有效去除靶材表面可能存在的颗粒和油污等污染物，其清洗过程简单高效，整个清洗过程在密闭环境中进行，清洗液可以回收循环利用，排放少，实现集成电路用靶材的精密清洗。
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公开(公告)号：CN118699807A
公开(公告)日：2024-09-27
申请号：CN202411195254.3
申请日：2024-08-29
申请人： 有研亿金新材料有限公司 , 有研亿金新材料(山东)有限公司
摘要： 本发明公开了一种大尺寸靶材加工全流程自动化产线及靶材生产方法，属于靶材加工技术领域。本发明的自动化产线呈直线布置，包括地面轨道、机器人缓存托盘、机器人、MES系统装置、机床、工件翻转台、超声清洗池、上料台与下料台。本发明通过设置三台机床对工件进行加工，利用在机床前平行摆放的地面轨道及机器人缓存托盘移动机器人，通过对机器人的控制完成工件的搬运动作。同时，设置有工件翻转平台，与机器人搬运配合进行工件翻转，用于代替人工减少人力成本；机床中设置有防划伤夹具，可进一步减少靶材的划伤；上下料台的镂空圆孔及超声清洗池可减少靶材表面切削液残留，避免靶材氧化导致表面质量不合格；靶材加工信息与MES系统互联，便于管理。
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公开(公告)号：CN117758087A
公开(公告)日：2024-03-26
申请号：CN202311669914.2
申请日：2023-12-07
申请人： 有研亿金新材料有限公司 , 有研亿金新材料(山东)有限公司
摘要： 一种超高纯铜锰合金材料的熔炼方法，包含：S1配料，准备超高纯铜和高纯锰，并按照一定质量百分比进行配料；S2将原材料放入真空悬浮熔炼炉的水冷铜坩埚进行升温，经过熔化精炼后，浇注形成一次铸锭；S3将一次合金铸锭在电子束熔炼炉中经电子束熔炼，最终经过二次冷却与扒皮，得到高纯铜锰合金锭；这种熔炼方法在熔炼时采用水冷铜坩埚进行熔炼，有效的避免了真空感应炉熔炼时高纯锰与石墨坩埚发生反应，在后续的电子束熔炼后，铸锭的元素成分均匀；用电子束熔炼内部基本无缺陷，该熔炼流程既能保证铸锭内部缺陷较少，有较高成材率，还能让铸锭成分均匀。
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公开(公告)号：CN115753567A
公开(公告)日：2023-03-07
申请号：CN202310036978.2
申请日：2023-01-10
申请人： 有研亿金新材料有限公司 , 有研亿金新材料(山东)有限公司
IPC分类号： G01N15/10
摘要： 本发明涉及微粒计算技术领域，尤其涉及一种对铜或铜合金进行微粒计数的分析方法，将包括硝酸与纯水按照一定的比例混合，在常温下与铜或铜合金材料发生反应，将铜或铜合金材料溶解其中，再用碱性试剂将硝酸铜溶液中和，加入表面活性剂，定容摇匀，得到待测溶液。本发明得到的待测溶液为中性溶液，不会出现粒子在酸液中继续反应生成或者减少的可能，从而保证溶液中粒子稳定，同时由于超高纯铜中存在粒子夹杂尺寸通常＜2μm，较多粒子尺寸在亚微米量级，在溶液中存在团聚的可能，加入表面活性剂，能够有效分散微细粒子，进而能够精准分析计算待测溶液中铜或铜合金材料的颗粒度。
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公开(公告)号：CN115369366A
公开(公告)日：2022-11-22
申请号：CN202211299707.8
申请日：2022-10-24
申请人： 有研亿金新材料有限公司 , 有研亿金新材料(山东)有限公司
摘要： 本发明公开了一种背面强化的单体靶材及其制备方法，该背面强化的单体靶材包括一体成型的溅射层和强化层；所述溅射层的晶粒尺寸≤100μm；所述强化层位于溅射层的背面，强化层的硬度大于溅射层的硬度，强化层的厚度为0.5mm‑3mm，强化层的晶粒尺寸≤1μm。一方面本发明提供的背面强化的单体靶材不需要增加背板，避免了高成本和流程复杂的扩散焊接工艺；另一方面，相对于大尺寸靶材的整体强塑性变形工艺，本发明提供的方法仅仅是在靶材背面进行区域强塑性变形，工艺简单灵活。此外，本发明公开的方法能够改善材料表层的微观组织结构，有效提高工件的机械性能，进而使靶材的强度得到显著提升。
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公开(公告)号：CN220161289U
公开(公告)日：2023-12-12
申请号：CN202320255222.2
申请日：2023-02-20
申请人： 有研亿金新材料有限公司 , 有研亿金新材料(山东)有限公司
摘要： 本实用新型提供了一种防反溅可排气高纯金属铸造用漏斗装置，包括漏斗本体和排气盖，排气盖与漏斗本体设置为分体式结构，排气盖可拆卸地盖合在漏斗本体的上端，漏斗本体底部中心开设有浇铸孔，漏斗本体设置为圆筒型结构，漏斗本体的内腔上端为圆柱形腔，圆柱形腔的内壁下端通过弧形凹面过渡连接有内腔斜侧壁，内腔斜侧壁通过弧形凸面与浇铸孔的内壁相连接；排气盖设置为圆柱形结构，排气盖的上端开设有若干通孔。
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