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公开(公告)号:CN101578700B
公开(公告)日:2012-11-14
申请号:CN200780039010.4
申请日:2007-08-13
申请人: 布鲁克斯自动化公司
IPC分类号: H01L21/677
CPC分类号: H01L21/67733 , H01L21/67017 , H01L21/67126 , H01L21/67201 , H01L21/67276 , H01L21/67376 , H01L21/67379 , H01L21/67386 , H01L21/677 , H01L21/67706 , H01L21/67715 , H01L21/67724 , H01L21/67727 , H01L21/6773 , H01L21/67736 , H01L21/67757 , H01L21/67766 , H01L21/67769 , H01L21/67772 , H01L21/67775
摘要: 依照本发明的实施方案中的一种半导体工件加工系统具有至少一件用于加工半导体工件的加工工具,一种用于承载至少一件加工工具的容器,容器中的半导体工件可以在至少一种加工工具之间往返传送,以及一种延长的初级传送单元,该单元界定了运动方向。此初级传送单元具有与容器相接口的部件,初级传送单元支撑容器并沿着此运动方向在至少一件加工工具之间往返传送容器。当这个容器由此初级传送单元支撑的时候,这个容器沿着此运动方向以基本恒定的速度被基本连续得传送。一种与至少一件加工工具相连接的次级传送单元,该次级单元在至少一件加工工具之间往返传送容器。
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公开(公告)号:CN101048861A
公开(公告)日:2007-10-03
申请号:CN200580036308.0
申请日:2005-08-23
申请人: 布鲁克斯自动化公司
IPC分类号: H01L21/673
CPC分类号: H01L21/677 , B65G47/50 , H01L21/67276 , H01L21/67769 , H01L21/67772 , H01L21/67775 , Y10S414/14
摘要: 提供了基片处理装备。该装备具有壳体、下部口接口和运载器保持站。壳体在其内部具有用于处理基片的处理设备。装载口接口连接到壳体以将基片装载到处理设备内。运载器保持站连接到壳体。运载器保持站适用于在装载口接口处保持至少一个基片传送运载器。运载器保持站设置为提供用于从运载器保持站替换基片传送运载器的快速交换区段。
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公开(公告)号:CN101048861B
公开(公告)日:2010-05-26
申请号:CN200580036308.0
申请日:2005-08-23
申请人: 布鲁克斯自动化公司
IPC分类号: H01L21/673
CPC分类号: H01L21/677 , B65G47/50 , H01L21/67276 , H01L21/67769 , H01L21/67772 , H01L21/67775 , Y10S414/14
摘要: 提供了基片处理装备。该装备具有壳体、下部口接口和运载器保持站。壳体在其内部具有用于处理基片的处理设备。装载口接口连接到壳体以将基片装载到处理设备内。运载器保持站连接到壳体。运载器保持站适用于在装载口接口处保持至少一个基片传送运载器。运载器保持站设置为提供用于从运载器保持站替换基片传送运载器的快速交换区段。
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公开(公告)号:CN101578700A
公开(公告)日:2009-11-11
申请号:CN200780039010.4
申请日:2007-08-13
申请人: 布鲁克斯自动化公司
IPC分类号: H01L21/677
CPC分类号: H01L21/67733 , H01L21/67017 , H01L21/67126 , H01L21/67201 , H01L21/67276 , H01L21/67376 , H01L21/67379 , H01L21/67386 , H01L21/677 , H01L21/67706 , H01L21/67715 , H01L21/67724 , H01L21/67727 , H01L21/6773 , H01L21/67736 , H01L21/67757 , H01L21/67766 , H01L21/67769 , H01L21/67772 , H01L21/67775
摘要: 依照本发明的实施方案中的一种半导体工件加工系统具有至少一件用于加工半导体工件的加工工具,一种用于承载至少一件加工工具的容器,容器中的半导体工件可以在至少一种加工工具之间往返传送,以及一种延长的初级传送单元,该单元界定了运动方向。此初级传送单元具有与容器相接口的部件,初级传送单元支撑容器并沿着此运动方向在至少一件加工工具之间往返传送容器。当这个容器由此初级传送单元支撑的时候,这个容器沿着此运动方向以基本恒定的速度被基本连续得传送。一种与至少一件加工工具相连接的次级传送单元,该次级单元在至少一件加工工具之间往返传送容器。
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