刻蚀图案套印高精度对位方法及装置

    公开(公告)号:CN105895734B

    公开(公告)日:2017-07-28

    申请号:CN201610095279.5

    申请日:2016-02-22

    IPC分类号: H01L31/18 H01L21/68

    CPC分类号: Y02P70/521

    摘要: 本发明公开了一种刻蚀图案套印高精度对位方法,包括下述步骤:S1:提供硅片和浆料载体;S2:视觉识别系统拍摄硅片的图片;S3:在图片上选取固定位置的ROI区域,通过垂直投影方法,获得一组ROI区域内的数据,通过离散数据曲线平滑算法对数据进行预处理,计算得出波峰的位置和线宽;S4:比对ROI区域内掩膜线的线宽与波峰的宽度,计算得出掩膜线图案的角度;S5:通过运动装置旋转硅片相应的角度和位置,使掩膜线的图案和浆料载体图案重合;S6:激光作用到浆料载体上,浆料最终作用到掩膜线的图案位置。同时,本发明还公开了一种刻蚀图案套印高精度对位装置。本发明提高了刻蚀图案与电极图案对位的精准度,提高了电池片的效率,节省了掩膜成本。

    太阳能电池制绒方法
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN102832291A

    公开(公告)日:2012-12-19

    申请号:CN201210292206.7

    申请日:2012-08-16

    发明人: 祁宏山 肖新民

    IPC分类号: H01L31/18 C30B33/10

    CPC分类号: Y02P70/521

    摘要: 本发明涉及太阳能电池制作技术领域,特别是一种太阳能电池制绒方法。该方法,首先采用金刚石砂喷砂的方法处理硅片的表面,喷砂处理后的硅片首先采用HF和HNO3的混合溶液进行清洗,然后采用KOH溶液清洗。本发明的有益效果是:采用机械喷砂制绒方法,可减少使用制绒药液,降低废液处理成本。有规则的金属砂颗粒冲击后的硅片表面,并通过HF和HNO3的混合溶液和KOH溶液处理机械制绒后的表面,形成较规则的缺陷少的硅片绒面,大大降低硅片表面的光反射率,提高了电池片转换效率。

    多晶硅铸锭炉下炉体定向凝固系统及其铸锭工艺

    公开(公告)号:CN102425005A

    公开(公告)日:2012-04-25

    申请号:CN201110405656.8

    申请日:2011-12-08

    IPC分类号: C30B28/06 C30B29/06

    摘要: 本发明涉及多晶硅铸锭炉下炉体定向凝固系统及其铸锭工艺,该下炉体定向凝固系统包括下炉体、隔热笼底板和抬升装置,隔热笼底板通过抬升装置驱动在下炉体内抬升、下降,抬升装置包括石墨支撑杆、丝杆、涡轮蜗杆升降机、抬升底板和伺服电机,在该铸锭工艺中,隔热笼往上抬升0~380mm同时,隔热笼底板往下降0~150mm,硅料由底部向上进行定向凝结。本发明的有益效果是:本发明采用抬升下炉体隔热笼底板的定向凝固系统及其铸锭工艺,可显著提高多晶硅的生长速度,提高原材料产能和新材料光电转换效率、节省原材料成本和消耗电量、系统定向凝固效果好且节省了铸锭炉自身的升级成本。

    硅片湿法刻蚀设备及其刻蚀方法

    公开(公告)号:CN103805998B

    公开(公告)日:2016-07-13

    申请号:CN201410075181.4

    申请日:2014-03-03

    IPC分类号: C23F1/08

    摘要: 本发明涉及一种硅片湿法刻蚀设备及其刻蚀方法,包括输送滚轮、储液盒和进液管道,储液盒内具有储液腔体,储液盒设置在输送滚轮的上方,反应液通过进液管道进入储液盒,储液盒的底部设置多个将反应液喷向通过输送滚轮输送的硅片的上表面的喷液孔。反应液从硅片上方的储液盒的喷液孔均匀喷向通过其下方的硅片,使反应液在硅片表面溢流。本发明的有益效果是:通过喷射反应液,使反应液在硅片表面溢流,即提高了反应液与硅片的反应速率,又保证了刻蚀均匀性。

    一种电池片正面栅线电极结构及其印刷方法

    公开(公告)号:CN105280730A

    公开(公告)日:2016-01-27

    申请号:CN201510302522.1

    申请日:2015-06-05

    发明人: 祁宏山 肖新民

    IPC分类号: H01L31/0224

    CPC分类号: H01L31/022425

    摘要: 本发明公开了一种电池片正面栅线电极结构,属于太阳能电池技术领域,包括复数条主栅电极(1),以及若干条与主栅电极垂直的副栅电极(2),其特征在于:所述主栅电极(1)分为镂空区域(11)和非镂空区域(12),镂空区域(11)和非镂空区域(12)间隔设置,镂空区域(11)的面积占有整个主栅电极的30-50%,主栅电极的末尾段(13)呈箭头形状,位于最外侧的两根主栅电极(1)在靠近末尾段(13)的区域各开设有一镂空的定位窗口(3),定位窗口(3)为边长范围在0.8-1mm的正方形。同时,本发明还公开了一种制备上述电池片正面栅线电极结构的印刷方法。本发明可有效地降低生产成本,同时,提高电池片的光电转换效率。

    太阳能电池片选择性刻蚀装置及方法

    公开(公告)号:CN102751185B

    公开(公告)日:2015-08-19

    申请号:CN201210253217.4

    申请日:2012-07-20

    IPC分类号: H01L21/308

    摘要: 本发明提供了一种太阳能电池片选择性刻蚀装置及方法,所述刻蚀装置包括:传输辊;设置在所述传输辊上方的涂布辊,所述涂布辊的表面包覆有吸液层,并且所述涂布辊与传输辊之间的间距小于太阳能电池片的厚度;其中,所述传输辊旋转对所述太阳能电池片进行传输,所述吸液层受挤压后将吸附的刻蚀液涂布至所述太阳能电池片的上表面。本发明与现有工艺兼容性良好,并且能够解决溶液消耗量大、喷洒均匀性要求高、设备维护成本高等问题。

    硅片湿法刻蚀设备及其刻蚀方法

    公开(公告)号:CN103805998A

    公开(公告)日:2014-05-21

    申请号:CN201410075181.4

    申请日:2014-03-03

    IPC分类号: C23F1/08

    摘要: 本发明涉及一种硅片湿法刻蚀设备及其刻蚀方法,包括输送滚轮、储液盒和进液管道,储液盒内具有储液腔体,储液盒设置在输送滚轮的上方,反应液通过进液管道进入储液盒,储液盒的底部设置多个将反应液喷向通过输送滚轮输送的硅片的上表面的喷液孔。反应液从硅片上方的储液盒的喷液孔均匀喷向通过其下方的硅片,使反应液在硅片表面溢流。本发明的有益效果是:通过喷射反应液,使反应液在硅片表面溢流,既提高了反应液与硅片的反应速率,又保证了刻蚀均匀性。

    用于电极激光转印中的激光转印对准装置及其对准方法

    公开(公告)号:CN104647885A

    公开(公告)日:2015-05-27

    申请号:CN201410817382.7

    申请日:2014-12-24

    IPC分类号: B41F15/14

    摘要: 本发明公开了一种用于电极激光转印中的激光转印对准装置,它包括:浆料载体,所述浆料载体具有至少一个和打印工位上的待打印电池片的金属电极相对应的金属电极镂空图案;激光器,所述激光器具有一激光扫描头和一控制器,激光扫描头的信号输入端与控制器的信号输出端相连接;浆料载体视觉定位系统,所述浆料载体视觉定位系统具有反射镜和多个相机,多个相机的信号输出端与控制器的信号输入端相连接;当待打印电池片位于打印工位时,反射镜将浆料载体上金属电极镂空图案的图像反射至多个相机内。本发明实现了激光转印技术实现过程中的图案的精确及数值定位,根据浆料载体的实际图案提高对位的精度,减少此技术印刷不良,实现更精细化的印刷。

    电池片自动裂片装置及自动裂片方法

    公开(公告)号:CN102820244B

    公开(公告)日:2014-11-26

    申请号:CN201210292493.1

    申请日:2012-08-16

    IPC分类号: H01L21/67 H01L21/304

    摘要: 本发明涉及一种电池片自动裂片装置及自动裂片方法,电池片自动裂片装置具有支架、真空吸片机构、齿轮传动机构、动力驱动电机以及控制装置,左、右真空吸附组件表面安装有电池片传感器,动力驱动电机通过输出齿轮驱动齿轮传动机构转动,齿轮传动机构带动左、右真空吸附组件内侧边缘上、下运动,齿轮传动机构安装有位置传感器,自动裂片方法为控制装置接收到电池片传感器的电池片到位信号控制动力驱动电机启动,动力驱动电机通过输出齿轮驱动齿轮传动机构转动到裂片位置,齿轮传动机构带动左、右真空吸附组件内侧边缘上、下运动将太阳能电池片实行裂片。本发明可实现自动分裂激光划线后的太阳能电池片,效率较高。