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公开(公告)号：CN118507376A
公开(公告)日：2024-08-16
申请号：CN202410605849.5
申请日：2024-05-16
申请人： 广州奥松电子股份有限公司 , 北京理工大学 , 北京航空航天大学
IPC分类号： H01L21/66 , H01L23/544
摘要： 本发明公开了一种湿法刻蚀氧化硅终点检测方法，属于半导体刻蚀技术领域，首先，在晶圆表面沿离子注入预设路径制备离子图形，将离子注入在离子图形区域内；其次，在注入离子的晶圆表面制备标记物图形，在注入的离子表面和第二光刻胶层表面分别镀上标记物；然后，在留存在离子表面的标记物上和晶圆上制备保护层；接着，在保护层表面沿离子注入预设路径制备刻蚀图形；最后，在刻蚀的过程中，检测所述标记物的厚度变化并同步确认所述离子表面标记物的颜色变化，当观察所述离子表面标记物颜色消失时，判断离子表面的保护层已被刻蚀完成，停止刻蚀，该检测方法无需进行电阻和膜厚测试，节省了时间和测试步骤，且不容易损伤基底。
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公开(公告)号：CN118471804A
公开(公告)日：2024-08-09
申请号：CN202410537071.9
申请日：2024-04-30
申请人： 广州奥松电子股份有限公司 , 北京理工大学 , 北京航空航天大学
IPC分类号： H01L21/3213 , B81C1/00
摘要： 本申请涉及半导体集成电路制造制造技术领域，具体涉及一种晶圆湿法刻蚀方法及其晶圆，晶圆包括衬底和复合金属层，复合金属层覆盖在衬底的预设面，复合金属层包括第一金属层和第二金属层，第一金属层覆盖在第二金属层的表面，通过本发明提供的湿法刻蚀方法工艺，通过对不同金属层设置不同掩膜版及控制掩膜版透明区域的宽度，有效解决了采用传统工艺对复合金属膜进行湿法刻蚀时，处于底层金属尺寸失真的问题，提高了复合金属薄膜湿法刻蚀底层尺寸精度，也提升了晶圆生产的良品率和可靠性。
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公开(公告)号：CN118937449A
公开(公告)日：2024-11-12
申请号：CN202411028074.6
申请日：2024-07-30
申请人： 广州奥松电子股份有限公司
IPC分类号： G01N27/413
摘要： 本发明属于电化学氧传感器领域，公开了一种电化学氧传感器，由阴极、阳极和电解液组成，所述电解液包括碱金属的氢氧化物、添加剂、稳定剂和水，所述添加剂为可溶性无机盐，稳定剂为水溶性聚合物聚乙烯醇、聚乙烯吡咯烷酮、羟乙基甲基纤维素、羧甲基纤维素钠、碳酸酯中的一种或两种以上。本发明电解液可显著提高传感器氧分压测量范围，可超过4bar，甚至5bar，且氧分压与电压的线性关系良好，从而能保证高氧分压下的测量精度。
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公开(公告)号：CN112595391B
公开(公告)日：2024-10-15
申请号：CN202011393027.3
申请日：2020-12-03
申请人： 广州奥松电子股份有限公司
IPC分类号： G01F25/10
摘要： 本发明公开了一种流量传感器标定夹具及其系统，所述流量传感器标定夹具包括夹具体、止动体、滑动体以及滑轨，所述夹具体沿所述滑轨方向的两端分别与所述止动体和所述滑动体相对接以构成供通气的线性管道，所述滑轨供所述夹具体与所述滑动体线性运动以实现对接和分离所述线性管道，所述夹具体包括实现其两端对调的旋转结构以及与所述线性管道相连通导气、用于容置流量传感器的放置部。流量传感器标定夹具可使构成一线性管道用于导通气体标定放置于放置部的流量传感器，夹具体可通过旋转结构转换方向，提高了标定流量传感器的正确度。流量传感器标定夹具系统具有多个流量传感器标定夹具，可同时标定多个流量传感器，提升了标定流量传感器的效率。
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公开(公告)号：CN118603409A
公开(公告)日：2024-09-06
申请号：CN202410557061.1
申请日：2024-05-07
申请人： 广州奥松电子股份有限公司
IPC分类号： G01L27/00
摘要： 一种真空箱自动调节装置，包括：真空箱、与真空箱导通的真空泵及用于控制真空箱及真空泵的控制组件。控制组件包括：与真空箱气密性导通的顶针阀，用于检测真空箱内部压力的差压传感器，连接于一个伺服电机与顶针阀之间的驱动组件，及与伺服电机和真空泵和差压传感器通信连接的控制器；驱动组件包括与伺服电机连接的驱动轮及与驱动轮啮合的从动轮，从动轮设置于顶针阀。控制器读取差压传感器获取的真空箱的内部压力数值，然后将该压力数值与所需要的压力数值进行比较，然后根据比较后的结果来对真空箱的内部压力进行调节，因此实现了自动实时对真空箱内部压力的调节。
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公开(公告)号：CN114594150B
公开(公告)日：2024-09-06
申请号：CN202210100182.4
申请日：2022-01-27
申请人： 广州奥松电子股份有限公司
IPC分类号： G01N27/409 , C23C16/455
摘要： 本发明涉及传感器及其部件的技术领域，公开了一种固态隔膜，包括衬底和贵金属层，所述贵金属层交替复合在衬底上，所述贵金属层包括至少两种由单一贵金属原子组成的贵金属原子层；所述贵金属原子层通过原子层层积技术沉积于衬底上，形成上、下层叠且紧密结合的贵金属层，相邻两个材质不同的贵金属原子层保持各自原有的贵金属特性。本发明通过原子层沉积技术实现贵金属催化层的形成，其制备的贵金属层结构厚度可控，不影响气体的透过率，且催化活性极高，响应速度快，同时贵金属层在衬底上的附着优良，能在长期高温环境和高浓度电解液下测试，且催化活性保持不变，大幅提高了传感器的使用稳定性，延长了使用寿命。
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公开(公告)号：CN117889973A
公开(公告)日：2024-04-16
申请号：CN202311854868.3
申请日：2023-12-29
申请人： 广州奥松电子股份有限公司
摘要： 本发明涉及温度测量技术领域，尤其涉及一种温度传感器及其制备工艺。温度传感器包括壳体、第一绝缘层和第一热感层；壳体包括底壁和周壁，周壁围设在底壁四周围合成容纳空间；第一绝缘层和第一热感层设于容纳空间内；第一绝缘层的一个最大表面与底壁的内表面贴合，另一个最大表面与第一热感层的一个最大表面贴合。通过直接将第一绝缘层设置在壳体的底壁的内表面，然后在第一绝缘层上设置用于感受温度变化的第一热感层，以壳体的底壁作为基体，在结构上相较于现有的温度传感器少设了基体或填充材料，外环境的温度变化经壳体和第一绝缘层传导至第一热感层，传导路径缩短，从而缩短第一热感层的响应时间，实现温度的快速测量。
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公开(公告)号：CN117849120A
公开(公告)日：2024-04-09
申请号：CN202410133704.X
申请日：2024-01-30
申请人： 广州奥松电子股份有限公司
摘要： 本发明涉及智能传感技术领域，尤其涉及一种带温湿度补偿的多像素嗅觉传感器及传感方法，传感器包括衬底，所述衬底上设置有多组分别用于安装对应传感单元的安装板；传感模组，所述传感模组包括多个嗅觉传感单元和多个温湿度传感单元，所有所述嗅觉传感单元和所有所述温湿度传感单元分别一一设置在对应所述安装板上；其中，所有所述安装板沿气体流动方向间隔分布，气体流动途经所有所述安装板时，同时与所有所述温湿度传感单元和所有所述嗅觉传感单元接触。本发明获取的温湿度数据能够高精度的反应嗅觉传感单元所处环境的温湿度，大大提高嗅觉传感器的温湿度补偿精度。
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公开(公告)号：CN117771474A
公开(公告)日：2024-03-29
申请号：CN202410122883.7
申请日：2024-01-29
申请人： 广州奥松电子股份有限公司
IPC分类号： A61M5/168
摘要： 本发明涉及传感装置的技术领域，更具体地，涉及一种柔性非接触流量检测传感装置及输液监控系统，包括柔性基底、柔性电路以及感应模块，所述柔性电路、感应模块均印于所述柔性基底；还包括连接于柔性基底的连接组件，所述连接组件的工作状态包括维持柔性基底呈平面展开形状的第一状态以及维持柔性基底形变呈预设形状的第二状态。本发明柔性非接触流量检测传感装置，包覆在输液管道外周，不与液体接触即可获得流量信号，不会对进入患者体内的药液产生任何污染，避免安全隐患；可相对输液管路轻松脱离，同时可稳定的夹持在输液管路外周，可保证操作的便捷性和检测的准确性，可多次循环使用，不会额外增加患者的使用成本。
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公开(公告)号：CN116124254A
公开(公告)日：2023-05-16
申请号：CN202211734060.7
申请日：2022-12-30
申请人： 广州奥松电子股份有限公司
IPC分类号： G01F25/10
摘要： 一种热式流量传感器温度补偿方法，包括如下步骤：采集加热电阻及气体温度测量电阻的电压值；计算所述加热电阻与所述气体温度测量电阻的电压差；及以所述电压差为输入参数，执行带死区控制专家PID计算算法，获得执行算法后的加热电阻的电压值。该方法对加热电阻的加热功率补偿效率高，对加热电阻的线性度要求低，所形成的传感器的测量精度的一致性好。
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