-
公开(公告)号：CN118507376A
公开(公告)日：2024-08-16
申请号：CN202410605849.5
申请日：2024-05-16
申请人： 广州奥松电子股份有限公司 , 北京理工大学 , 北京航空航天大学
IPC分类号： H01L21/66 , H01L23/544
摘要： 本发明公开了一种湿法刻蚀氧化硅终点检测方法，属于半导体刻蚀技术领域，首先，在晶圆表面沿离子注入预设路径制备离子图形，将离子注入在离子图形区域内；其次，在注入离子的晶圆表面制备标记物图形，在注入的离子表面和第二光刻胶层表面分别镀上标记物；然后，在留存在离子表面的标记物上和晶圆上制备保护层；接着，在保护层表面沿离子注入预设路径制备刻蚀图形；最后，在刻蚀的过程中，检测所述标记物的厚度变化并同步确认所述离子表面标记物的颜色变化，当观察所述离子表面标记物颜色消失时，判断离子表面的保护层已被刻蚀完成，停止刻蚀，该检测方法无需进行电阻和膜厚测试，节省了时间和测试步骤，且不容易损伤基底。
-
公开(公告)号：CN118937449A
公开(公告)日：2024-11-12
申请号：CN202411028074.6
申请日：2024-07-30
申请人： 广州奥松电子股份有限公司
IPC分类号： G01N27/413
摘要： 本发明属于电化学氧传感器领域，公开了一种电化学氧传感器，由阴极、阳极和电解液组成，所述电解液包括碱金属的氢氧化物、添加剂、稳定剂和水，所述添加剂为可溶性无机盐，稳定剂为水溶性聚合物聚乙烯醇、聚乙烯吡咯烷酮、羟乙基甲基纤维素、羧甲基纤维素钠、碳酸酯中的一种或两种以上。本发明电解液可显著提高传感器氧分压测量范围，可超过4bar，甚至5bar，且氧分压与电压的线性关系良好，从而能保证高氧分压下的测量精度。
-
公开(公告)号：CN115828681A
公开(公告)日：2023-03-21
申请号：CN202211480369.8
申请日：2022-11-24
申请人： 广州奥松电子股份有限公司
IPC分类号： G06F30/23 , G06F119/08
摘要： 本发明实施例公开了一种量热式绝对湿度传感器优化方法和湿度传感器，涉及湿度传感器的设计领域，该方法包括：使用COMSOL软件建立需要求解的量热式绝对湿度传感器的初始几何物理模型；导入提取电路，将所述提取电路与所述初始几何物理模型相连；设置边界条件；划分网格并计算。本发明实施例将制作测温元件的悬膜干法蚀刻/湿法蚀刻的工艺、驱动电路、信号提取方式、不同温度湿空气的传热性能的变化、加热过程中测温元件三维空间中系数的变化、以及自然热对流过程中的系统热稳定时间等任一强耦合的设计考虑在设计优化方法中，提升优化结果的可信性和实用性。
-
公开(公告)号：CN118746605A
公开(公告)日：2024-10-08
申请号：CN202410935880.5
申请日：2024-07-12
申请人： 广州奥松电子股份有限公司
IPC分类号： G01N27/22
摘要： 本申请涉及半导体制造技术领域，是关于一种平板型湿度传感器及其制造方法，包括：基底、上电极极板、介电层和下电极极板，下电极极板覆盖在基底上；介电层位于上电极极板与下电极极板，其中介电层上设有N个感应通孔，上电极极板上设有N个透气通孔，且感应通孔与透气通孔一一对应，N为大于或等于1的整数，感应通孔的侧壁用于接触待检测水汽；本申请提供的方案，提高了平板型湿度传感器的响应速度。
-
公开(公告)号：CN115594771A
公开(公告)日：2023-01-13
申请号：CN202211311633.5
申请日：2022-10-25
申请人： 广州奥松电子股份有限公司(CN)
摘要： 本发明公开了改性纤维素衍生物的制备方法、由该方法制得的改性纤维素衍生物、含有该改性纤维素衍生物的感湿材料组合物以及由该感湿材料组合物形成的感湿膜。改性纤维素衍生物的制备方法，包括：S1.将含有羟基的纤维素衍生物与第一溶剂混合均匀后，加入三乙胺，混合均匀，得到含有羟基的纤维素衍生物溶液；S2.将反应温度设为‑20～0℃后，将不饱和酰氯滴加至所述含有羟基的纤维素衍生物溶液中，滴加完毕后，将反应温度调节至20℃～25℃，继续进行反应，反应结束后，将反应产物进行干燥，得到含有双键的改性纤维素衍生物。本发明成功制备了基于纤维素衍生物的感湿膜，该感湿膜具有极佳的耐溶剂性和长期稳定性。
-
公开(公告)号：CN115201283A
公开(公告)日：2022-10-18
申请号：CN202210585553.2
申请日：2022-05-27
申请人： 广州奥松电子股份有限公司
IPC分类号： G01N27/22
摘要： 本申请公开了一种耐高温高湿湿度传感器，包括硅晶圆和湿敏膜；所述硅晶圆包括硅基底、形成在硅基底上的金属电极；所述湿敏膜形成在所述金属电极表面；所述湿敏膜采用反应体系中引入光敏基团和多官能度胺所得到的交联型聚酰胺酸薄膜。本申请还公开了一种耐高温高湿湿度传感器的制备方法。本申请所述的耐高温高湿湿度传感器采用含氟交联型聚酰亚胺薄膜作为湿敏膜，降低了湿敏膜的吸湿率和介电常数，赋予湿敏膜耐热、稳定、耐水解等性能；降低了湿度传感器的湿度偏差，提其高测量精准度。
-
公开(公告)号：CN118335708A
公开(公告)日：2024-07-12
申请号：CN202410444824.1
申请日：2024-04-15
申请人： 广州奥松电子股份有限公司
摘要： 本申请涉及传感器封装技术领域，是关于一种传感器连接底座、基板、电子设备及封装方法，包括：本体和第一引脚；本体包括焊接面和对接面；焊接面用于与基板焊接；对接面上开设有容纳槽，容纳槽用于容纳传感器芯片；容纳槽通过过盈配合的方式和/或固定结构对传感器芯片进行限位；第一引脚穿设在本体内，第一引脚的第一末端位于容纳槽的槽壁，第一引脚的第二末端位于焊接面；第一末端用于与传感器芯片电连接；第二末端用于与基板电连接；本申请提供的方案，提高了传感器的一致性精度性能，提升了产品的质量。
-
公开(公告)号：CN115594771B
公开(公告)日：2023-08-11
申请号：CN202211311633.5
申请日：2022-10-25
申请人： 广州奥松电子股份有限公司
摘要： 本发明公开了改性纤维素衍生物的制备方法、由该方法制得的改性纤维素衍生物、含有该改性纤维素衍生物的感湿材料组合物以及由该感湿材料组合物形成的感湿膜。改性纤维素衍生物的制备方法，包括：S1.将含有羟基的纤维素衍生物与第一溶剂混合均匀后，加入三乙胺，混合均匀，得到含有羟基的纤维素衍生物溶液；S2.将反应温度设为‑20～0℃后，将不饱和酰氯滴加至所述含有羟基的纤维素衍生物溶液中，滴加完毕后，将反应温度调节至20℃～25℃，继续进行反应，反应结束后，将反应产物进行干燥，得到含有双键的改性纤维素衍生物。本发明成功制备了基于纤维素衍生物的感湿膜，该感湿膜具有极佳的耐溶剂性和长期稳定性。
-
公开(公告)号：CN116124857A
公开(公告)日：2023-05-16
申请号：CN202211480529.9
申请日：2022-11-24
申请人： 广州奥松电子股份有限公司
IPC分类号： G01N27/409
摘要： 本申请公开了一种阴极催化材料，包括基体，所述基体为具有若干通孔的金属支撑层，所述金属支撑层具有上表面和下表面，在所述金属支撑层的上表面和下表面以及通孔侧壁上覆盖有金属催化剂膜层，使所述阴极催化材料具有多层膜结构。本申请所述的阴极催化材料以金属基材作为骨架构建疏松多孔的层状结构的催化层，增进气体与催化层以及电解液与催化层的接触，促进电极反应的进行，从而提升器件的气敏性能。本申请还公开了一种阴极催化材料制备方法及其应用。
-
公开(公告)号：CN115894804A
公开(公告)日：2023-04-04
申请号：CN202211314647.2
申请日：2022-10-26
申请人： 广州奥松电子股份有限公司
IPC分类号： C08F259/08 , C08F212/08 , C08F230/08 , C09D151/00 , G01N27/22
摘要： 本发明公开了含有PVDF单元的共聚物、其制备方法、感湿膜及感湿膜的应用。一种含有PVDF单元的共聚物，其制备原料包括含有不饱和键的改性PVDF、芳香族乙烯基单体、含硅共聚单体、引发剂；一种上述含有PVDF单元的共聚物的制备方法；该感湿膜由上述含有PVDF单元的共聚物形成得到的。本发明得到的感湿膜具有优异的力学性能和耐水解稳定性，在高温高湿下不易脱落，能够在高湿下保持长期稳定性，采用本发明获得的感湿膜制备出的湿度传感器测量精准，具有优良的线性度。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
搜索结果
34 条记录 (耗时 0.102 秒)
