公开(公告)号：CN102349145A

公开(公告)日：2012-02-08

申请号：CN201080011814.5

申请日：2010-01-08

申请人： 应用材料公司

发明人： S·桑德 ,  J·C·赫金斯 ,  P·R·琴恩塔拉帕蒂 ,  W·N·泰勒 ,  W·P·莱赛基 ,  J·A·布洛迪尼 ,  D·C·鲁泽克 ,  M·D·塞法缇

IPC分类号： H01L21/677 ,  B65G49/07

CPC分类号： H01L21/6833 ,  H01L21/67 ,  H01L21/673 ,  H01L21/677 ,  H01L21/683 ,  H01L21/6831 ,  H01L21/68707 ,  Y10S414/141 ,  Y10S901/30 ,  Y10S901/40

摘要： 提供了用于在电子装置制造系统的系统部件间传送基板的系统、设备与方法。该系统与设备包括静电末端执行器，该静电末端执行器具有基底；位于该基底上的电极对；以及间隔物构件，该间隔物构件用于隔开该基板与该电极对，以在该电极对和该基板间提供间隙。提供了本发明的方法以及许多其它方面。

公开(公告)号：CN102349145B

公开(公告)日：2015-05-27

申请号：CN201080011814.5

申请日：2010-01-08

申请人： 应用材料公司

发明人： S·桑德 ,  J·C·赫金斯 ,  P·R·琴恩塔拉帕蒂 ,  W·N·泰勒 ,  W·P·莱赛基 ,  J·A·布洛迪尼 ,  D·C·鲁泽克 ,  M·D·塞法缇

IPC分类号： H01L21/677 ,  B65G49/07

CPC分类号： H01L21/6833 ,  H01L21/67 ,  H01L21/673 ,  H01L21/677 ,  H01L21/683 ,  H01L21/6831 ,  H01L21/68707 ,  Y10S414/141 ,  Y10S901/30 ,  Y10S901/40

摘要： 提供了用于在电子装置制造系统的系统部件间传送基板的系统、设备与方法。该系统与设备包括静电末端执行器，该静电末端执行器具有基底；位于该基底上的电极对；以及间隔物构件，该间隔物构件用于隔开该基板与该电极对，以在该电极对和该基板间提供间隙。提供了本发明的方法以及许多其它方面。