公开(公告)号：CN108886012A

公开(公告)日：2018-11-23

申请号：CN201780021499.6

申请日：2017-03-16

申请人： 昕芙旎雅有限公司

发明人： 三浦辰弥 ,  小仓源五郎 ,  重田贵司 ,  小笠原幸雄 ,  河合俊宏 ,  谷山育志

IPC分类号： H01L21/677 ,  H01L21/673

CPC分类号： H01L21/673 ,  H01L21/677

摘要： 本发明提供能够在使FOUP朝向门移动时防止FOUP和门接触、并防止装载端口与FOUP或门之间的密封被解除的装载端口。因此，该装载端口包括：基部(21)、开口部(43)、门(51)、用于将基部(21)和容器(7)之间密封的第1密封构件(43)以及用于将基部(21)和门(51)之间密封的第2密封构件(44)，在将容器(7)载置于用于载置容器(7)的载置台(24)之后，使门(51)从初始位置向与容器(7)相反的方向退避，在该初始位置处，门(51)与所述第2密封构件(44)抵接且门(51)的容器(7)侧的端面处于比门(51)与第2密封构件(44)的抵接面靠容器(7)侧的位置。

公开(公告)号：CN108364854A

公开(公告)日：2018-08-03

申请号：CN201810141928.X

申请日：2018-02-11

申请人： 无锡先导智能装备股份有限公司

发明人： 周昕

IPC分类号： H01L21/02 ,  H01L21/673 ,  H01L21/677

CPC分类号： H01L21/67703 ,  H01L21/02 ,  H01L21/673

摘要： 本发明公开了光伏扩散或者退火工序中石英舟退舟后装卸硅片的方法，所述方法包括：步骤1、装卸机械手从石英舟上分两次抓取处理后的硅片卸在空的花篮组内，花篮组移出装卸区；步骤2、下一组花篮携带未处理的硅片移进装卸区，装卸机械手先从花篮组内分两次抓取未处理的硅片装载在石英舟空出的区域，再从石英舟上分两次抓取处理后的硅片装载在花篮组内；花篮组移出装卸区；步骤3、重复步骤2直到石英舟上所有的处理后的硅片卸完，并且装满未处理的硅片。本发明通过合理的流程设置和时序安排，利用装卸机械手装卸速度快的特点，能够大量减少装卸机械手的等待时间，提高了在退舟后的石英舟上卸下处理后的硅片、装载未处理的硅片的装卸效率。

公开(公告)号：CN108292618A

公开(公告)日：2018-07-17

申请号：CN201580084744.9

申请日：2015-11-26

申请人： 未来儿株式会社

发明人： 成田侑矢

IPC分类号： H01L21/673 ,  B65D85/30 ,  B65D85/86

CPC分类号： B65D85/30 ,  H01L21/673

摘要： 基板收纳容器的密封部件(4)包括：基部(41)，其固定于密封部件安装部(303)；容器抵接顶端部(43)，其具有与开口周缘部抵接的主体抵接部(431)；基部侧变形部(42)，其连结基部(41)和容器抵接顶端部(43)，能够以使容器抵接顶端部(43)相对于基部(41)摆动的方式弹性变形；以及突起部(44)，其位于容器抵接顶端部(43)的与基部侧变形部(42)连接的部分，从容器抵接顶端部(43)的外表面突出。在容器抵接顶端部(43)的摆动方向上，容器抵接顶端部(43)的厚度形成得比基部侧变形部(42)的厚度厚。

公开(公告)号：CN108140598A

公开(公告)日：2018-06-08

申请号：CN201680049390.9

申请日：2016-07-14

申请人： 村田机械株式会社

发明人： 村田正直 ,  山路孝

IPC分类号： H01L21/673 ,  B65G1/00

CPC分类号： B65G1/00 ,  H01L21/673

摘要： 提供能够节约吹净气体并且进行适当的吹净的吹净装置。吹净装置(4)具备：向吹净对象的容器(F)供给吹净气体(G1)的第一吹净喷嘴(41)、在开始基于第一吹净喷嘴的吹净处理前检测容器的内部状态的内部状态检测部(8)、以及基于内部状态检测部的检测结果决定相对于容器的吹净条件的吹净决定部(48)。

公开(公告)号：CN108091599A

公开(公告)日：2018-05-29

申请号：CN201711318898.7

申请日：2017-12-12

申请人： 成都强思科技有限公司

发明人： 徐桥

IPC分类号： H01L21/673 ,  H01L21/687 ,  H01L21/677

CPC分类号： H01L21/673 ,  H01L21/67703 ,  H01L21/67724 ,  H01L21/687

摘要： 本发明公开了一种计算机集成芯片的固定设备，包括箱体，箱体的两端设置有滑槽，箱体内设置有若干由弹性材料制成的缓冲挡板，缓冲挡板的两端分别与两个滑槽相连，缓冲挡板与滑槽的连接处设置有夹紧装置，且夹紧装置能够沿滑槽移动；所述夹紧装置一端位于所述滑槽内，另一端贯穿旋合设置有螺杆，螺杆靠近滑槽的一端设置有活动压紧板；箱体上设置有把手，箱体底部铰接设置有安装轴，安装轴上设置有带自锁功能的万向轮，缓冲挡板上均设置有若干弹簧，弹簧上均连接有辅助减震板。本发明根据需要放置的芯片的情况，调整各个缓冲挡板之间的间距，使缓冲挡板对芯片起到固定和减震的作用。

公开(公告)号：CN107949905A

公开(公告)日：2018-04-20

申请号：CN201680050938.1

申请日：2016-08-19

申请人： 昕芙旎雅有限公司

发明人： 河合俊宏 ,  重田贵司 ,  吉川雅顺

IPC分类号： H01L21/677 ,  H01L21/673

CPC分类号： H01L21/673 ,  H01L21/677

摘要： 本发明提供一种防止在向FOUP填充气体时大气进入的喷嘴单元。因此，该喷嘴单元包括：喷嘴主体(71)，其具有连通于用于收纳收纳物的容器(7)的气体供给口(72)和连通于气体供给口(72)的气体流路(77)；供给喷嘴(78)，其连接于气体流路(77)，用于经由气体供给口(72)向容器供给气体；以及排气喷嘴(83)，其连接于气体流路(77)，用于对气体流路(77)进行排气。

公开(公告)号：CN107768289A

公开(公告)日：2018-03-06

申请号：CN201711165066.6

申请日：2017-11-21

申请人： 太仓佳锐精密模具有限公司

发明人： 顾健 ,  顾剑辉

IPC分类号： H01L21/673 ,  H01L21/56

CPC分类号： H01L21/673 ,  H01L21/565 ,  H01L21/67326

摘要： 本发明公开了一种半导体封装模具料架，包括料架、料架盖和多个产品架，产品架与料架连接，料架盖扣合在料架上，产品架之间设置有间隙，还包括卡条，产品架上设置有卡槽，卡条与卡槽相匹配并且卡条与卡槽的槽底设置有间隙，卡条设置在产品架的两侧，另外，产品架与料架之间通过紧固件可拆卸连接。本发明结构简单，空间利用率高，解决了生产时热膨胀导致的产品两端导线长度不可控的情况，产品架与料架之间可拆卸连接，减少了生产和维修成本；另外，卡条的设置提高了产品架的稳定性。

公开(公告)号：CN107570505A

公开(公告)日：2018-01-12

申请号：CN201710511591.2

申请日：2017-06-28

申请人： 罗泽系统株式会社

发明人： 吴丞倍 ,  金英一

IPC分类号： B08B9/093

CPC分类号： H01L21/67028 ,  H01L21/02 ,  H01L21/673 ,  H01L21/67393 ,  H01L21/67775

摘要： 本发明提供一种吹扫模块夹具及包含其的吹扫模块。所述吹扫模块夹具及包含其的吹扫模块包括形成有凹槽及开口部的板；剖面为椭圆的气体移送管及固定所述板及所述气体移送管的固定部，因此能够提供防止用于晶片盒子的吹扫的气体泄漏，厚度薄且干涉小，因此能够适用于现有的各制造公司的装载端口，性能提升的吹扫模块夹具及包含其的吹扫模块。

公开(公告)号：CN107393852A

公开(公告)日：2017-11-24

申请号：CN201710597839.1

申请日：2017-07-20

申请人： 吉林省长光瑞思激光技术有限公司

发明人： 刘桐庆 ,  单肖楠 ,  张星 ,  张建伟 ,  叶淑娟 ,  郑乐 ,  刘思琪 ,  朱洪波 ,  高隽

IPC分类号： H01L21/673

CPC分类号： H01L21/673

摘要： 本发明公开一种芯片清洗容器，包括容纳腔，所述容纳腔上开设有用于允许芯片夹持器伸入的孔缝，且所述容纳腔的侧壁上开设有若干条从其孔缝延伸至底部、用于允许所述芯片夹持器通过的孔缝。如此，当工作人员通过芯片夹持器往容纳腔内夹取放置芯片时，可首先使芯片夹持器夹持芯片，使芯片位于容纳腔的开口上方，之后调整芯片夹持器的方位，使得芯片夹持器的本体穿过容纳腔的侧壁上所设置的孔缝，最后再沿着该条孔缝，将芯片夹持器逐渐下放至紧贴在容纳腔的底部表面，松开芯片夹持器即可将芯片轻柔、稳定地放置到容纳腔的底部表面上，避免芯片的端部与容纳腔底部产生撞击的情况，有效防止芯片被摔伤产生碎裂，降低经济损失。

公开(公告)号：CN107112269A

公开(公告)日：2017-08-29

申请号：CN201580073604.1

申请日：2015-12-08

申请人： 恩特格里斯公司

发明人： 艾瑞克·A·柯克兰

IPC分类号： H01L21/673

CPC分类号： H01L21/67353 ,  B65D43/22 ,  B65D53/04 ,  B65D85/62 ,  H01L21/673 ,  H01L21/67369 ,  H01L21/67373 ,  H01L21/67379 ,  H01L21/67386 ,  H01L2221/67 ,  H01L2221/683

摘要： 本发明涉及一种衬底容器，其包含适于接收呈衬底堆叠的衬底的衬底支撑件，例如同心环。所述容器包含基底及顶盖以围封所述衬底堆叠。闩锁机构适于将所述顶盖闩锁到所述基底且将所述衬底堆叠固定于所述容器内。所述闩锁机构包含位于所述容器的外侧部分上的弹性拐角凸缘，所述凸缘充当弹簧以对所述盖及对所述衬底堆叠强加偏置力。所述凸缘将所述堆叠固持于所述容器内，同时适应由归因于组件加工容限的不确定性的累积导致的堆叠不确定性。在一些实施例中，在所述容器的所述顶盖的侧壁与所述基底之间形成间隙以确保对所述衬底堆叠的压缩。可实施偏转限制器以防止所述凸缘的过偏转。