使用能量化离子以图案化磁性薄膜的方法

    公开(公告)号:CN103996404A

    公开(公告)日:2014-08-20

    申请号:CN201410246897.6

    申请日:2009-10-15

    Abstract: 本发明提供一种用于在基板上图案化磁性薄膜的方法,所述方法包括:在所述磁性薄膜周围提供图案,其中所述图案的选择性区域允许一或多种元素的能量化离子的穿透。能量化离子经产生而具有足够能量以穿透选择性区域及与这些选择性区域相邻的所述磁性薄膜的部分。置放所述基板以接收这些能量化离子。可使所述磁性薄膜的所述部分经受热激发。使所述磁性薄膜的这些部分呈现出与选择性其它部分不同的磁性性质。本发明亦揭示用于图案化磁性媒体的方法,所述媒体的两侧上具有磁性薄膜。

    原子层沉积光刻技术
    4.
    发明公开

    公开(公告)号:CN104115257A

    公开(公告)日:2014-10-22

    申请号:CN201380009300.X

    申请日:2013-01-24

    CPC classification number: G03F7/16 G03F7/0035 G03F7/165 G03F7/167

    Abstract: 在本揭示案中提供执行原子层沉积光刻工艺的方法与设备。在一个实施例中,在器件中的材料层上形成特征的方法包括以下步骤:脉冲第一反应剂气体混合物至设置于处理腔室中的基板的表面以在基板表面上形成材料层的第一单层、引导高能辐射以处理第一单层的第一区,及脉冲第二反应剂气体混合物至基板表面以选择性地在第一单层的第二区上形成第二单层。

    使用能量化离子以图案化磁性薄膜的方法

    公开(公告)号:CN102197426B

    公开(公告)日:2014-11-05

    申请号:CN200980142620.6

    申请日:2009-10-15

    Abstract: 本发明提供一种用于在基板上图案化磁性薄膜的方法,所述方法包括:在所述磁性薄膜周围提供图案,其中所述图案的选择性区域允许一或多种元素的能量化离子的穿透。能量化离子经产生而具有足够能量以穿透选择性区域及与这些选择性区域相邻的所述磁性薄膜的部分。置放所述基板以接收这些能量化离子。可使所述磁性薄膜的所述部分经受热激发。使所述磁性薄膜的这些部分呈现出与选择性其它部分不同的磁性性质。本发明亦揭示用于图案化磁性媒体的方法,所述媒体的两侧上具有磁性薄膜。

    基于碳纳米管的太阳能电池及形成其的设备

    公开(公告)号:CN202839630U

    公开(公告)日:2013-03-27

    申请号:CN201090000947.8

    申请日:2010-06-09

    Abstract: 本实用新型涉及基于碳纳米管的太阳能电池及形成其的设备。太阳能电池中设有碳纳米管(CNT),这些碳纳米管用于:界定太阳能电池的微米/次微米几何尺寸;及/或做为电荷传输体,以有效地从吸收层移除电荷载流子以减少吸收层中的电子空穴复合速率。太阳能电池可包含:基材;多个在该基材的该表面上的金属催化剂的区域;多个碳纳米管束状物,形成于该多个金属催化剂的区域上,每一束状物包括大略垂直于该基材的该表面而呈对准的碳纳米管;以及光活性太阳能电池层,形成于这些碳纳米管束状物及该基材的暴露表面上,其中该光活性太阳能电池层在这些碳纳米管束状物上及该基材的该暴露表面上为连续的。光活性太阳能电池层可包含非晶硅p/i/n薄膜;然而,本实用新型的概念亦可应用至具有微晶硅、SiGe、碳掺杂微晶硅、CIS、CIGS、CISSe以及各种p型二六族二元化合物以及三元与四元化合物的吸收层的太阳能电池。

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