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实用新型
PECVD载板在腔室内精确定位装置有权

公开(公告)号：CN220432970U

公开(公告)日：2024-02-02

申请号：CN202321774185.2

申请日：2023-07-07

申请人： 捷造科技(宁波)有限公司

发明人： 刘长见 , 请求不公布姓名 , 贺震宇 , 曾海斌

IPC分类号： C23C16/458 , C23C16/50 , C23C16/52 , H01L31/18 , H01L21/68

摘要： 本实用新型公开了一种PECVD载板在腔室内精确定位装置，在腔室的入口位置的外部设置至少一个第一激光定位传感器，在腔室的出口位置的外部设置至少一个第二激光定位传感器，所述腔室内包括用于承载被运输件的载板，设于所述载板底部用于带动所述载板运动的传动机构，以及用于驱动所述传动机构的驱动机构，所述第一激光定位传感器与第二激光定位传感器电连接PLC电气控制器，所述PLC电气控制器电连接伺服电机。本实用新型的优点是：程序PLC控制伺服电机，可以使得载板定位精确，避免惯性产生的误差；腔体内全程无接触，仅依靠室外传感器控制载板的启停。对镀膜有更加好的效果。