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公开(公告)号：CN101046968B
公开(公告)日：2011-12-21
申请号：CN200610073327.7
申请日：2006-03-29
Applicant: 新科实业有限公司
CPC classification number: G11B5/3163 , G11B5/3116 , G11B5/3173 , Y10T29/49032 , Y10T29/49041 , Y10T29/49052
Abstract: 一种在磁头的空气承载面上形成微纹的方法，包括如下步骤：将多个磁头阵列排列在托盘中，每个磁头包括一个向上的极尖；把托盘装入处理室中，并在处理室内形成具有预定压力的真空；将惰性气体与碳氢化合物气体的混合气体导入处理室中，并将混合气体离子化而形成离子束；将磁头暴露于离子束中，通过离子束蚀刻而在磁头空气承载面上蚀刻出具有两阶结构的微纹。本发明同时揭露了一种具有微纹的磁头的制造方法。
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公开(公告)号：CN101046969B
公开(公告)日：2011-06-29
申请号：CN200610075072.8
申请日：2006-03-31
Applicant: 新科实业有限公司
Abstract: 一种具有微纹(micro-texture)的磁头的制造方法，包括如下步骤：(1)提供由复数磁头构成的长形磁条，其中每个磁头包括一个空气支承面及设于其上的极尖区域(pole tip region)；(2)在所述每个磁头的极尖区域上形成第一保护膜；(3)蚀刻所述磁头的空气支承面而在其上形成凹凸相间的微纹(micro-texture)，所述极尖区域由于第一保护膜的保护而免于被蚀刻；(4)去除覆盖于所述磁头极尖区域上的第一保护膜；(5)在所述磁头的空气支承面上形成第二保护膜。该方法可使磁头的极尖区域在制造过程中不受影响，从而可保证磁头的读写性能，并保证可在磁头的空气支承面及其极尖区域上形成完整的保护膜，从而提高磁头的抗腐蚀性能。
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公开(公告)号：CN101046969A
公开(公告)日：2007-10-03
申请号：CN200610075072.8
申请日：2006-03-31
Applicant: 新科实业有限公司
Abstract: 一种具有微纹(micro－texture)的磁头的制造方法，包括如下步骤：(1)提供由复数磁头构成的长形磁条，其中每个磁头包括一个空气支承面及设于其上的极尖区域(pole tip region)；(2)在所述每个磁头的极尖区域上形成第一保护膜；(3)蚀刻所述磁头的空气支承面而在其上形成凹凸相间的微纹(micro－texture)，所述极尖区域由于第一保护膜的保护而免于被蚀刻；(4)去除覆盖于所述磁头极尖区域上的第一保护膜；(5)在所述磁头的空气支承面上形成第二保护膜。该方法可使磁头的极尖区域在制造过程中不受影响，从而可保证磁头的读写性能，并保证可在磁头的空气支承面及其极尖区域上形成完整的保护膜，从而提高磁头的抗腐蚀性能。
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公开(公告)号：CN101046968A
公开(公告)日：2007-10-03
申请号：CN200610073327.7
申请日：2006-03-29
Applicant: 新科实业有限公司
CPC classification number: G11B5/3163 , G11B5/3116 , G11B5/3173 , Y10T29/49032 , Y10T29/49041 , Y10T29/49052
Abstract: 一种在磁头的空气承载面上形成微纹的方法，包括如下步骤：将多个磁头阵列排列在托盘中，每个磁头包括一个向上的极尖；把托盘装入处理室中，并在处理室内形成具有预定压力的真空；将惰性气体与碳氢化合物气体的混合气体导入处理室中，并将混合气体离子化而形成离子束；将磁头暴露于离子束中，通过离子束蚀刻而在磁头空气承载面上蚀刻出具有两阶结构的微纹。本发明同时揭露了一种具有微纹的磁头的制造方法。
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