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公开(公告)号:CN103079797B
公开(公告)日:2016-01-20
申请号:CN201180040183.4
申请日:2011-07-19
Applicant: 日兴材料株式会社 , 信越化学工业株式会社
CPC classification number: B32B37/10 , B29C43/18 , B32B37/003 , B32B37/1009 , B32B39/00 , B32B2309/12 , B32B2309/65 , B32B2309/68 , B32B2457/08 , H01L33/52 , H05K3/284 , H05K2203/1311 , Y10T156/1744
Abstract: 为了提供一种使膜状树脂完全追随基材的凹凸且以更严格的标准使追随的膜状树脂的膜厚均匀的层叠装置,如图19所示,设为具有层叠机构(E1),该具有层叠机构(E1)具有:密闭空间形成部件,其能够收容临时层叠体(PL1)(31);以及加压层叠部件(P1),其用于在由上述密闭空间形成部件形成的密闭空间(Z)中以非接触状态对临时层叠体(PL1)(31)进行加压,从而由临时层叠体(PL1)(31)形成主层叠体。
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公开(公告)号:CN103079797A
公开(公告)日:2013-05-01
申请号:CN201180040183.4
申请日:2011-07-19
Applicant: 日合墨东株式会社 , 信越化学工业株式会社
CPC classification number: B32B37/10 , B29C43/18 , B32B37/003 , B32B37/1009 , B32B39/00 , B32B2309/12 , B32B2309/65 , B32B2309/68 , B32B2457/08 , H01L33/52 , H05K3/284 , H05K2203/1311 , Y10T156/1744
Abstract: 为了提供一种使膜状树脂完全追随基材的凹凸且以更严格的标准使追随的膜状树脂的膜厚均匀的层叠装置,如图19所示,设为具有层叠机构(E1),该具有层叠机构(E1)具有:密闭空间形成部件,其能够收容临时层叠体(PL1)(31);以及加压层叠部件(P1),其用于在由上述密闭空间形成部件形成的密闭空间(Z)中以非接触状态对临时层叠体(PL1)(31)进行加压,从而由临时层叠体(PL1)(31)形成主层叠体。
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