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公开(公告)号：CN103079797B
公开(公告)日：2016-01-20
申请号：CN201180040183.4
申请日：2011-07-19
Applicant: 日兴材料株式会社 , 信越化学工业株式会社
CPC classification number: B32B37/10 , B29C43/18 , B32B37/003 , B32B37/1009 , B32B39/00 , B32B2309/12 , B32B2309/65 , B32B2309/68 , B32B2457/08 , H01L33/52 , H05K3/284 , H05K2203/1311 , Y10T156/1744
Abstract: 为了提供一种使膜状树脂完全追随基材的凹凸且以更严格的标准使追随的膜状树脂的膜厚均匀的层叠装置，如图19所示，设为具有层叠机构（E1），该具有层叠机构（E1）具有：密闭空间形成部件，其能够收容临时层叠体（PL1）（31）；以及加压层叠部件（P1），其用于在由上述密闭空间形成部件形成的密闭空间（Z）中以非接触状态对临时层叠体（PL1）（31）进行加压，从而由临时层叠体（PL1）（31）形成主层叠体。
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公开(公告)号：CN103079797A
公开(公告)日：2013-05-01
申请号：CN201180040183.4
申请日：2011-07-19
Applicant: 日合墨东株式会社 , 信越化学工业株式会社
CPC classification number: B32B37/10 , B29C43/18 , B32B37/003 , B32B37/1009 , B32B39/00 , B32B2309/12 , B32B2309/65 , B32B2309/68 , B32B2457/08 , H01L33/52 , H05K3/284 , H05K2203/1311 , Y10T156/1744
Abstract: 为了提供一种使膜状树脂完全追随基材的凹凸且以更严格的标准使追随的膜状树脂的膜厚均匀的层叠装置，如图19所示，设为具有层叠机构（E1），该具有层叠机构（E1）具有：密闭空间形成部件，其能够收容临时层叠体（PL1）（31）；以及加压层叠部件（P1），其用于在由上述密闭空间形成部件形成的密闭空间（Z）中以非接触状态对临时层叠体（PL1）（31）进行加压，从而由临时层叠体（PL1）（31）形成主层叠体。
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公开(公告)号：CN107614232B
公开(公告)日：2020-02-07
申请号：CN201680029538.2
申请日：2016-06-03
Applicant: 日兴材料株式会社
Abstract: 为了提供一种能够精密地控制按压工件的按压体的停止位置并制造完成厚度偏差少的层叠体的层叠装置，本发明的层叠装置包括工件输送单元、真空层叠装置(真空层叠装置(20))以及平面加压装置(平面加压装置(30))，其中，平面加压装置(平面加压装置(30))包括：滚珠螺杆(36)，其支承一对按压体(加压块(31、31’))中的一个按压体；伺服电机(35)，其连接于滚珠螺杆(36)的螺杆轴(36a)；间隙测量构件(线性标尺(37))，其测量第一按压体(加压块31’)与第二按压体(加压块31)之间的距离；以及按压间隙控制系统，其使第一按压体(加压块31’)移动到相对于第二按压体(加压块31)成为规定的间隙的位置并停止，按压间隙控制系统基于利用间隙测量构件(线性标尺(37))得到的按压体间距离信息来改变伺服电机(35)的转数。
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公开(公告)号：CN107614232A
公开(公告)日：2018-01-19
申请号：CN201680029538.2
申请日：2016-06-03
Applicant: 日兴材料株式会社
Abstract: 为了提供一种能够精密地控制按压工件的按压体的停止位置并制造完成厚度偏差少的层叠体的层叠装置，本发明的层叠装置包括工件输送单元、真空层叠装置(真空层叠装置(20))以及平面加压装置(平面加压装置(30))，其中，平面加压装置(平面加压装置(30))包括：滚珠螺杆(36)，其支承一对按压体(加压块(31、31’))中的一个按压体；伺服电机(35)，其连接于滚珠螺杆(36)的螺杆轴(36a)；间隙测量构件(线性标尺(37))，其测量一个按压体(31’)与另一个按压体(31)之间的距离；以及按压间隙控制系统，其使一个按压体(31’)移动到相对于另一个按压体(30)成为规定的间隙的位置并停止，按压间隙控制系统基于利用间隙测量构件(线性标尺(37))得到的按压体间距离信息来改变伺服电机(35)的转数。
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