-
公开(公告)号：CN111293018A
公开(公告)日：2020-06-16
申请号：CN201911241022.6
申请日：2019-12-06
Applicant: 日本电子株式会社
Inventor： 根岸勉
Abstract: 本发明提供能够抑制试样的结露且能够在短时间内加热试样的真空冷却装置和离子铣削装置。离子铣削装置(1)具有试样保持件(3)、真空室(2)、排气部(13)、真空计(15)、加热器(6)、气体导入部(14)以及控制部(10)。排气部(13)将真空室(2)的内部空间的气体排出。真空计(15)测量真空室(2)的内部空间的压力。加热器(6)对试样保持件(3)进行加热。气体导入部(14)向真空室(2)的内部空间导入不含水分的干燥气体。控制部(10)基于真空计(15)测量出的内部空间的压力信息，在内部空间的压力达到了预定的压力以下时，控制气体导入部(14)，将干燥气体向真空室(2)导入。
-
公开(公告)号：CN118263075A
公开(公告)日：2024-06-28
申请号：CN202311793584.8
申请日：2023-12-25
Applicant: 日本电子株式会社
IPC: H01J37/305
Abstract: 提供能够容易地制造遮蔽板的遮蔽板制造装置。遮蔽板制造装置(100)是用于制造以遮蔽板将试样的一部分遮蔽并对试样照射带电粒子束来加工试样的试样加工装置的遮蔽板的遮蔽板制造装置，包含：基板保持轴件(10)，其可旋转地保持基板(2)，将带(4)卷取到基板(2)；以及张力赋予机构(50)，其对被卷取到基板(2)的带(4)赋予张力。
-
公开(公告)号：CN118366834A
公开(公告)日：2024-07-19
申请号：CN202410074927.3
申请日：2024-01-18
Applicant: 日本电子株式会社
Abstract: 提供一种能够调整试样的倾斜度的试样保持器。试样保持器(100)包含：保持器主体(10)；试样台(20)，其固定试样(S)；以及第1柱塞(30)和第2柱塞(40)，其作为将试样台(20)可滑动地按压到保持器主体(10)的按压构件，在试样台(20)设置有贯通孔(24)，试样台(20)通过使插入于贯通孔(24)的调整夹具(2)倾斜，来相对于保持器主体(10)倾斜。
-
公开(公告)号：CN111293018B
公开(公告)日：2023-01-06
申请号：CN201911241022.6
申请日：2019-12-06
Applicant: 日本电子株式会社
Inventor： 根岸勉
Abstract: 本发明提供能够抑制试样的结露且能够在短时间内加热试样的真空冷却装置和离子铣削装置。离子铣削装置(1)具有试样保持件(3)、真空室(2)、排气部(13)、真空计(15)、加热器(6)、气体导入部(14)以及控制部(10)。排气部(13)将真空室(2)的内部空间的气体排出。真空计(15)测量真空室(2)的内部空间的压力。加热器(6)对试样保持件(3)进行加热。气体导入部(14)向真空室(2)的内部空间导入不含水分的干燥气体。控制部(10)基于真空计(15)测量出的内部空间的压力信息，在内部空间的压力达到了预定的压力以下时，控制气体导入部(14)，将干燥气体向真空室(2)导入。
-
-
-
Search Results
4
records
(took 0.023 seconds)
