公开(公告)号：CN108028221A

公开(公告)日：2018-05-11

申请号：CN201780003051.1

申请日：2017-07-11

Applicant: 日本碍子株式会社

Inventor： 竹林央史 ,  平田夏树 ,  长谷川真也

IPC: H01L21/683 ,  H01L21/02 ,  H05B3/20 ,  H05B3/28

CPC classification number: H01L21/6833 ,  H01J37/32724 ,  H01L21/02 ,  H01L21/67103 ,  H01L21/67109 ,  H01L21/6831 ,  H05B3/03 ,  H05B3/20 ,  H05B3/28

Abstract: 静电卡盘加热器具备：静电卡盘；小区形成区域，其具有多个配线有小加热器电极的小区；电源，与多个小加热器电极并联连接；以及小区控制装置，其以根据针对每个小加热器电极所设定的相对于可供给输出的输出比例，向各小加热器电极供给所希望的电力的方式进行控制。多个小加热器电极之中配线在包含冷点的小区的小加热器电极的电阻值设定得比其他小加热器电极低。

公开(公告)号：CN108028221B

公开(公告)日：2022-12-06

申请号：CN201780003051.1

申请日：2017-07-11

Applicant: 日本碍子株式会社

Inventor： 竹林央史 ,  平田夏树 ,  长谷川真也

IPC: H01L21/683 ,  H01L21/02 ,  H05B3/20 ,  H05B3/28

Abstract: 静电卡盘加热器具备：静电卡盘；小区形成区域，其具有多个配线有小加热器电极的小区；电源，与多个小加热器电极并联连接；以及小区控制装置，其以根据针对每个小加热器电极所设定的相对于可供给输出的输出比例，向各小加热器电极供给所希望的电力的方式进行控制。多个小加热器电极之中配线在包含冷点的小区的小加热器电极的电阻值设定得比其他小加热器电极低。