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公开(公告)号：CN118266065A
公开(公告)日：2024-06-28
申请号：CN202280076651.1
申请日：2022-11-16
申请人： KSM元件株式会社
IPC分类号： H01L21/67 , H05B1/02 , H05B3/28 , C04B35/581 , C04B35/58
摘要： 公开了一种用于半导体制造设备的陶瓷加热器，该陶瓷加热器具有优于用于半导体制造设备的普通陶瓷加热器的高温下的体积电阻率和室温下的热导率。该用于半导体制造设备的陶瓷加热器包括：陶瓷基板，其包括a)氮化铝(AIN)、b)氧化镁(MgO)、氧化铝(Al2O3)和尖晶石(MgAl2O4)当中的至少一种、c)氧化钙(CaO)和d)二氧化钛(TiO2)；以及电阻加热元件。
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公开(公告)号：CN107381495B
公开(公告)日：2023-11-14
申请号：CN201710718750.6
申请日：2017-08-21
申请人： 南方科技大学
摘要： 本发明实施例公开了一种MEMS微热板及其制造方法，该MEMS微热板包括：硅基衬底，硅基衬底包括测量区域和加热区域；第一介电层，位于硅基衬底的上表面；加热电极和测量电极，加热电极和测量电极同层绝缘设置且均位于第一介电层上，加热电极对应设置在加热区域，以及测量电极对应设置在测量区域；隔热凹槽，位于硅基衬底的下表面且贯穿硅基衬底，以及隔热凹槽的槽底在垂直于硅基衬底的方向上覆盖加热区域。本发明实施例中，MEMS微热板的加热电极和测量电极采用共平面设计，只需要沉积一层金属电极层并采用一次金属图案化工艺即可完成；与现有技术相比，降低了加工工艺复杂度、减少了制造工序、并降低了制造成本，还提高MEMS微热板的制造良率。
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公开(公告)号：CN116685009A
公开(公告)日：2023-09-01
申请号：CN202310668724.2
申请日：2023-06-07
申请人： 大连理工大学
摘要： 一种热塑性复合材料电阻焊加热元件、制备方法及其应用，属于树脂基复合材料领域。加热元件至少由网格布、热塑性树脂或其复合物、导电胶组成，还可包含引线或贴片，网格布的经纬向丝束之间具有角度θ，网格布整体向载荷方向或者电流方向再偏转角度α。首先，采用含有水性热塑性树脂的水溶液对网格布进行预处理；其次，采用真空热压成型法将网格布全部或部分区域与热塑性树脂或其复合物复合，得到树脂复合网格布。最后，在树脂复合网格布未覆盖热塑性树脂或其复合物的区域，或除去树脂复合网格布中覆盖树脂区域后，涂敷覆盖导电胶固化，得到电阻焊加热元件。本发明可以提高焊接过程焦耳热效应的稳定性，抑制焊接的边缘效应和漏电流现象，大幅度提升焊接强度大。
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公开(公告)号：CN113039863B
公开(公告)日：2023-03-28
申请号：CN202080006280.0
申请日：2020-09-15
申请人： 日本碍子株式会社
IPC分类号： H05B3/28 , H05B3/02 , H01L21/683
摘要： 本发明的静电卡盘加热器在氧化铝基板的上表面设有晶片载置面，从晶片载置面侧起在氧化铝基板中依次埋设有静电电极、设置于每个区域的电阻发热体以及向电阻发热体供电的多级跳线，该静电卡盘加热器具备将电阻发热体和跳线沿上下方向连结的发热体连结导通孔、以及为了向跳线供电而向外部取出的供电导通孔。其中，至少发热体连结导通孔和供电导通孔包含金属钌。
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公开(公告)号：CN115665905A
公开(公告)日：2023-01-31
申请号：CN202211496133.3
申请日：2022-11-28
申请人： 深圳市金合联技术股份有限公司
发明人： 司健
摘要： 一种发热板及其制造方法，涉发热板技术领域，解决现有发热板运行时不能透射微波，体积大、发热不均等的技术不足，采用的技术方案为：基板上设有绝缘基层，绝缘基层上印制有单根条带状的发热体，发热体首尾两端分别连接有正、负电极体，本体分别由其首尾两端沿基板中轴线两侧迂回盘绕及延伸，形成对应的发热区段A和发热区段B，发热区段A与发热区段B之间形成宽度在60mm以上的、未布置发热体的微波透射区；基板上还设有覆盖发热体并露出正、负电极体的绝缘覆盖层。本发明发热板运行时可通过微波透射区透射微波，有效避免了发热体放出的远红外光波对微波的干扰，可实现微波与热辐射的双重加热功能，且体积小，发热均匀，可靠性高，使用寿命长。
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公开(公告)号：CN115426732A
公开(公告)日：2022-12-02
申请号：CN202211080266.2
申请日：2022-09-05
申请人： 宜兴市百泰绝热材料有限公司
摘要： 本发明公开了一种异形表面加热元件的制造方法，涉及电加热技术领域，包括上绝缘基层、下绝缘基层和内芯，所述内芯固定在上绝缘基层和下绝缘基层的中间夹层；所述内芯包括加热电路；所述上绝缘基层和下绝缘基层为耐高温橡胶、耐高温树脂材料、耐高温热塑性工程塑料制成，本发明的有益效果为：该异形表面加热元件的制造方法，通过将无法进行平面展开的异形曲面加热元件，分割成多块近似平面的小加热块，然后，将这些块在模具上拼接成曲面形状，通过模具加压加热，利用耐高温树脂以及高温热塑性高分子材料的压延，熔接性能，最后制造成一个完整的异形曲面加热元件，从而利用本加热元件更好对异形曲面表面进行紧贴式加热。
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公开(公告)号：CN114828311A
公开(公告)日：2022-07-29
申请号：CN202210354411.5
申请日：2022-04-06
申请人： 南京航空航天大学
摘要： 一种适用于复合材料构件的电热网格薄膜激光辅助制备方法，其特征是所述的方法主要包括：以金属电热丝为材料，通过3D打印方式铺放电热网格经线和纬线；然后对电热丝之间的交点、电热丝与边界的交点、电热丝与引电板的搭接处进行激光照射熔融，同时利用压力板对激光照射处辅以一定压力，使得交点处的厚度与电热丝直径相当。然后在电热网格两侧贴敷树脂薄膜形成电热网格薄膜。本发明使用合金电热丝材作为原材料，利用激光熔融方式连接电热丝的交点，工艺简单，对环境没有负面影响，柔性化程度高，同时适于单件、小批量、大批量生产，可以制备出平整度好、厚度较薄的电热网格薄膜，电热丝交点处连接稳固。
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公开(公告)号：CN107335121B
公开(公告)日：2022-06-03
申请号：CN201710536478.X
申请日：2012-06-15
申请人： 瑞思迈私人有限公司
发明人： 唐卓然 , 罗纳德·詹姆斯·于比 , 哈约帕尔·维尔玛 , 安德鲁·罗德里克·巴思 , 罗格·默文·劳埃德·富特
摘要： 一种加热设备包括将电功率转换为热量的加热元件(48)，具有第一表面和第二表面的的可加热元件(44)，以及在加热元件和可加热元件的第一表面之间的电介质层叠层(46)，其中电介质层叠层(46)是导热的以将热量从加热元件(48)传送到可加热元件(44)，并且其中可加热元件的第二表面被构造为加热容器中的液体。
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公开(公告)号：CN105744659B
公开(公告)日：2022-05-20
申请号：CN201610108463.9
申请日：2016-02-29
申请人： 比赫电气(太仓)有限公司
摘要： 发明公开了一种硅橡胶加热器，包括：硅橡胶层、隔热层、加热芯、受热体、电源盒、温控器和电源引出线，所述的硅橡胶层设于隔热层的外侧，所述的加热芯设于隔热层上，且，其上下表面均设有胶带，所述的温控器和电源引出线均与电源盒内的端子连接。本发明中所述的硅橡胶加热器，其在加热芯的上下表面均设有胶带，能够提高加热芯和隔热层之间连接的紧密性，隔热层的使用，能够防止长期加热对硅橡胶层产生影响，防止其快速老化，从而提高其使用的寿命，与此同时，该加热器中还设有温控器，对加热器起到了一定的保护作用，从而提高了改加热器使用的安全性。
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