公开(公告)号：CN1055965A

公开(公告)日：1991-11-06

申请号：CN91102343.7

申请日：1991-03-20

Applicant: 日本钢管株式会社

Inventor： 神尾宽 ,  荒木健治 ,  岛芳延 ,  钤木真 ,  兼头武 ,  中滨泰光 ,  钤木威 ,  藤林晃夫

IPC: C30B15/00

CPC classification number: C30B15/14

Abstract: 一种利用切克劳斯基单晶生长法的大直径单晶制造装置，在保温罩上部设置适当的开口，防止气体介质产生不良影响。开口总面积大于保温罩下端和硅熔液液面之间形成间隙的面积，保温罩和热屏蔽件用金属板构成。

公开(公告)号：CN1056137A

公开(公告)日：1991-11-13

申请号：CN91102924.9

申请日：1991-04-27

Applicant: 日本钢管株式会社

Inventor： 兼头武 ,  神尾宽

IPC: C30B15/00 ,  C30B29/06

CPC classification number: C30B15/12 ,  C30B29/06 ,  Y10T117/1052

Abstract: 一种单晶硅生产设备，用以按照坩埚旋转的切克劳斯基法高速提拉大直径单晶硅。该设计的特点在于，分隔件是坩埚式的，熔融硅表面上方分隔件的厚度不小于3毫米，且不大于熔融硅表面下方分隔件厚度的80％，分隔件的底部部分紧固在坩埚底部部分上，且分隔件支撑在圆柱形石英件上。

公开(公告)号：CN1056135A

公开(公告)日：1991-11-13

申请号：CN91102532.4

申请日：1991-04-13

Applicant: 日本钢管株式会社

Inventor： 神尾宽 ,  荒木健治 ,  兼头武

IPC: C30B15/00 ,  C30B29/06

CPC classification number: C30B29/06 ,  C30B15/12

Abstract: 一种大直径单晶硅生产设备，具有一旋转式石英坩埚、一电阻式加热器、一具有连通孔的石英分隔件、一保温盖等。开在分隔件上的连通孔其横截面的总面积A，当原料进料速度在30与50克/分子之间时在80与100平方毫米之间，当原料进料速度在50至80克/分的范围时不小于130平方毫米，但不大于1200平方毫米，当原料进料速度在80至130克/分的范围时不小于220平方毫米，但不大于1600平方毫米。