公开(公告)号：CN104597712A

公开(公告)日：2015-05-06

申请号：CN201510087880.5

申请日：2011-02-23

Applicant: 日立化成工业株式会社

Inventor： 福山雄大 ,  增田克之 ,  平田知广 ,  小林雄二 ,  安克彦 ,  二宫智

IPC: G03F7/033 ,  C08F277/00 ,  H01L21/02

CPC classification number: H01L21/02118 ,  C08F277/00 ,  G03F7/033 ,  C08F222/1006

Abstract: 本发明涉及负型感光性树脂组合物、层间绝缘膜及其形成方法。所述负型感光性树脂组合物含有：包含下述通式(1)所表示的重复单元的(A)环状烯烃树脂、(B)多官能性丙烯酸单体、和(C)光聚合引发剂，式中，R1、R2、R3和R4各自独立地表示选自氢原子、碳原子数为1～15的烷基、碳原子数为2～20的烯基、碳原子数为5～15的环烷基、碳原子数为6～20的芳基或碳原子数为1～20的烷氧基、或者水解性甲硅烷基、碳原子数为2～20的烷氧基羰基、碳原子数为4～20的三烷基甲硅烷氧基羰基、碳原子数为2～20的烷基羰氧基、碳原子数为3～20的烯基羰氧基和氧杂环丁基的取代基，并且也可以直接或通过氧原子、氮原子或硫原子而彼此连接。

公开(公告)号：CN102782579A

公开(公告)日：2012-11-14

申请号：CN201180010940.3

申请日：2011-02-23

Applicant: 日立化成工业株式会社

Inventor： 福山雄大 ,  增田克之 ,  平田知广 ,  小林雄二 ,  安克彦 ,  二宫智

IPC: G03F7/033 ,  C08F2/50 ,  C08F32/04 ,  C08F277/00 ,  G03F7/40 ,  H01L21/027

CPC classification number: H01L21/02118 ,  C08F277/00 ,  G03F7/033 ,  C08F222/1006

Abstract: 一种负型感光性树脂组合物，其含有：包含下述通式（1）所表示的重复单元的（A）环状烯烃树脂、（B）多官能性丙烯酸单体、和（C）光聚合引发剂，式中，R1、R2、R3和R4各自独立地表示选自氢原子、碳原子数为1～15的烷基、碳原子数为2～20的烯基、碳原子数为5～15的环烷基、碳原子数为6～20的芳基或碳原子数为1～20的烷氧基、或者水解性甲硅烷基、碳原子数为2～20的烷氧基羰基、碳原子数为4～20的三烷基甲硅烷氧基羰基、碳原子数为2～20的烷基羰氧基、碳原子数为3～20的烯基羰氧基和氧杂环丁基的取代基，并且也可以直接或通过氧原子、氮原子或硫原子而彼此连接。