公开(公告)号：CN112236861A

公开(公告)日：2021-01-15

申请号：CN201980032595.X

申请日：2019-04-23

Applicant: 日立汽车系统株式会社

Inventor： 大岛隆文 ,  池谷克己 ,  北雅人 ,  小森山惠士 ,  菅野清隆 ,  和田真一郎

IPC: H01L27/088 ,  H01L21/336 ,  H01L21/8234 ,  H01L29/78

Abstract: 本发明提供一种在具有多个晶体管元件的半导体装置中，随时间的特性变动少、可靠性高的半导体装置和使用该半导体装置的车载控制装置，其中，多个晶体管元件构成要求高相对精度的电流镜电路、差动放大电路。该半导体装置具备：第一MOS晶体管；与所述第一MOS晶体管成对的第二MOS晶体管；进行元件间的绝缘隔离的绝缘隔离壁，所述第一MOS晶体管和所述第二MOS晶体管的相对特性在规定的范围内，所述第一MOS晶体管和所述第二MOS晶体管相互在栅极宽度方向或栅极长度方向上排列，在与所述栅极宽度方向或所述栅极长度方向垂直的方向上，所述第一MOS晶体管和所述第二MOS晶体管各自的栅极氧化膜与相对的所述绝缘隔离壁之间的距离相等。