公开(公告)号：CN118584162A

公开(公告)日：2024-09-03

申请号：CN202410238561.9

申请日：2024-03-01

Applicant: 旺矽科技股份有限公司

Inventor： 周嘉南 ,  黄崇燕 ,  杨文钦 ,  罗文宏 ,  叶为纶 ,  何志浩

IPC: G01R1/073 ,  G01R1/067 ,  G01R31/28

Abstract: 本发明公开一种可调点测位置的探针装置及其固定探针、活动探针，可调点测位置的探针装置包括有具有第一边与第二边的固定探针、第一活动探针及第二活动探针。固定探针具有第一针芯、第一介电层及第一外导体层的第一同轴结构。第一活动探针设置在固定探针的第一边，包括有接地针芯及第一延伸结构，其具有第一平面结构、第一上表面及第一下表面，第一活动探针经由第一位移运动使第一平面结构与固定探针电性接触。第二活动探针设置在固定探针的第二边，包括有第二针芯、第二介电层及第二外导体层的第二同轴结构，以及第二延伸结构，其具有第二平面结构、第二上表面及第二下表面，第二活动探针经由第二位移运动使第二平面结构与固定探针电性接触。