公开(公告)号：CN106990271A

公开(公告)日：2017-07-28

申请号：CN201611113046.X

申请日：2016-12-06

Applicant: 旺矽科技股份有限公司

Inventor： 魏绍伦 ,  许育祯 ,  沈茂发 ,  许志豪

IPC: G01R1/067

CPC classification number: G01R1/07357 ,  B81B1/008 ,  B81C1/00007 ,  G01R1/06738 ,  G01R1/06744 ,  G01R3/00

Abstract: 本发明涉及一种微机电探针，探针的制造方法为先利用微机电制程成型，再通过切削加工在一针尖部形成一切削面，探针具有一上表面、一身部以及实质上自身部朝一点触方向延伸的针尖部，针尖部具有第一、二侧面以及一实质上朝向点触方向的点触端，切削面于上表面呈下倾状、与第一、二侧面及点触端邻接，且具有由切削加工所形成的至少一切痕，切痕实质上自第一侧面延伸至第二侧面且非平行于点触方向，且切削面自一边缘切痕下倾至点触端；由此，点触端面积小，因此探针针痕小、易划破待测物的钝化层，且影像辨识度高。

公开(公告)号：CN105738663A

公开(公告)日：2016-07-06

申请号：CN201510970492.1

申请日：2015-12-22

Applicant: 旺矽科技股份有限公司

Inventor： 谢翔昇 ,  林燊一 ,  许志豪

IPC: G01R1/073 ,  G01R1/067

CPC classification number: G01R1/07371 ,  G01R1/07357 ,  G01R1/06738 ,  G01R1/07314

Abstract: 本发明涉及一种具有定位片的垂直式探针装置，包含分别有多个上、下安装孔的上、下导板、多个探针、一有多个下定位孔的下定位片，以及一有多个穿孔及分隔肋的分隔片，探针的针尾分别穿设于一下安装孔，探针的针头分别穿设于一上安装孔，下定位片设于上、下导板之间，分隔片设于下定位片与上导板之间，各下定位孔位于至少一分隔肋下方，各针头穿设于一下定位孔及一穿孔，各下定位孔能容置多个针头；由此，下定位片及分隔片易设置、不需有异形孔即可供窄长形针身通过，并让植针程序容易、快速，探针不易损坏且可定位而使上导板易安装。

公开(公告)号：CN106483345A

公开(公告)日：2017-03-08

申请号：CN201610229920.X

申请日：2016-04-14

Applicant: 旺矽科技股份有限公司

Inventor： 谢翔昇 ,  林燊一 ,  许志豪

IPC: G01R1/073

CPC classification number: G01R1/07371 ,  G01R1/07357 ,  G01R3/00 ,  G01R1/0735

Abstract: 本发明提供了一种探针头，其中，探针头包含第一导位板、第二导位板、间隔件、定位组件及多个探针。第二导位板与第一导位板叠置。间隔件设置于第二导位板，并位于形成于第一导位板与第二导位板之间的容置空间中。定位组件支撑于间隔件上，并可移动地限位于间隔件与第一导位板之间。定位组件包含支撑框及辅助膜。支撑框包含至少一肋部。辅助膜固定至支撑框。探针穿设第一导位板、第二导位板与辅助膜，并形成多个探针区。多个探针区中的至少两个相邻的探针区之间形成非探针区。肋部位于非探针区。借此，可避免辅助膜在探针区周遭的部分的变形量过大而产生下垂与翻膜问题。

公开(公告)号：CN105842605A

公开(公告)日：2016-08-10

申请号：CN201610041670.7

申请日：2016-01-21

Applicant: 旺矽科技股份有限公司

Inventor： 许志豪 ,  林燊一 ,  陈永鑫

IPC: G01R31/28

CPC classification number: G01R1/07357 ,  G01R31/2889 ,  G01R31/2886

Abstract: 本发明涉及一种探针头及上导板，适用于一垂直式探针卡。探针头包括一上导板、一下导板及多个探针。上导板具有多个上贯穿孔。下导板位于上导板的一侧，且具有多个下贯穿孔。各探针定位于上导板的这些上贯穿孔与下导板的这些下贯穿孔之间。上导板具有75％以上的透光率，且使用摩氏硬度5以上的材料。