公开(公告)号：CN115579425A

公开(公告)日：2023-01-06

申请号：CN202211365671.9

申请日：2022-10-31

申请人： 晋能光伏技术有限责任公司 ,  晋能清洁能源科技股份公司

发明人： 李宏 ,  秦积海 ,  张伟 ,  王菲 ,  李云鹤 ,  李文敏

IPC分类号： H01L31/18 ,  H01L21/02 ,  H01L31/0216 ,  C23C16/40 ,  C23C16/52

摘要： 本发明涉及一种单晶PERC电池片的制备方法及单晶PERC电池片，属于太阳能电池制造技术领域。制备方法包括背钝化工艺，背钝化工艺包括：在热氧化后的单晶硅片背面沉积Al2O3层，其中，沉积所述Al2O3层时控制TMA/H2O的比例为2.3‑3，控制Al2O3层的厚度为2.8‑5nm；在Al2O3层背面通过PECVD背镀工艺沉积SixNy层，其中，PECVD背镀工艺中控制氨气通入量为5000‑6500sccm，PECVD设备的射频功率为9000‑12500kW。本发明在保证单晶PERC电池片转化效率准确的基础上，可以降低单晶PERC电池片的爆膜比例，以及降低由于边缘缺陷导致的不良比例。

公开(公告)号：CN117525203A

公开(公告)日：2024-02-06

申请号：CN202311508847.6

申请日：2023-11-13

申请人： 晋能光伏技术有限责任公司 ,  晋能清洁能源科技股份公司

发明人： 武啟强 ,  崔宁 ,  张伟 ,  李宏 ,  张洁 ,  和青青

IPC分类号： H01L31/18

摘要： 本发明属于太阳能电池制造技术领域，具体公开一种TOPCon太阳能电池结构方法，该方法主要通过对笑气的通入控制，在背面形成至少一层分子筛层，增加分子筛层可以大大提高隧穿层阻挡P原子的效果，使背面钝化效果更好最终提高产品良率和效率。与传统方法所制备得到的TOPCon太阳能电池结构相比，本发明所制备的太阳能电池，潜在的开路电压较高，潜在的填充因子较高，反向饱和电流较低，少子寿命更高，结果表明在制备TOPCon太阳电池时采用本发明有着明显优势。

公开(公告)号：CN111048615A

公开(公告)日：2020-04-21

申请号：CN201911100435.2

申请日：2019-11-12

申请人： 晋能光伏技术有限责任公司

发明人： 田甲 ,  王苗 ,  郝鹏飞 ,  常骞 ,  秦积海 ,  张冬冬 ,  李宏 ,  袁团 ,  王国杰 ,  李昌恩 ,  刘学飞

IPC分类号： H01L31/0725 ,  H01L31/18

摘要： 本发明公开了一种PERC太阳能电池的电注入装置及注入工艺。它包括工艺腔内的堆叠电池片、堆叠电池片的上电极表面设置的上热电偶以及堆叠电池片的下电极表面设置的下热电偶，工艺腔内的中间位置还设置有温度测试仪，上热电偶、下热电偶以及温度测试仪能够对工艺腔的顶部、底部以及中间部分进行温度监测，从而能够通过降温装置根据监测数据对堆叠电池片进行温度控制。其优点是：其结构简单、使用方便，可以在电注入过程中，在保证成本、能耗不增加的基础上，对工艺腔进行多点控温，重新定义后的处理工艺并且对电注入时上下电极电压、恒定电流和工艺时间进行特殊设计，大幅减少了LID光致衰减不均匀问题且在生产过程中很好控制了生产成本。

公开(公告)号：CN114188219A

公开(公告)日：2022-03-15

申请号：CN202111209976.6

申请日：2021-10-18

申请人： 晋能光伏技术有限责任公司

发明人： 李宏 ,  贾慧君 ,  秦积海 ,  张伟 ,  王菲 ,  李云鹤 ,  青青

IPC分类号： H01L21/324 ,  H01L31/18 ,  H01L31/068

摘要： 本发明公开了一种PERC单晶太阳能电池片边缘缺陷消除方法，包括以下步骤：将单晶硅片进行制绒、清洗、去薄并形成绒面；将单晶硅片进行扩散制结，形成PN结层；在PN结层表面进行激光推进，刻蚀清洗，然后进行背面抛光；对单晶硅片进行热氧处理，然后在背面进行AL2O3原子沉积，形成背钝化的AL2O3薄膜；在单晶硅片的正面进行镀膜，形成Si3N4减反射膜；对单晶硅片进行氧化铝层退火处；在退火处理后的氧化铝层表面进行镀膜，形成Si3N4保护膜，印刷，烧结，得到PERC单晶太阳能电池片。本发明中增加氧化铝层退火处理后，大大增加了烧结工艺窗口，使烧结温度得以大范围匹配银浆，达到效率提升、B级降低的效果。

公开(公告)号：CN111081618A

公开(公告)日：2020-04-28

申请号：CN201911328507.9

申请日：2019-12-20

申请人： 晋能光伏技术有限责任公司

发明人： 李宏 ,  秦积海 ,  王苗 ,  孙长红 ,  李亚兵 ,  贾慧君

IPC分类号： H01L21/677 ,  H01L21/673 ,  C23C16/458

摘要： 本发明公开了一种PECVD石墨舟的电池片插片方法和PECVD石墨舟，先控制机械手夹取电池片，带动电池片运动，使电池片与石墨舟片保持平行，并且使电池片处于卡点斜壁正上方，并进一步移动，使电池片与三个卡点卡接位置吻合；再次带动电池片向正上方移动至适当位置，并处于卡槽与卡点斜壁之间位置正上方1mm处，控制机械手释放电池片，使电池片自由落体沿卡点的卡点斜壁下滑至卡槽底部；通过采用本发明的电池片插片方法，使电池片与石墨舟片贴合过程中无相对摩擦，能够大幅度降低因电池片与石墨舟片相对摩擦产生的返工数量及成品电池片的EL不良。

公开(公告)号：CN216288485U

公开(公告)日：2022-04-12

申请号：CN202123164249.0

申请日：2021-12-16

申请人： 晋能光伏技术有限责任公司

发明人： 李宏 ,  秦积海 ,  张伟 ,  王菲 ,  李云鹤 ,  任彭霞

IPC分类号： H01L31/054 ,  H01L31/0216

摘要： 本实用新型提供一种多层减反膜结构，包括自下而上依次设置的底层膜、二层膜、次顶层膜和顶层膜；所述底层膜、二层膜、次顶层膜和顶层膜均为氮化硅膜，且各层的折射率递减。本实用新型提供了一种具有折射率递减的多层减反膜结构，通过匹配各膜层间的氮硅比例来降低表面反射率，提高了光的利用率，从而提升光电转化效率。