公开(公告)号：CN101878522A

公开(公告)日：2010-11-03

申请号：CN200880118692.2

申请日：2008-09-29

申请人： 朗姆研究公司

发明人： 黄忠河 ,  常·L·许

IPC分类号： H01L21/3065 ,  H01L21/20

CPC分类号： G05B19/41865 ,  G05B19/41885 ,  G05B2219/23399 ,  G05B2219/32096 ,  Y02P90/20 ,  Y02P90/26

摘要： 提供一种用于由等离子体处理系统的用户创建用于采集有关处理后的衬底的测量数据的模型的布置。该布置包括通用模型生成器，其被配置为用于至少创建该模型。该模型是一组输入数据和一组输出数据之间的关系。该布置还包括输入模块，其包括来自多个输入源的该组输入数据。该布置包括输入调节和确认模块，其被配置为用于至少确定该组输入数据的完整性。该布置进一步包括关系模块，其被配置为用于至少创建一组数学关系。该布置又包括输出调节和确认模块，其被配置为用于至少确定该组输出数据的完整性。

公开(公告)号：CN101878522B

公开(公告)日：2014-04-30

申请号：CN200880118692.2

申请日：2008-09-29

申请人： 朗姆研究公司

发明人： 黄忠河 ,  常·L·许

IPC分类号： H01L21/3065 ,  H01L21/20

CPC分类号： G05B19/41865 ,  G05B19/41885 ,  G05B2219/23399 ,  G05B2219/32096 ,  Y02P90/20 ,  Y02P90/26

摘要： 提供一种用于由等离子体处理系统的用户创建用于采集有关处理后的衬底的测量数据的模型的布置。该布置包括通用模型生成器，其被配置为用于至少创建该模型。该模型是一组输入数据和一组输出数据之间的关系。该布置还包括输入模块，其包括来自多个输入源的该组输入数据。该布置包括输入调节和确认模块，其被配置为用于至少确定该组输入数据的完整性。该布置进一步包括关系模块，其被配置为用于至少创建一组数学关系。该布置又包括输出调节和确认模块，其被配置为用于至少确定该组输出数据的完整性。