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公开(公告)号：CN101436063B
公开(公告)日：2013-08-28
申请号：CN200810176464.2
申请日：2008-11-13
申请人： 费舍-柔斯芒特系统股份有限公司
发明人： 小詹姆斯·亨利·莫尔 , 内森·威廉·培特斯 , 威廉·乔治·厄文 , 图沙尔·南达
IPC分类号： G05B19/418
CPC分类号： G05B19/41865 , G05B2219/32077 , G05B2219/32095 , G05B2219/32096 , G05B2219/32128 , Y02P90/20
摘要： 本专利公开用于执行辅助配方及批处理配方的范例方法及设备。所公开的一种范例方法涉及执行第一配方以及在完成所述第一配方之前接收辅助配方。所述范例方法也涉及确定所述第一配方是否已经达到所述辅助配方可以被执行时的输入点。所述辅助配方接着被执行，以响应确定所述第一配方已经达到所述输入点。
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公开(公告)号：CN1766770B
公开(公告)日：2012-08-29
申请号：CN200510118247.4
申请日：2005-10-21
申请人： 费舍-柔斯芒特系统股份有限公司
IPC分类号： G05B19/418 , G05B15/02 , G06F17/00
CPC分类号： G05B19/41865 , G05B2219/32079 , G05B2219/32096 , G05B2219/32328 , Y02P90/20
摘要： 本发明提供一种过程控制系统中用于设备判优的方法和系统。该方法和系统包括从与第二区域相关联的第一资源使用者接收对与第一区域相关联的第一资源的请求，其中第一区域和第二区域是不同的。该方法和系统自动地判定第一资源是否可由第一资源使用者使用。
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公开(公告)号：CN101034661A
公开(公告)日：2007-09-12
申请号：CN200710086067.1
申请日：2007-03-08
申请人： 东京毅力科创株式会社
IPC分类号： H01L21/00 , H01L21/67 , H01L21/3065
CPC分类号： H01L21/67276 , G05B19/41865 , G05B2219/31443 , G05B2219/32096 , G05B2219/32097 , G05B2219/45031 , H01L21/6719 , H01L21/67196 , H01L21/67201 , H01L21/67253 , H01L21/67742 , H01L21/67745 , Y02P90/20
摘要： 本发明提供一种在基板处理条件的研究中不耗费时间的基板处理装置。在基板处理装置(10)中，当在对一批量晶片(W)实施RIE处理期间进行方案的研究时，系统控制器的EC(89)作为对一批量晶片(W)实施的RIE处理的方案设定方案A，且使第一处理单元(25)的方案缓冲功能成为无效(步骤S801)，对晶片(W)实施根据方案A的RIE处理(步骤S803)，在方案A作为RIE处理的方案成为合适的情况下(步骤S805中“否”)，根据方案A的修正输入修正方案A，在第一处理单元(25)中展开该所修正的方案A(步骤S808)，对下批晶片(W)实施根据所修正的方案A的RIE处理(步骤S811)。
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公开(公告)号：CN103760878A
公开(公告)日：2014-04-30
申请号：CN201410048484.7
申请日：2008-05-14
申请人： 费舍-柔斯芒特系统股份有限公司
IPC分类号： G05B19/418
CPC分类号： G05B19/41845 , G05B19/4184 , G05B19/41865 , G05B2219/32077 , G05B2219/32096 , G05B2219/32098 , G05B2219/32161 , Y02P90/10 , Y02P90/14 , Y02P90/16 , Y02P90/20 , Y02P90/86
摘要： 本发明提供在过程系统中用于批处理及执行的方法及系统。一种在过程控制系统中用于实施控制过程及在所述控制过程的执行期间用于解决矛盾的系统及方法包括：加载所述控制过程的逻辑结构、在所述控制过程被实例化时加载多个实例化对象或过程、在执行期间使用所述实例化对象来将所述控制过程的程序元件实例化成所述程序元件的控制过程要求、执行所述程序元件作为所述控制过程的部分、以及在所述控制过程的执行期间在所述程序元件的执行完成时解构所述程序元件。矛盾的解决包括在控制器中执行实体的第一模型、在执行引擎中执行所述实体的第二模型、检测所述模型之间的差异、产生提示及接收操作指令以继续所述过程或中止所述过程。
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公开(公告)号：CN103399547A
公开(公告)日：2013-11-20
申请号：CN201310328582.1
申请日：2008-11-13
申请人： 费舍-柔斯芒特系统股份有限公司
发明人： 小詹姆斯·亨利·莫尔 , 内森·威廉·培特斯 , 威廉·乔治·厄文 , 图沙尔·南达
IPC分类号： G05B19/418
CPC分类号： G05B19/41865 , G05B2219/32077 , G05B2219/32095 , G05B2219/32096 , G05B2219/32128 , Y02P90/20
摘要： 本发明公开用于执行辅助配方及批处理配方的范例方法及设备。所公开的一种范例方法涉及执行第一配方以及在完成所述第一配方之前接收辅助配方。所述范例方法也涉及确定所述第一配方是否已经达到所述辅助配方可以被执行时的输入点。所述辅助配方接着被执行，以响应确定所述第一配方已经达到所述输入点。
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公开(公告)号：CN101950172A
公开(公告)日：2011-01-19
申请号：CN201010287538.7
申请日：2005-10-21
申请人： 费舍-柔斯芒特系统股份有限公司
IPC分类号： G05B19/418
CPC分类号： G05B19/41865 , G05B2219/32079 , G05B2219/32096 , G05B2219/32328 , Y02P90/20
摘要： 本发明提供一种过程控制系统中用于设备判优的方法和系统。该方法和系统包括从与第二区域相关联的第一资源使用者接收对与第一区域相关联的第一资源的请求，其中第一区域和第二区域是不同的。该方法和系统自动地判定第一资源是否可由第一资源使用者使用。
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公开(公告)号：CN100498603C
公开(公告)日：2009-06-10
申请号：CN200710005299.X
申请日：2007-02-14
申请人： 台湾积体电路制造股份有限公司
CPC分类号： G05B19/41875 , G05B2219/32096 , G05B2219/32137 , G05B2219/45031 , Y02P90/16 , Y02P90/185 , Y02P90/20 , Y02P90/22
摘要： 本发明涉及一种用于制造程序反馈控制的自动方法及系统。该方法包括以下步骤：决定多个制造程序之间的对应关系；依据制造程序处理晶片；通过检测机台测量处理后的晶片；从机台取得制造程序的制造结果信息；再依据制造结果信息及对应关系自动调整制造程序。该系统包括：决定模块，决定多个制造程序之间的对应关系，制造程序用以制造至少一个晶片；至少一个机台，用以检测通过制造程序处理后的至少一个晶片；取得模块，其耦接于该机台，并从机台取得至少一个制造程序的制造结果信息；以及调整模块，依据制造结果信息及对应关系自动调整制造程序。本发明可以在晶片处理和检测之后，自动执行制造程序的调整，因此可以减少错误并节省资源。
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公开(公告)号：CN101089758A
公开(公告)日：2007-12-19
申请号：CN200710005299.X
申请日：2007-02-14
申请人： 台湾积体电路制造股份有限公司
CPC分类号： G05B19/41875 , G05B2219/32096 , G05B2219/32137 , G05B2219/45031 , Y02P90/16 , Y02P90/185 , Y02P90/20 , Y02P90/22
摘要： 本发明涉及一种用于制造程序反馈控制的自动方法及系统。该方法包括以下步骤：决定制造程序之间的关系；依据该制造程序处理晶片；通过检测机台测量处理后的晶片；从该机台取得该制造程序的制造结果信息；再依据该制造结果信息及该关系自动调整该制造程序。该系统包括：一决定模块，决定制造程序之间的关系，其中该制造程序用以制造至少一个晶片；至少一个机台，用以检测处理后的晶片；一取得模块，其耦接于该机台，并从该机台取得该制造程序的制造结果信息；以及一调整模块，依据该制造结果信息及该关系自动调整该制造程序。本发明可以在晶片处理和检测之后，自动执行制造程序的调整，因此可以减少错误并节省资源。
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公开(公告)号：CN1766770A
公开(公告)日：2006-05-03
申请号：CN200510118247.4
申请日：2005-10-21
申请人： 费舍-柔斯芒特系统股份有限公司
IPC分类号： G05B19/418 , G05B15/02 , G06F17/00
CPC分类号： G05B19/41865 , G05B2219/32079 , G05B2219/32096 , G05B2219/32328 , Y02P90/20
摘要： 本发明提供一种过程控制系统中用于设备判优的方法和系统。该方法和系统包括从与第二区域相关联的第一资源使用者接收对与第一区域相关联的第一资源的请求，其中第一区域和第二区域是不同的。该方法和系统自动地判定第一资源是否可由第一资源使用者使用。
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公开(公告)号：CN1759358A
公开(公告)日：2006-04-12
申请号：CN200380110219.7
申请日：2003-12-22
申请人： 先进微装置公司
IPC分类号： G05B19/418
CPC分类号： G05B19/41865 , G05B2219/32077 , G05B2219/32078 , G05B2219/32096 , G05B2219/45031 , G05B2219/50065 , Y02P90/14 , Y02P90/20
摘要： 一种用于根据状态估算结果调整采样率的方法与装置(120)。该方法包括接收有关于处理工件的测量数据，根据该测量数据的至少一部份估算下个处理状态，并且决定有关于该估算的下个处理状态的错误值。该方法还包括根据估算的下个处理状态而处理多个工件，以及根据该决定的错误值调整该待测量的经处理工件的采样协议。
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