公开(公告)号：CN114641592A

公开(公告)日：2022-06-17

申请号：CN202080075633.2

申请日：2020-08-19

申请人： 朗姆研究公司

发明人： 拉维·韦兰基 ,  埃里克·H·伦茨 ,  维纳亚卡拉迪·古拉巴尔 ,  桑杰·戈皮纳特 ,  米卡尔·达内克 ,  普罗德尤特·玛久姆德 ,  诺维·特约克洛 ,  陈彦璋 ,  施卢蒂·维维克·托姆贝尔 ,  戈鲁恩·布泰尔 ,  帕特里克·A·范克利蒙布特

IPC分类号： C23C16/455

摘要： 提供各种喷头及方法。一种喷头可以包含：面板，其部分地由前表面和背表面限定；背板，其具有气体入口、第一圆锥台表面以及第二圆锥台表面；充气部容积，其流体连接至所述气体入口，且至少部分地由所述气体入口、所述面板的所述背表面、所述第一圆锥台表面、以及所述第二圆锥台表面限定；以及挡板，其位于所述充气部容积内，且具有多个挡板通孔，所述多个挡板通孔延伸穿过所述挡板。所述第二圆锥台表面可以相对于所述喷头的中心轴而从所述第一圆锥台表面径向地往外定位，并且所述第二圆锥台表面可以沿着所述中心轴而定位成比所述第一圆锥台表面更远离所述气体入口。