烧成装置
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN102066862A

    公开(公告)日:2011-05-18

    申请号:CN201080001914.X

    申请日:2010-05-25

    摘要: 本发明的课题在于提供一种可在抑制烧成不均的同时、实现生产性的提高的烧成装置。本发明的烧成装置的特征为,包括:炉体(13),该炉体(13)具有内部空间且在该内部空间中对粉体状或粒体状的被处理物(11)进行烧成;气体喷出部(21),该气体喷出部(21)具有从在所述炉体(13)的内部空间中进行传送的所述被处理物(11)的上方喷出气氛气体的开口;气体提供部(18),该气体提供部(18)从所述炉体(13)的侧壁(13c)向所述气体喷出部(21)提供所述气氛气体;及加热部(24a、24b),该加热部(24a、24b)控制所述炉体(13)的内部空间的温度分布。

    热处理装置
    2.
    发明授权

    公开(公告)号:CN1908566B

    公开(公告)日:2010-05-26

    申请号:CN200610108205.7

    申请日:2006-08-01

    IPC分类号: F27D17/00 C10J3/20

    摘要: 本发明提供一种能够防止排气管内产生焦油的热处理装置。该热处理装置具有集合排气管(200)、第1炉(100a)及第2炉(100b),第1炉(100a)与集合排气管(200)的气流上游侧连接,第2炉(100b)与集合排气管(200)的气流下游侧连接,在将集合排气管(200)的与第1炉(100a)的连接部分的截面积设为S1、集合排气管(200)的与第2炉(100b)的连接部分的截面积设为S2、第1炉(100a)内部的高度设为H1、第1炉(100a)内部的高度与第2炉(100b)内部的高度之和设为H2时,集合排气管(200)的截面积满足公式:S2/S1=(H2/H1)a,其中0.1≤a≤0.9。

    薄膜形成装置
    3.
    发明授权

    公开(公告)号:CN1066386C

    公开(公告)日:2001-05-30

    申请号:CN95115918.6

    申请日:1995-09-11

    IPC分类号: B29C41/26 B29C41/28

    摘要: 一种薄膜形成装置,包括:具有多个喷涂液体用喷孔的涂液喷头;使沉积了上述涂液的上述涂敷基片绕转轴旋转的旋转装置;使上述涂液喷头和涂敷基片在该基片邻近转轴的附近区域和离开转轴的离开区域之间作互为相对移动的相地移动装置;相对移动控制装置,使随着上述涂液喷头和基片的相对位置从所邻近转轴区域相对移向离开转轴区域时,相应减少相对移动速度和旋转装置的旋转角速度。根据本发明,可用简单的控制制得均匀的薄膜。

    烧成装置
    4.
    发明授权

    公开(公告)号:CN102066862B

    公开(公告)日:2013-02-27

    申请号:CN201080001914.X

    申请日:2010-05-25

    摘要: 本发明的课题在于提供一种可在抑制烧成不均的同时、实现生产性的提高的烧成装置。本发明的烧成装置的特征为,包括:炉体(13),该炉体(13)具有内部空间且在该内部空间中对粉体状或粒体状的被处理物(11)进行烧成;气体喷出部(21),该气体喷出部(21)具有从在所述炉体(13)的内部空间中进行传送的所述被处理物(11)的上方喷出气氛气体的开口;气体提供部(18),该气体提供部(18)从所述炉体(13)的侧壁(13c)向所述气体喷出部(21)提供所述气氛气体;及加热部(24a、24b),该加热部(24a、24b)控制所述炉体(13)的内部空间的温度分布。

    热处理装置
    5.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1908566A

    公开(公告)日:2007-02-07

    申请号:CN200610108205.7

    申请日:2006-08-01

    IPC分类号: F27D17/00 C10J3/20

    摘要: 本发明提供一种能够防止排气管内产生焦油的热处理装置。该热处理装置具有集合排气管(200)、第1炉(100a)及第2炉(100b),第1炉(100a)与集合排气管(200)的气流上游侧连接,第2炉(100b)与集合排气管(200)的气流下游侧连接,在将集合排气管(200)的与第1炉(100a)的连接部分的截面积设为S1、集合排气管(200)的与第2炉(100b)的连接部分的截面积设为S2、第1炉(100a)内部的高度设为H1、第1炉(100a)内部的高度与第2炉(100b)内部的高度之和设为H2时,集合排气管(200)的截面积满足公式:S2/S1=(H2/H1)a,其中0.1≤a≤0.9。

    激光孔加工机的加工粉收集装置

    公开(公告)号:CN1325777A

    公开(公告)日:2001-12-12

    申请号:CN01116952.4

    申请日:2001-05-11

    IPC分类号: B23K26/00 B23K26/16 B08B5/04

    摘要: 一种激光孔加工机的加工粉收集装置,集尘机在镜头与基材之间具有由四个侧壁围起的集尘空间,该集尘空间的相对侧壁上设有两个给气口和一个排气口,两个给气口上下分开形成,从两个给气口供给集尘空间的总供气量为从排气口排出的排气量的30~70%,下方给气口的供气量是上方给气口的供气量的1.5~4.5倍。本发明可利用从给气口向排气口流动的集尘用气流有效地将粉尘从排气口排出,提高集尘能力。

    洁净室
    9.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101583829A

    公开(公告)日:2009-11-18

    申请号:CN200880001528.3

    申请日:2008-10-20

    IPC分类号: F24F7/06

    CPC分类号: F24F3/161 H01L21/67115

    摘要: 本发明提供一种洁净室,以与生产设备等放热体(10)的上表面(10-1)对置的方式,配置排尘辅助构件(15)的排尘促进面(15-1),在放热体的上表面与排尘辅助构件的排尘促进面之间,灰尘或化学物质等物体的大小,与该物体在空气中自由落下时的空气阻力平衡,并且最终稳定的落下速度(临界速度)被该速度以上的上升气流抵消,由此灰尘以及化学物质等物体不会落到放热体上。