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公开(公告)号：CN108701754B
公开(公告)日：2022-07-26
申请号：CN201780012091.2
申请日：2017-02-15
Applicant: 柯尼卡美能达株式会社
IPC: H01L41/332 , H01L41/09 , H01L41/23 , H01L41/338 , H04R31/00
Abstract: 本发明提供能够形成宽度小且宽高比大的柱状微细结构体的压电元件的制造方法。所述制造方法是具备立体结构群(20)的压电元件(102)的制造方法，所述立体结构群(20)具有多个立体结构(21，321)而成，所述立体结构(21，321)形成为宽度30μm以下且高度80μm以上的板状或柱状。该制造方法具备：第1工序，将板状或柱状的多个前体形状(82a)加工于由Pb系压电材料形成的块状材料(81)；以及第2工序，使用蚀刻液使前体形状(82a)的宽度减少至规定量。
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公开(公告)号：CN108701754A
公开(公告)日：2018-10-23
申请号：CN201780012091.2
申请日：2017-02-15
Applicant: 柯尼卡美能达株式会社
IPC: H01L41/332 , H01L41/09 , H01L41/23 , H01L41/338 , H04R31/00
CPC classification number: H01L41/09 , H01L41/23 , H01L41/332 , H01L41/338 , H04R31/00
Abstract: 本发明提供能够形成宽度小且宽高比大的柱状微细结构体的压电元件的制造方法。所述制造方法是具备立体结构群(20)的压电元件(102)的制造方法，所述立体结构群(20)具有多个立体结构(21，321)而成，所述立体结构(21，321)形成为宽度30μm以下且高度80μm以上的板状或柱状。该制造方法具备：第1工序，将板状或柱状的多个前体形状(82a)加工于由Pb系压电材料形成的块状材料(81)；以及第2工序，使用蚀刻液使前体形状(82a)的宽度减少至规定量。
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公开(公告)号：CN110383517A
公开(公告)日：2019-10-25
申请号：CN201880015385.5
申请日：2018-03-05
Applicant: 柯尼卡美能达株式会社
IPC: H01L41/047 , A61B8/00 , H01L41/113 , H01L41/29 , H04R17/00 , H04R31/00
Abstract: 提供提高了金属电极对压电元件的紧贴性的压电部件。压电部件(102)具备压电元件(21)和分别形成压电元件(21)的一对对置面(21b、21c)上的一对电极(41、42)，电极(41、42)具有：基底膜(41a)，其形成在压电元件(21)的对置面(21b、21c)上，具有硫醇基；金属粘合膜(41b)，其形成在基底膜(41a)上；以及电极膜(41c)，其形成在金属粘合膜(41b)上，用于对压电元件(21)施加电压，金属粘合膜(41b)由与电极膜(41c)不同的材料形成，具有1nm以上10nm以下的厚度。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105283290B
公开(公告)日：2017-07-21
申请号：CN201480033410.4
申请日：2014-05-14
Applicant: 柯尼卡美能达株式会社
CPC classification number: B29D11/005 , B29C43/021 , B29C43/08
Abstract: 一种光学元件的制造方法，使用能量固化性树脂能够成型高精度的光学元件。该光学元件的制造方法具有：使用供给至第一模具和第二模具之间的能量固化性树脂，在第一模具和第二模具进行合模时，使第一定位部和第二定位部嵌合，由此，进行模具彼此的定位的工序；对充填于被第一光学面转印面及第一凸缘面转印面和第二光学面转印面及第二凸缘面转印面包围的腔室内的能量固化性树脂赋予能量，使能量固化性树脂固化的工序。
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公开(公告)号：CN105283290A
公开(公告)日：2016-01-27
申请号：CN201480033410.4
申请日：2014-05-14
Applicant: 柯尼卡美能达株式会社
CPC classification number: B29D11/005 , B29C43/021 , B29C43/08
Abstract: 一种光学元件的制造方法，使用能量固化性树脂能够成型高精度的光学元件。该光学元件的制造方法具有：使用供给至第一模具和第二模具之间的能量固化性树脂，在第一模具和第二模具进行合模时，使第一定位部和第二定位部嵌合，由此，进行模具彼此的定位的工序；对充填于被第一光学转印面及第一凸缘面转印面和第二光学转印面及第二凸缘面转印面包围的腔室内的能量固化性树脂赋予能量，使能量固化性树脂固化的工序。
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公开(公告)号：CN110383517B
公开(公告)日：2023-06-20
申请号：CN201880015385.5
申请日：2018-03-05
Applicant: 柯尼卡美能达株式会社
Abstract: 提供提高了金属电极对压电元件的紧贴性的压电部件。压电部件(102)具备压电元件(21)和分别形成压电元件(21)的一对对置面(21b、21c)上的一对电极(41、42)，电极(41、42)具有：基底膜(41a)，其形成在压电元件(21)的对置面(21b、21c)上，具有硫醇基；金属粘合膜(41b)，其形成在基底膜(41a)上；以及电极膜(41c)，其形成在金属粘合膜(41b)上，用于对压电元件(21)施加电压，金属粘合膜(41b)由与电极膜(41c)不同的材料形成，具有1nm以上10nm以下的厚度。
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公开(公告)号：CN109155359B
公开(公告)日：2022-06-10
申请号：CN201780030141.X
申请日：2017-04-25
Applicant: 柯尼卡美能达株式会社
IPC: H01L41/332 , H01L21/306 , H01L21/308 , H01L41/18 , H01L41/338
Abstract: 本发明是压电元件的制造方法。该制造方法是对包含使由Pb类压电材料构成的压电体和树脂交替排列的压电体复合物的压电元件进行制造的方法，包含利用蚀刻液对通过切割而形成的并列的多个压电体切片进行蚀刻的工序。上述蚀刻液使用含有0.1～20质量％的六氟硅酸的液体。
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公开(公告)号：CN109155359A
公开(公告)日：2019-01-04
申请号：CN201780030141.X
申请日：2017-04-25
Applicant: 柯尼卡美能达株式会社
IPC: H01L41/332 , H01L21/306 , H01L21/308 , H01L41/18 , H01L41/338
Abstract: 本发明是压电元件的制造方法。该制造方法是对包含使由Pb类压电材料构成的压电体和树脂交替排列的压电体复合物的压电元件进行制造的方法，包含利用蚀刻液对通过切割而形成的并列的多个压电体切片进行蚀刻的工序。上述蚀刻液使用含有0.1～20质量％的六氟硅酸的液体。
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