公开(公告)号：CN1557048B

公开(公告)日：2010-04-21

申请号：CN03801098.4

申请日：2003-07-14

Applicant: 株式会社大真空

Inventor： 佐藤俊介 ,  幸田直树 ,  福富俊辅 ,  白井崇

IPC: H03H3/02

CPC classification number: H03H3/04 ,  H03H9/21 ,  H03H2003/026 ,  H03H2003/0492

Abstract: 一种腐蚀方法，在对水晶基板(2)进行腐蚀加工从而成形在脚部(11、12)具有槽部(11c、12c)的音叉型水晶晶片(1A)时，利用根据腐蚀区域的形状决定腐蚀量的腐蚀停止技术预先设定槽部(11c、12c)的宽度尺寸，从而可提高槽部(11c、12c)的深度尺寸的加工精度。这样，如确保必要最短时间以上的腐蚀时间，则可获得按照设计尺寸的深度尺寸。

公开(公告)号：CN1557048A

公开(公告)日：2004-12-22

申请号：CN03801098.4

申请日：2003-07-14

Applicant: 株式会社大真空

Inventor： 佐藤俊介 ,  幸田直树 ,  福富俊辅 ,  白井崇

IPC: H03H3/02

CPC classification number: H03H3/04 ,  H03H9/21 ,  H03H2003/026 ,  H03H2003/0492

Abstract: 一种腐蚀方法，在对水晶基板(2)进行腐蚀加工从而成形在脚部(11、12)具有槽部(11c、12c)的音叉型水晶晶片(1A)时，利用根据腐蚀区域的形状决定腐蚀量的腐蚀停止技术预先设定槽部(11c、12c)的宽度尺寸，从而可提高槽部(11c、12c)的深度尺寸的加工精度。这样，如确保必要最短时间以上的腐蚀时间，则可获得按照设计尺寸的深度尺寸。