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公开(公告)号：CN111332833B
公开(公告)日：2023-03-24
申请号：CN201911058998.X
申请日：2019-11-01
申请人： 株式会社安川电机
IPC分类号： B65H5/08 , B65H29/02 , B65H43/00 , H01L21/677
摘要： 本发明提供一种运送系统以及运送控制方法，能够以简单的构成高精度地进行支承基板的手的位置的校准。运送系统(2)包括：手(30)，支承作为运送对象的工件(W)；臂(40)，使手(30)移动；扫描控制部(113)，通过臂(40)使手(30)沿与边(33a)和边(33b)交叉的扫描方向移动，以使被固定于手(30)的彼此不平行的边(33a)和边(33b)通过工件(W)的运送路径中的已知的基准位置(RP)；以及位置检测部(114)，基于当扫描控制部(113)使手(30)移动时边(33a)到达基准位置(RP)的定时以及边(33b)到达基准位置(RP)的定时来检测在与扫描方向交叉的方向上的手(30)的位置偏移。
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公开(公告)号：CN117798899A
公开(公告)日：2024-04-02
申请号：CN202311226162.2
申请日：2023-09-21
申请人： 株式会社安川电机
IPC分类号： B25J9/16 , H01L21/677 , H01L21/67 , B25J9/04
摘要： 提供搬运系统以及搬运方法。即使在基板的挠曲较大的情况下，也防止由接触引起的基板的破损。实施方式的搬运系统具有：机器人，其相对于多层地收纳基板的盒进行上述基板的搬入搬出；以及控制器，其对上述机器人的动作进行控制。上述机器人具有：手，其搬运上述基板；水平移动机构，其使上述手在上述盒的正面的宽度方向上移动；以及升降机构，其使上述手升降。上述手在与上述盒对置的末端侧具有检测对象物的反射型传感器。上述控制器以使与收纳于上述盒的上述基板对置的上述反射型传感器在该基板的宽度方向上进行扫描的方式使上述水平移动机构动作，由此使上述反射型传感器进行水平扫描。
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公开(公告)号：CN118514057A
公开(公告)日：2024-08-20
申请号：CN202410177363.6
申请日：2024-02-08
申请人： 株式会社安川电机
摘要： 机器人系统、校准工具以及校准方法，能够容易地进行校准。机器人系统(1)具有：机器人(2)，其通过手(10)支承并搬运基板(W)；目标(320、420)，其能够代替基板(W)进行配置；传感器(60)，其设置于手(10)，与目标(320、420)对置且非接触地检测目标(320、420)；第1检测部(113)，其基于沿着第1方向与目标(320、420)对置的传感器(60)的检测结果和传感器(60)的位置，检测目标(320、420)在第1方向上的位置；以及第2检测部(114)，其以使传感器(60)沿着与第1方向垂直的第2方向移动的方式控制机器人(2)，基于沿着第2方向的移动引起的传感器(60)的检测结果的变化和传感器(60)的位置，检测目标(320、420)在第2方向上的位置。
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公开(公告)号：CN118136563A
公开(公告)日：2024-06-04
申请号：CN202311531357.8
申请日：2023-11-16
申请人： 株式会社安川电机
IPC分类号： H01L21/677 , H01L21/66
摘要： 基板搬运装置以及基板搬运方法，即使在基板的状态发生了变化的情况下，也防止由接触引起的基板的破损。实施方式的基板搬运装置相对于在上下方向上多层地收纳基板的盒搬入搬出上述基板，其中，该基板搬运装置具有：手，其搬运上述基板；动作机构，其使上述手动作；控制器，其对上述动作机构进行控制；以及第1检测部，其能够检测上述基板。上述控制器具有偏移量变更部，上述偏移量变更部根据由上述第1检测部检测出的上述基板的厚度或挠曲量，对上述手相对于上述盒搬入搬出上述基板时的、使上述手相对于上述盒的基板支承高度上下动作的偏移量进行变更。
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公开(公告)号：CN105382828A
公开(公告)日：2016-03-09
申请号：CN201510512326.7
申请日：2015-08-19
申请人： 株式会社安川电机
发明人： 南孝
CPC分类号： G05B19/425 , G05B2219/39136 , G05B2219/40307 , G05B2219/40387 , Y10S901/03 , Y10S901/14
摘要： 本发明提供一种机器人系统，其具备机器人和配置成对机器人的动作进行控制的控制器，机器人具有机器人臂以及第一手及第二手，该第一手及第二手与机器人臂连结并设置成能够分别围绕机器人臂上的轴独立旋转。在以使第一手到达规定的目标位置的方式使机器人臂及第一手动作时，生成针对该目标位置的第一手的示教值。在基于第一手的示教值而使第一手及第二手旋转时，获取第二手相对于第一手的围绕轴的旋转量的相对误差并存储在存储部中。根据相对误差而由第一手的示教值生成第二手的示教值。
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公开(公告)号：CN103193085A
公开(公告)日：2013-07-10
申请号：CN201210399211.8
申请日：2012-10-19
申请人： 株式会社安川电机
IPC分类号： B65G49/07 , H01L21/677
CPC分类号： H01L21/67742 , H01L21/67766 , H01L21/68707
摘要： 本发明涉及一种搬运系统，根据实施方式的搬运系统包括存储单元、指示部以及多个机器人手。这些机器人手能操作以保持薄板状工件。在所述存储单元中存储速度信息，该速度信息表示与保持所述工件的机器人手的规定速度相关联的该工件的温度。所述指示部从所述速度信息提取针对每个机器人手的规定速度，并且做出指示：以基于一组所提取的规定速度数据确定的代表速度或以低于该代表速度的速度，移动所有机器人手。
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公开(公告)号：CN118116851A
公开(公告)日：2024-05-31
申请号：CN202311531538.0
申请日：2023-11-16
申请人： 株式会社安川电机
IPC分类号： H01L21/677 , H01L21/66
摘要： 基板搬运机器人系统以及基板搬运机器人的示教方法，实现基板的搬入搬出中的示教作业的高效化和高精度化。基板搬运机器人系统对搬运基板的基板搬运机器人示教基板的搬运位置。基板搬运机器人具有：手，其搬运基板；动作机构，其使手在水平和上下方向上动作；设置于手的、分别向水平方向和上下方向照射扫描线的第1和第2传感器，基板搬运机器人系统具有：控制器，其控制手和动作机构；第1和第2被检测部，它们相对于搬运位置的位置和彼此的位置关系是已知的。控制器使手动作，由此通过第1和第2传感器检测第1被检测部，通过第2传感器检测第2被检测部，控制器根据检测到第1和第2被检测部时的手的位置信息，计算搬运位置并存储。
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公开(公告)号：CN111332833A
公开(公告)日：2020-06-26
申请号：CN201911058998.X
申请日：2019-11-01
申请人： 株式会社安川电机
IPC分类号： B65H5/08 , B65H29/02 , B65H43/00 , H01L21/677
摘要： 本发明提供一种有效的运送系统以及运送控制方法，能够以简单的构成高精度地进行支承基板的手的位置的校准。运送系统(2)包括：手(30)，支承作为运送对象的工件(W)；臂(40)，使手(30)移动；扫描控制部(113)，通过臂(40)使手(30)沿与边(33a)和边(33b)交叉的扫描方向移动，以使被固定于手(30)的彼此不平行的边(33a)和边(33b)通过工件(W)的运送路径中的已知的基准位置(RP)；以及位置检测部(114)，基于当扫描控制部(113)使手(30)移动时边(33a)到达基准位置(RP)的定时以及边(33b)到达基准位置(RP)的定时来检测在与扫描方向交叉的方向上的手(30)的位置偏移。
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公开(公告)号：CN104733348A
公开(公告)日：2015-06-24
申请号：CN201410738775.9
申请日：2014-12-05
申请人： 株式会社安川电机
CPC分类号： H01L21/681 , H01L21/67259 , Y10S901/30 , Y10S901/47
摘要： 本发明提供一种检测系统及检测方法，能够以低成本切实地检测出基板的偏心状态。具体而言，如下构成检测系统，使其具备：旋转部，使载放有圆形基板的载放台绕转轴旋转；及检测部，在距转轴的距离不同的多个检测位置分别检测出有无旋转中的基板的外周部。并如下构成检测系统，使其具备判定部，根据将外周部的有无发生更替时的载放台的相位与检测位置组合后的检测信息，来判定基板的偏心状态。
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公开(公告)号：CN103193085B
公开(公告)日：2015-06-17
申请号：CN201210399211.8
申请日：2012-10-19
申请人： 株式会社安川电机
IPC分类号： B65G49/07 , H01L21/677
CPC分类号： H01L21/67742 , H01L21/67766 , H01L21/68707
摘要： 本发明涉及一种搬运系统，根据实施方式的搬运系统包括存储单元、指示部以及多个机器人手。这些机器人手能操作以保持薄板状工件。在所述存储单元中存储速度信息，该速度信息表示与保持所述工件的机器人手的规定速度相关联的该工件的温度。所述指示部从所述速度信息提取针对每个机器人手的规定速度，并且做出指示：以基于一组所提取的规定速度数据确定的代表速度或以低于该代表速度的速度，移动所有机器人手。
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