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公开(公告)号：CN100538573C
公开(公告)日：2009-09-09
申请号：CN200480017296.2
申请日：2004-06-10
申请人： 株式会社富士金 , 东京毅力科创株式会社
IPC分类号： G05D7/06
CPC分类号： G05D7/00 , G05D7/0623 , G05D7/0652 , G05D7/0658 , G05D7/0664 , G05D11/132 , Y10T137/0379 , Y10T137/0396 , Y10T137/2521 , Y10T137/2529 , Y10T137/2562 , Y10T137/263 , Y10T137/2663 , Y10T137/7761 , Y10T137/8175
摘要： 设计为从具有流量控制装置的气体供给设备正确且迅速地以规定的流量比Q1/Q2向容器内分流供给规定流量Q的处理气体。因此，在本发明中，在用于从具有流量控制装置(QCS)的气体供给设备(1)向容器供给规定流量Q的气体(G)的多条分支管线(GL1、GL2)上，分别设置开闭阀(OV1、OV2)，并使用在前述开闭阀(OV1)的下游侧从(GL1)分支的旁通管线(BL1)、在开闭阀(OV2)的下游侧从(GL2)分支的(BL2)、连接在旁通管线(BL1)和旁通管线(BL2)上的压力式分流控制器(FV)、测定分流供给管线(GL1)内的压力的压力传感器(PS1)、测定分流供给管线(GL2)内的压力的压力传感器(PS2)，通过分支供给管线(GL1、GL2)的末端固定的喷淋板(3、4)，以希望的分流流量Q1、Q2向容器(C)内分流供给总量Q＝Q1+Q2的气体。
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公开(公告)号：CN100426169C
公开(公告)日：2008-10-15
申请号：CN03800777.0
申请日：2003-01-20
申请人： 株式会社富士金 , 东京毅力科创株式会社
IPC分类号： G05D7/06
CPC分类号： G05D7/0664 , Y10T137/7759 , Y10T137/7761
摘要： 将可以从备有流量控制装置的气体供给设备正确且迅速地按所需要的流量比Q1/Q2向腔室内分流供给规定流量Q的处理气体。具体地说，从备有流量控制装置的气体供给设备通过多个分支供给线和固定于其末端的喷淋板按规定的流量比Q1/Q2向减压的腔室(C)内分流供给规定流量Q的气体之际，在前述多个分支供给线(GL1、GL2)上加装压力式分流量控制器(FV1、FV2)，并且靠来自使流量大的一方的压力式分流量控制器的控制阀(CV)的开度全开的分流量控制盘(FRC)的初期流量设定信号，开始前述两个分流量控制器(FV1、FV2)的开度控制，通过分别调整前述控制阀(CV)的下游侧压力P3′、P3″，通过设在喷淋板(3、4)上的节流孔(3a、4a)，按由式Q1＝C1P3′和Q2＝C2P3″(式中，C1、C2是取决于节流孔的断面积或节流孔上游侧的气体温度的常数)表达的所需要的分流量Q1、Q2向前述腔室(C)内分流供给总量Q＝Q1+Q2的气体。
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公开(公告)号：CN1809794A
公开(公告)日：2006-07-26
申请号：CN200480017296.2
申请日：2004-06-10
申请人： 株式会社富士金 , 东京毅力科创株式会社
IPC分类号： G05D7/06
CPC分类号： G05D7/00 , G05D7/0623 , G05D7/0652 , G05D7/0658 , G05D7/0664 , G05D11/132 , Y10T137/0379 , Y10T137/0396 , Y10T137/2521 , Y10T137/2529 , Y10T137/2562 , Y10T137/263 , Y10T137/2663 , Y10T137/7761 , Y10T137/8175
摘要： 设计为从具有流量控制装置的气体供给设备正确且迅速地以规定的流量比Q1/Q2向容器内分流供给规定流量Q的处理气体。因此，在本发明中，在用于从具有流量控制装置(QCS)的气体供给设备(1)向容器供给规定流量Q的气体(G)的多条分支管线(GL1、GL2)上，分别设置开闭阀(OV1、OV2)，并使用在前述开闭阀(OV1)的下游侧从(GL1)分支的旁通管线(BL1)、在开闭阀(OV2)的下游侧从(GL2)分支的(BL2)、连接在旁通管线(BL1)和旁通管线(BL2)上的压力式分流控制器(FV)、测定分流供给管线(GL1)内的压力的压力传感器(PS1)、测定分流供给管线(GL2)内的压力的压力传感器(PS2)，通过分支供给管线(GL1、GL2)的末端固定的喷淋板(3、4)，以希望的分流流量Q1、Q2向容器(C)内分流供给总量Q＝Q1+Q2的气体。
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公开(公告)号：CN1543596A
公开(公告)日：2004-11-03
申请号：CN03800777.0
申请日：2003-01-20
申请人： 株式会社富士金 , 东京毅力科创株式会社
IPC分类号： G05D7/06
CPC分类号： G05D7/0664 , Y10T137/7759 , Y10T137/7761
摘要： 将可以从备有流量控制装置的气体供给设备正确且迅速地按所需要的流量比Q1/Q2向腔室内分流供给规定流量Q的处理气体。具体地说，从备有流量控制装置的气体供给设备通过多个分支供给线和固定于其末端的喷淋板按规定的流量比Q1/Q2向减压的腔室(C)内分流供给规定流量Q的气体之际，在前述多个分支供给线(GL1、GL2)上加装压力式分流量控制器(FV1、FV2)，并且靠来自使流量大的一方的压力式分流量控制器的控制阀(CV)的开度全开的分流量控制盘(FRC)的初期流量设定信号，开始前述两个分流量控制器(FV1、FV2)的开度控制，通过分别调整前述控制阀(CV)的下游侧压力P3′、P3″，通过设在喷淋板(3、4)上的节流孔(3a、4a)，按由式Q1＝C1P3′和Q2＝C2P3″(式中，C1、C2是取决于节流孔的断面积或节流孔上游侧的气体温度的常数)表达的所需要的分流量Q1、Q2向前述腔室(C)内分流供给总量Q＝Q1+Q2的气体。
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公开(公告)号：CN1809737A
公开(公告)日：2006-07-26
申请号：CN200480017295.8
申请日：2004-06-10
CPC分类号： G01L19/02 , G01L9/065 , G01L19/0023 , G05D7/0635
摘要： 本发明提供一种对压力传感器的时效零点漂移进行自动修正，能够不限于其工作期间对压力进行准确检测的压力传感器、使用该压力传感器的压力控制装置以及流量控制装置。具体地说，作为一种采用对流体压力进行测定的半导体压敏元件的压力传感器，将来自压力传感器的传感器输出电压通过放大器向外部输出，并将所述传感器输出电压通过D/A转换器输入给压力传感器时效零点漂移修正机构，在该时效零点漂移修正机构的传感器输出判定机构中判定所述传感器输出电压是否大于设定值，进而在所述时效零点漂移修正机构的动作条件判定机构中对压力传感器的动作条件进行判定，当所述传感器输出电压大于设定值且压力传感器的动作条件处于预先设定的动作条件下时，通过D/A转换器将与所述传感器的输出电压大小相等而极性相反的零点修正用电压输入给所述放大器的补偿端子，将压力传感器的时效零点漂移消除。
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公开(公告)号：CN100480656C
公开(公告)日：2009-04-22
申请号：CN200480017295.8
申请日：2004-06-10
CPC分类号： G01L19/02 , G01L9/065 , G01L19/0023 , G05D7/0635
摘要： 本发明提供一种对压力传感器的时效零点漂移进行自动修正，能够不限于其工作期间对压力进行准确检测的压力传感器、使用该压力传感器的压力控制装置以及流量控制装置。具体地说，作为一种采用对流体压力进行测定的半导体压敏元件的压力传感器，将来自压力传感器的传感器输出电压通过放大器向外部输出，并将所述传感器输出电压通过D/A转换器输入给压力传感器时效零点漂移修正机构，在该时效零点漂移修正机构的传感器输出判定机构中判定所述传感器输出电压是否大于设定值，对压力传感器的动作条件进行判定，当所述传感器输出电压大于设定值时，将压力传感器的时效零点漂移消除。
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