具有通信接口的计量设备

    公开(公告)号:CN109477468A

    公开(公告)日:2019-03-15

    申请号:CN201780043951.9

    申请日:2017-07-14

    Abstract: 本发明涉及一种具有计量腔室的计量设备,其中位移元件以使得其在两个位置之间可往复移动的方式来可移动地布置,其中该计量腔室在一个位置中的容量大于在另一位置中的容量。此外,该计量设备具有用于驱动位移元件的致动器,该致动器具有用于电致动信号的致动器输入端并且以使得存在于该致动器输入端处的电致动信号被转换成机械移动的方式来构造。此外,该计量设备具有用于检测物理或化学参数的传感器,该传感器具有用于电测量信号的传感器输出端并且以它检测物理或化学参数、将其转换成电测量信号、并且使该电测量信号在传感器输出端处可用的方式来配置。最后,该计量设备具有通信接口,该计量设备可经由该通信接口来与远程服务器通信。

    高空气体检测系统及检测方法

    公开(公告)号:CN107389385A

    公开(公告)日:2017-11-24

    申请号:CN201710576883.4

    申请日:2017-07-14

    Abstract: 本发明公开一种高空气体检测系统及检测方法。所述检测系统包括移动平台、环境气体收集通道、多个气体感应器及气体流量控制器。所述移动平台包括罩体。所述环境气体收集通道包括依次贯通设置的气体入口、收容腔及气体出口。所述气体入口及所述气体出口分设于设于所述罩体二相对端,所述收容腔由所述罩体围成,并贯通所述气体入口及所述气体出口,所述感应器收容于所述环境气体收集通道的收容腔,所述气体流量控制器控制所述环境气体收集通道内所采集气体的流量并保证所述环境气体收集通道内的气体得到及时更新。所述高空气体检测系统及方法对周边环境气体参数分布实时精确检测,且所述传感器免于受外部环境干扰,提高检测精度,延长寿命。

    流量运算装置、流量运算方法和流量控制装置

    公开(公告)号:CN106959139A

    公开(公告)日:2017-07-18

    申请号:CN201610858551.0

    申请日:2016-09-27

    Abstract: 本发明涉及流量运算装置、流量运算方法和流量控制装置,提高流量的计测精度,实现高精度的流量控制。将根据与阀芯(14)结合的阀轴(17)的旋转位置检测出的阀芯的阀开度θpv作为阀开度测量值,并将作为阀芯(14)的初级侧的流体的压力P1与次级侧的流体的压力P2的压力差而检测出的阀芯的前后差压ΔP作为差压检测值,根据该阀开度测量值θpv和差压检测值ΔP来求出与此时的阀轴(17)的扭转量对应的校正值α,使用该校正值α来校正阀开度测量值θpv,根据经校正的阀开度θpv’和差压检测值ΔP,计算在管路(13)中流过的流体的流量。将该计算出的流体的流量作为计测流量Qpv,控制阀轴(17)的旋转量,以使计测流量Qpv与设定流量Qsp一致。

    卷盘式喷灌机灌水量智能精准控制系统及控制方法

    公开(公告)号:CN105717951A

    公开(公告)日:2016-06-29

    申请号:CN201610171251.5

    申请日:2016-03-24

    CPC classification number: G05D7/0623 G05D7/0676

    Abstract: 本发明提供一种卷盘式喷灌机灌水量智能精准控制系统及控制方法。控制系统包括风速传感器、流量传感器、PE管线速度传感器、调节卷盘式喷灌机水涡轮隔舌开度的由步进电机驱动的丝杠调节机构和灌水量控制器,流量传感器设置在卷盘式喷灌机进水管上,灌水量控制器通过CAN总线与风速传感器、流量传感器、PE管线速度传感器及步进电机连接,灌水量控制器根据卷盘式喷灌机流量、作业环境下风速及PE管回收线速度的信息,对步进电机进行控制从而控制水涡轮隔舌开度。本发明能实现对卷盘式喷灌机的灌水量进行智能精准控制,自动化运行程度高,操作方便。

    基板液处理装置、基板液处理方法和存储介质

    公开(公告)号:CN107895702A

    公开(公告)日:2018-04-10

    申请号:CN201710899650.8

    申请日:2017-09-28

    Inventor: 佐藤秀明

    CPC classification number: H01L21/31111 G05D7/0623 H01L21/67086 H01L21/67253

    Abstract: 本发明提供一种基板液处理装置、基板液处理方法和存储介质,在同一基板的液处理中变更蚀刻选择比。该基板液处理装置在设置于液处理部(39)的处理槽(34)内贮存磷酸水溶液,将基板浸于处理槽所贮存的磷酸水溶液中,由此对该基板进行处理。在基板浸于处理槽内的磷酸水溶液中的第一期间,利用磷酸水溶液排出部(43)以第一排出流量从液处理部(39)排出磷酸水溶液,并且利用磷酸水溶液供给部(40)向液处理部供给磷酸水溶液。在另外的第二期间,利用磷酸水溶液排出部以与第一排出流量不同的第二排出流量从液处理部排出磷酸水溶液,并且利用磷酸水溶液供给部向液处理部供给磷酸水溶液。

    一种数字阀流量的分段控制算法

    公开(公告)号:CN106708104A

    公开(公告)日:2017-05-24

    申请号:CN201611030323.0

    申请日:2016-11-22

    CPC classification number: G05D7/0623 G01M9/02

    Abstract: 本发明公开一种数字阀流量的分段控制算法,所述的数字阀由十六个不同口径的文氏管和电磁阀组成,所述文氏管的喉道面积按照二进制递增进行排列,将二进制排列的阀位分为两段进行控制,一号阀位至八号阀位为低段,九号阀位至十六号阀位为高段;当控制反馈流量接近目标值时高段阀位采用预期开启状态,低段阀位继续采用PID算法解算开启状态进行控制。该技术在风洞试验的数字阀流量控制中首次使用,解决了长期困扰的某些流量目标点控制振荡的难题;采用数字阀流量的分段控制算法,保证了流量的稳定精确控制,对试验模型的安全性、试验效率以及试验数据的精准度都有很大的贡献。

Patent Agency Ranking