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公开(公告)号：CN101032068B
公开(公告)日：2010-12-22
申请号：CN200580032810.4
申请日：2005-09-30
申请人： 株式会社尼康
CPC分类号： G03F7/70758 , G03F7/70858 , H02K3/47 , H02K9/19 , H02K9/22 , H02K16/00 , H02K41/031 , H02K2201/18
摘要： 本发明提供一种热回收效率高且可以抑制表面温度上升的线性电机。线性电机具备线圈组件(141)，该线圈组件(141)配置成在包围构件(142)内面向温度调整用液体的流路(142a)，且至少一部分与所述液体接触。线圈组件(141)具备：线圈体(144)、覆盖并将线圈体(144)保持为规定形状的成形层(143)、具有对所述液体的防液性并覆盖成形层(143)的防液层(150)。
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公开(公告)号：CN104364881A
公开(公告)日：2015-02-18
申请号：CN201380031270.2
申请日：2013-03-15
申请人： 株式会社尼康
发明人： 森本树
IPC分类号： H01L21/027 , H01L21/677
CPC分类号： G03F7/70758 , G03F7/70341
摘要： 载台装置包括载台(WST、MST)和平面马达，所述载台能够在载台底座上沿XY平面移动，所述平面马达具有设置在各个载台(WST、MST)上的第一和第二磁铁单元(51A、51B)、以及包括二维排列在载台底座上的多个线圈的线圈单元(60)，并且所述平面马达通过由于与磁铁单元(51A、51B)之间的电磁相互作用而产生的驱动力来驱动载台(WST、MST)。按照以下方式来确定磁铁的布局：在载台(WST、MST)在载台底座上在Y轴方向上相互接近至预定距离以内或者接触的状态下，构成磁铁单元(51A)的磁铁和构成磁铁单元(51B)的磁铁不同时与构成线圈单元的同一个线圈(38)相对。
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公开(公告)号：CN105659339A
公开(公告)日：2016-06-08
申请号：CN201480049039.0
申请日：2014-09-04
IPC分类号： H01F7/06 , H01L21/027 , H02K41/02
CPC分类号： H01F7/08 , H01F5/00 , H01F7/06 , H01F27/16 , H02K3/24 , H02K9/19 , H02K9/22 , H02K41/02 , H02K2201/18
摘要： 第一电磁线圈(30)的冷却结构，包括：第一电磁线圈(30)，在内部形成有沿预定轴线(Z)方向延伸的空间(32)；冷却部件(20)，安装第一电磁线圈(30)的预定轴线(Z)方向的端面(30e)上并在内部形成流体的流路；以及入口配管(22)和出口配管(27)，在空间(52)的内部分别与冷却部件(20)的流路的入口(21)和出口(26)连接，并通过空间(32)延伸到电磁线圈(30)的外部。
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公开(公告)号：CN101032068A
公开(公告)日：2007-09-05
申请号：CN200580032810.4
申请日：2005-09-30
申请人： 株式会社尼康
CPC分类号： G03F7/70758 , G03F7/70858 , H02K3/47 , H02K9/19 , H02K9/22 , H02K16/00 , H02K41/031 , H02K2201/18
摘要： 本发明提供一种热回收效率高且可以抑制表面温度上升的线性电机。线性电机具备线圈组件(141)，该线圈组件(141)配置成在包围构件(142)内面向温度调整用液体的流路(142a)，且至少一部分与所述液体接触。线圈组件(141)具备：线圈体(144)、覆盖并将线圈体(144)保持为规定形状的成形层(143)、具有对所述液体的防液性并覆盖成形层(143)的防液层(150)。
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公开(公告)号：CN105684108A
公开(公告)日：2016-06-15
申请号：CN201480059115.6
申请日：2014-09-04
CPC分类号： H01F5/06 , G03F7/70758 , H01F5/00 , H01F7/08 , H01F27/2847 , H01F2027/2857 , H02K3/04 , H02K3/47 , H02K41/031
摘要： 一种构成X轴线性马达的固定件并通过通电来产生磁场的电枢线圈(60)具有：带状的导电层(62a)，由铜形成，卷绕于规定的绕线轴；带状的绝缘层(62b)，设于导电层(62a)的相对的面部之间，使相对的导电层(62a)彼此间电气绝缘；粘接层(62c)，将导电层(62a)的相对的面之间隔着绝缘层(62b)粘接起来。
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