公开(公告)号：CN113646864B

公开(公告)日：2024-05-28

申请号：CN201980094952.5

申请日：2019-04-18

申请人： 株式会社日立高新技术

发明人： 糟谷圭吾 ,  池上明 ,  本田和广 ,  福田真大 ,  土肥隆 ,  片桐创一 ,  武居亚纪 ,  松永宗一郎

IPC分类号： H01J37/06 ,  H01J37/073

摘要： 使得从带电粒子线装置的电子枪稳定地放出大电流的电子线。具备电子枪，其具有：SE尖端(202)、配置在比SE尖端的前端更靠后方的抑制器(303)；和由底面和筒部构成的杯子形状的引出电极(204)，在引出电极中内含SE尖端和抑制器，在抑制器与引出电极之间具有保持它们的绝缘子(208)，在抑制器与引出电极的圆筒部之间设置具有圆筒部(302)的导电性金属的遮蔽电极(301)，对该遮蔽电极施加比SE尖端低的电压。

公开(公告)号：CN113646864A

公开(公告)日：2021-11-12

申请号：CN201980094952.5

申请日：2019-04-18

申请人： 株式会社日立高新技术

发明人： 糟谷圭吾 ,  池上明 ,  本田和广 ,  福田真大 ,  土肥隆 ,  片桐创一 ,  武居亚纪 ,  松永宗一郎

IPC分类号： H01J37/06 ,  H01J37/073

摘要： 使得从带电粒子线装置的电子枪稳定地放出大电流的电子线。具备电子枪，其具有：SE尖端(202)、配置在比SE尖端的前端更靠后方的抑制器(303)；和由底面和筒部构成的杯子形状的引出电极(204)，在引出电极中内含SE尖端和抑制器，在抑制器与引出电极之间具有保持它们的绝缘子(208)，在抑制器与引出电极的圆筒部之间设置具有圆筒部(302)的导电性金属的遮蔽电极(301)，对该遮蔽电极施加比SE尖端低的电压。