公开(公告)号：CN103765544B

公开(公告)日：2016-05-11

申请号：CN201280041417.1

申请日：2012-09-24

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 片桐创一 ,  大岛卓 ,  伊东祐博

IPC: H01J1/304 ,  H01J37/06 ,  H01J37/073

CPC classification number: H01J37/073 ,  H01J1/16 ,  H01J1/3044 ,  H01J9/025 ,  H01J9/04 ,  H01J37/06 ,  H01J2237/06316 ,  H01J2237/06341

Abstract: 为了延长场致发射型电子源的寿命，当增加扩散补偿源(1)即氧化锆的容积或重量时，存在容易对扩散补偿源(1)自身或钨针(2)带来损伤这样的课题。作为进一步的课题，还考虑为了避免上述课题而通过薄膜来形成扩散补偿源(1)的情况，但难以稳定得到超过8000小时的实用的寿命。本发明提供一种不会产生扩散补偿源(1)的缺损或破裂，且通过少量的扩散补偿源(1)的增量就能够延长寿命的场致发射型电子源，清楚可知能够稳定得到超过8000小时的实用的寿命。

公开(公告)号：CN113646864A

公开(公告)日：2021-11-12

申请号：CN201980094952.5

申请日：2019-04-18

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 糟谷圭吾 ,  池上明 ,  本田和广 ,  福田真大 ,  土肥隆 ,  片桐创一 ,  武居亚纪 ,  松永宗一郎

IPC: H01J37/06 ,  H01J37/073

Abstract: 使得从带电粒子线装置的电子枪稳定地放出大电流的电子线。具备电子枪，其具有：SE尖端(202)、配置在比SE尖端的前端更靠后方的抑制器(303)；和由底面和筒部构成的杯子形状的引出电极(204)，在引出电极中内含SE尖端和抑制器，在抑制器与引出电极之间具有保持它们的绝缘子(208)，在抑制器与引出电极的圆筒部之间设置具有圆筒部(302)的导电性金属的遮蔽电极(301)，对该遮蔽电极施加比SE尖端低的电压。

公开(公告)号：CN112673449A

公开(公告)日：2021-04-16

申请号：CN201880097383.5

申请日：2018-09-25

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 松永宗一郎 ,  片桐创一 ,  糟谷圭吾 ,  武居亚纪 ,  川野源 ,  土肥隆

IPC: H01J37/06

Abstract: 本发明使从热场发射电子源发射的电子束的量稳定化。因此，对热场发射电子源设置减少因加热第一电极而释放的气体量的构造，该热场发射电子源具有针状的电子源(301)、固定电子源并加热电子源的金属线(302)、固定于绝缘子并对金属线进行通电的心柱(303)、具有第一开口部304a并且电子源的前端从第一开口部突出地配置的第一电极(304)、具有第二开口部(306a)的第二电极(306)、以及以第一开口部的中心轴与第二开口部的中心轴一致的方式对第一电极和第二电极进行定位，获得第一电极与第二电极的电绝缘的绝缘体(307)。

公开(公告)号：CN112673449B

公开(公告)日：2024-08-23

申请号：CN201880097383.5

申请日：2018-09-25

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 松永宗一郎 ,  片桐创一 ,  糟谷圭吾 ,  武居亚纪 ,  川野源 ,  土肥隆

IPC: H01J37/06

Abstract: 本发明使从热场发射电子源发射的电子束的量稳定化。因此，对热场发射电子源设置减少因加热第一电极而释放的气体量的构造，该热场发射电子源具有针状的电子源(301)、固定电子源并加热电子源的金属线(302)、固定于绝缘子并对金属线进行通电的心柱(303)、具有第一开口部304a并且电子源的前端从第一开口部突出地配置的第一电极(304)、具有第二开口部(306a)的第二电极(306)、以及以第一开口部的中心轴与第二开口部的中心轴一致的方式对第一电极和第二电极进行定位，获得第一电极与第二电极的电绝缘的绝缘体(307)。

公开(公告)号：CN113646864B

公开(公告)日：2024-05-28

申请号：CN201980094952.5

申请日：2019-04-18

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 糟谷圭吾 ,  池上明 ,  本田和广 ,  福田真大 ,  土肥隆 ,  片桐创一 ,  武居亚纪 ,  松永宗一郎

IPC: H01J37/06 ,  H01J37/073

Abstract: 使得从带电粒子线装置的电子枪稳定地放出大电流的电子线。具备电子枪，其具有：SE尖端(202)、配置在比SE尖端的前端更靠后方的抑制器(303)；和由底面和筒部构成的杯子形状的引出电极(204)，在引出电极中内含SE尖端和抑制器，在抑制器与引出电极之间具有保持它们的绝缘子(208)，在抑制器与引出电极的圆筒部之间设置具有圆筒部(302)的导电性金属的遮蔽电极(301)，对该遮蔽电极施加比SE尖端低的电压。

公开(公告)号：CN103765544A

公开(公告)日：2014-04-30

申请号：CN201280041417.1

申请日：2012-09-24

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 片桐创一 ,  大岛卓 ,  伊东祐博

IPC: H01J1/304 ,  H01J37/06 ,  H01J37/073

CPC classification number: H01J37/073 ,  H01J1/16 ,  H01J1/3044 ,  H01J9/025 ,  H01J9/04 ,  H01J37/06 ,  H01J2237/06316 ,  H01J2237/06341

Abstract: 为了延长场致发射型电子源的寿命，当增加扩散补偿源(1)即氧化锆的容积或重量时，存在容易对扩散补偿源(1)自身或钨针(2)带来损伤这样的课题。作为进一步的课题，还考虑为了避免上述课题而通过薄膜来形成扩散补偿源(1)的情况，但难以稳定得到超过8000小时的实用的寿命。本发明提供一种不会产生扩散补偿源(1)的缺损或破裂，且通过少量的扩散补偿源(1)的增量就能够延长寿命的场致发射型电子源，清楚可知能够稳定得到超过8000小时的实用的寿命。