公开(公告)号：CN113646864B

公开(公告)日：2024-05-28

申请号：CN201980094952.5

申请日：2019-04-18

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 糟谷圭吾 ,  池上明 ,  本田和广 ,  福田真大 ,  土肥隆 ,  片桐创一 ,  武居亚纪 ,  松永宗一郎

IPC: H01J37/06 ,  H01J37/073

Abstract: 使得从带电粒子线装置的电子枪稳定地放出大电流的电子线。具备电子枪，其具有：SE尖端(202)、配置在比SE尖端的前端更靠后方的抑制器(303)；和由底面和筒部构成的杯子形状的引出电极(204)，在引出电极中内含SE尖端和抑制器，在抑制器与引出电极之间具有保持它们的绝缘子(208)，在抑制器与引出电极的圆筒部之间设置具有圆筒部(302)的导电性金属的遮蔽电极(301)，对该遮蔽电极施加比SE尖端低的电压。

公开(公告)号：CN113646864A

公开(公告)日：2021-11-12

申请号：CN201980094952.5

申请日：2019-04-18

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 糟谷圭吾 ,  池上明 ,  本田和广 ,  福田真大 ,  土肥隆 ,  片桐创一 ,  武居亚纪 ,  松永宗一郎

IPC: H01J37/06 ,  H01J37/073

Abstract: 使得从带电粒子线装置的电子枪稳定地放出大电流的电子线。具备电子枪，其具有：SE尖端(202)、配置在比SE尖端的前端更靠后方的抑制器(303)；和由底面和筒部构成的杯子形状的引出电极(204)，在引出电极中内含SE尖端和抑制器，在抑制器与引出电极之间具有保持它们的绝缘子(208)，在抑制器与引出电极的圆筒部之间设置具有圆筒部(302)的导电性金属的遮蔽电极(301)，对该遮蔽电极施加比SE尖端低的电压。

公开(公告)号：CN115428114A

公开(公告)日：2022-12-02

申请号：CN202080099514.0

申请日：2020-04-23

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 福田真大 ,  糟谷圭吾 ,  荒井纪明

IPC: H01J3/02 ,  H01J1/46

Abstract: 本发明提供能够抑制引出电极中的不均匀的温度分布的电子枪(901)以及测长SEM(900)。电子枪(901)具备：带电粒子源(1)；引出电极(3)，其从带电粒子源(1)引出带电粒子，并且使带电粒子的一部分通过，遮蔽带电粒子的另一部分；以及辅助结构(5)，其与引出电极(3)接触。测长SEM(900)具备上述的电子枪(901)和控制电子枪(901)的计算机系统(920)。

公开(公告)号：CN119404276A

公开(公告)日：2025-02-07

申请号：CN202280097390.1

申请日：2022-07-20

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 城光寺佑树 ,  福田真大 ,  福本政幸

IPC: H01J37/06

Abstract: 本公开的目的在于使带电粒子源的探针电流长时间稳定。在本公开的带电粒子源中，发射器前端部具有：第一平坦面，其相对于光轴垂直；多个第二平坦面，其相对于所述光轴平行；以及多个第三平坦面，其配置于所述第一平坦面与所述第二平坦面之间。所述多个第二平坦面中的存在于隔着所述光轴相互对置的位置的所述第二平坦面间的第一距离比所述前端部与所述针部之间的边界部的外径大。

公开(公告)号：CN119137705A

公开(公告)日：2024-12-13

申请号：CN202280095706.3

申请日：2022-06-20

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 楠敏明 ,  桥诘富博 ,  荒井纪明 ,  福田真大

IPC: H01J37/073 ,  H01J9/02 ,  H01J1/304

Abstract: 提高将六硼化物单晶、过渡金属碳化物单晶的(100)面用作电子发射面的场致发射电子源的放射角电流密度相对于总电流的比率，提高电流稳定性。在构成电子源的 轴的六硼化物单晶或过渡金属碳化物单晶的针尖的前端形成由侧部小面包围的第一(100)面的顶部小面，并且在该第一(100)面的顶部小面的面内形成具有第二(100)面的顶部小面的微小晶体，主要从该第二(100)面的顶部小面发射电子，该侧部小面由n＝1、2、3的整数的至少4面的{n11}面和至少4面的{n10}面构成，且{n11}面的侧部小面的合计面积＞{n10}的侧部小面的合计面积。