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公开(公告)号：CN107430972B
公开(公告)日：2019-07-16
申请号：CN201580078052.3
申请日：2015-04-15
申请人： 株式会社日立高新技术
CPC分类号： H01J37/18 , H01J37/16 , H01J37/28 , H01J2237/18 , H01J2237/1825 , H01J2237/186 , H01J2237/188
摘要： 本发明的带电粒子束装置在将试样室(18)设为高真空状态时，从涡轮分子泵的主吸气口(11)对带电粒子枪室(1)和所述试样室进行真空排气，在将所述试样室设为低真空状态时，通过主吸气口对所述带电粒子枪室进行真空排气，并且，通过涡轮分子泵的中间吸气口(13)对所述试样室进行真空排气。进行所述涡轮分子泵的背压排气的油回转泵(7)不对所述带电粒子枪室、所述试样室进行真空排气。由此，无论是高真空状态时以及低真空状态时均能够抑制装置内部的污染，因此可以防止观察试样的污染，并可以降低到达真空度的经年劣化。
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公开(公告)号：CN107430972A
公开(公告)日：2017-12-01
申请号：CN201580078052.3
申请日：2015-04-15
申请人： 株式会社日立高新技术
CPC分类号： H01J37/18 , H01J37/16 , H01J37/28 , H01J2237/18 , H01J2237/1825 , H01J2237/186 , H01J2237/188
摘要： 本发明的带电粒子束装置在将试样室(18)设为高真空状态时，从涡轮分子泵的主吸气口(11)对带电粒子枪室(1)和所述试样室进行真空排气，在将所述试样室设为低真空状态时，通过主吸气口对所述带电粒子枪室进行真空排气，并且，通过涡轮分子泵的中间吸气口(13)对所述试样室进行真空排气。进行所述涡轮分子泵的背压排气的油回转泵(7)不对所述带电粒子枪室、所述试样室进行真空排气。由此，无论是高真空状态时以及低真空状态时均能够抑制装置内部的污染，因此可以防止观察试样的污染，并可以降低到达真空度的经年劣化。
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公开(公告)号：CN103999186B
公开(公告)日：2016-05-11
申请号：CN201280057813.3
申请日：2012-11-12
申请人： 株式会社日立高新技术 , 东陶机器株式会社
IPC分类号： H01J37/252 , H01J37/244 , H01J37/28 , H01J37/29
CPC分类号： H01J37/244 , H01J37/023 , H01J37/252 , H01J37/261 , H01J37/28 , H01J2237/221 , H01J2237/24415 , H01J2237/24475
摘要： 为了提供能在进行X射线元素分析的预备阶段评价、判别适于X射线分析的样本上的位置、分析者能无返工、短时间地进行确保了高可靠性的分析的带电粒子线装置，在具备X射线检测器的带电粒子线装置中，在与X射线检测器(12(25～30))的X射线检测面同轴上，与X射线检测器(12)一体或独立地配置第1反射电子检测器(15)，同时或个别地由X射线检测器(12)检测X射线信号，由第1反射电子检测器(15)检测反射电子信号。
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公开(公告)号：CN103999186A
公开(公告)日：2014-08-20
申请号：CN201280057813.3
申请日：2012-11-12
申请人： 株式会社日立高新技术 , 东陶机器株式会社
IPC分类号： H01J37/252 , H01J37/244 , H01J37/28 , H01J37/29
CPC分类号： H01J37/244 , H01J37/023 , H01J37/252 , H01J37/261 , H01J37/28 , H01J2237/221 , H01J2237/24415 , H01J2237/24475
摘要： 为了提供能在进行X射线元素分析的预备阶段评价、判别适于X射线分析的样本上的位置、分析者能无返工、短时间地进行确保了高可靠性的分析的带电粒子线装置，在具备X射线检测器的带电粒子线装置中，在与X射线检测器(12(25～30))的X射线检测面同轴上，与X射线检测器(12)一体或独立地配置第1反射电子检测器(15)，同时或个别地由X射线检测器(12)检测X射线信号，由第1反射电子检测器(15)检测反射电子信号。
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