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公开(公告)号：CN111721195A
公开(公告)日：2020-09-29
申请号：CN201911281490.6
申请日：2019-12-13
Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学
Abstract: 本发明提供三维形状计测方法和三维形状计测装置。在对测定对象物照射测定介质而根据干涉信号计测三维形状的三维形状计测方法中，包括更换了物镜的情况在内，简便且准确地进行干涉信号的摄像元件的焦点位置和干涉条纹的出现位置的调整。对摄像元件的位置进行调整，使得出现有所使用的物镜的干涉条纹的z轴上的位置与摄像元件的焦点位置的相对位置之差处于规定的范围。
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公开(公告)号：CN104121177A
公开(公告)日：2014-10-29
申请号：CN201410168669.1
申请日：2014-04-24
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: F04B49/065 , F04B23/06 , F04B41/06 , F04B49/03 , G01N30/28 , G01N30/32 , G01N30/36 , G01N2030/326 , Y10T137/86019
Abstract: 本发明提供一种高压恒流泵和高压恒流送液方法。实现了在高压梯度时混合溶剂时，即使在混合比率的差大的情况下，也能够可靠地进行来自低压侧送液系统的溶剂的送液的高压恒流泵。互相比较来自第2压力传感器114的压力检测值与来自第4压力传感器的115的压力检测值，在第2压力传感器114的压力检测值PA1为第4压力传感器115的压力检测值PA2以上时，第2单向阀117为打开状态，并结束。在压力检测值PA1不到压力检测值PA2时，进行漏泄判别，并在判别为未引起漏泄时进行溶剂的判别。追加存储器中预先存储的对每一种溶剂所决定的第1柱塞103的压缩距离，并进行驱动。
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公开(公告)号：CN113759149A
公开(公告)日：2021-12-07
申请号：CN202110527321.7
申请日：2021-05-14
Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学
Abstract: 提供显微镜系统、试样的观察方法、试样的膜厚的校正方法、试样的复折射率的计算方法。抑制悬臂与试样发生碰撞那样的麻烦。显微镜系统(100)具有：探针单元(40)，其具有悬臂(43)：照相机(15)；照相机位置微调机构(17)，其为了调整照相机相对于试样(S)的位置，对该照相机进行驱动；以及计算机(30)，其控制照相机位置微调机构而使照相机移动，使得照相机(15)的焦点对准于悬臂(43)的背面或试样的表面。计算机根据使照相机的位置从使照相机(15)的焦点对准于悬臂(43)的背面的位置起移动到使照相机(15)的位置对准于试样(S)的表面的位置时的照相机(15)的移动距离(Δz’)来计算从悬臂(43)到试样(S)的表面的距离(Δz)。
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公开(公告)号：CN110411368A
公开(公告)日：2019-11-05
申请号：CN201910337335.5
申请日：2019-04-25
Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明提供干涉信号的相位校正方法。在计测伴有周期函数的物理现象时，对不可避免地产生的相位偏移进行校正。在干涉信号的相位校正方法中，从光源对测定对象物照射测定介质，取得呈现周期函数的干涉信号，针对干涉信号在多个采样点进行采样，求出各采样点的相位偏移，根据该相位偏移进行干涉信号的相位校正。
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公开(公告)号：CN105209852B
公开(公告)日：2018-12-14
申请号：CN201480027013.6
申请日：2014-03-10
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明提供一种能够非破坏、非接触、高精度、宽倾斜角动态范围地测量任意的被检查物体的表面形状的技术。在使用了双光束干涉仪的白光干涉法中，构成为使参照平面的表面方向相对于其入射光轴变化，一边通过使上述参照平面的表面方向相对于被检查面上的任意位置的局部表面方向相对地变化，一边获取多个由来自上述被检查面的反射光和来自上述参照平面的反射光的干涉而生成的干涉条纹，并根据这些干涉条纹求出上述被检查面上的局部表面方向，由此来测量上述被检查面的表面形状。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105209852A
公开(公告)日：2015-12-30
申请号：CN201480027013.6
申请日：2014-03-10
Applicant: 株式会社日立高新技术
IPC: G01B11/24
CPC classification number: G01B11/2441 , G01B9/02068 , G01B9/02087 , G01B9/0209 , G01B9/04 , G01B11/0608 , G01B11/26
Abstract: 本发明提供一种能够非破坏、非接触、高精度、宽倾斜角动态范围地测量任意的被检查物体的表面形状的技术。在使用了双光束干涉仪的白光干涉法中，构成为使参照平面的表面方向相对于其入射光轴变化，一边通过使上述参照平面的表面方向相对于被检查面上的任意位置的局部表面方向相对地变化，一边获取多个由来自上述被检查面的反射光和来自上述参照平面的反射光的干涉而生成的干涉条纹，并根据这些干涉条纹求出上述被检查面上的局部表面方向，由此来测量上述被检查面的表面形状。
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公开(公告)号：CN111721195B
公开(公告)日：2024-10-15
申请号：CN201911281490.6
申请日：2019-12-13
Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学
Abstract: 本发明提供三维形状计测方法和三维形状计测装置。在对测定对象物照射测定介质而根据干涉信号计测三维形状的三维形状计测方法中，包括更换了物镜的情况在内，简便且准确地进行干涉信号的摄像元件的焦点位置和干涉条纹的出现位置的调整。对摄像元件的位置进行调整，使得出现有所使用的物镜的干涉条纹的z轴上的位置与摄像元件的焦点位置的相对位置之差处于规定的范围。
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公开(公告)号：CN114486729A
公开(公告)日：2022-05-13
申请号：CN202110687515.3
申请日：2021-06-21
Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学
Abstract: 本发明提供一种探针显微镜以及探针显微镜的光轴调整方法。能够缩短光轴调整时间。探针显微镜(1)具有悬臂(3)、第一激光器(11)、照相机(25)、无限远光学系统(PL)、第一转动部(31)以及控制部(35)。无限远光学系统(PL)形成于悬臂(3)与照相机(25)之间，供第一激光(D1)入射。第一转动部(31)使第一激光器(11)转动，使第一激光(D1)相对于无限远光学系统(PL)的第一入射角变化。控制部(35)根据在无限远光学系统(PL)中由所述第一激光(D1)产生的第一幻影光的第一幻影光像的位置，在照相机(25)拍摄的图像中取得第一激光(D1)的第一激光像的位置。控制部(35)驱动移动机构(30)和第一转动部(31)中的至少一方使得第一激光像的位置接近悬臂(3)的规定位置。
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公开(公告)号：CN108692676A
公开(公告)日：2018-10-23
申请号：CN201810213170.6
申请日：2018-03-15
Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学
IPC: G01B11/24
CPC classification number: G01B11/2441
Abstract: 本发明提供三维形状计测方法，其使用了扫描型白色干涉显微镜。在使用了扫描型白色干涉显微镜的三维形状计测中，通过使用负的干涉信号确保干涉信号的光量，从而对计测对象物能够进行适当的计测。该三维形状计测方法使用传感器获取与对计测对象物照射的来自光源的照射光对应的干涉信号，获取干涉信号中的信号强度比相当于信号强度的补偿值的基线小的负的干涉信号，根据负的干涉信号的信号强度设定用于计测计测对象物的高度信息的照射光的光量即计测光量。
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公开(公告)号：CN104335082A
公开(公告)日：2015-02-04
申请号：CN201380029764.7
申请日：2013-06-03
Applicant: 株式会社日立高新技术
CPC classification number: G02B5/1847 , B29C59/02 , B32B37/12 , B32B37/24 , B32B38/0012 , B32B2551/00 , G02B5/18 , G02B5/1814 , G02B5/1852 , Y10T156/1028
Abstract: 本发明提供高精度地制成具有所希望的曲率的曲面衍射光栅。一种曲面衍射光栅的制造方法，具有：在平板状的硅基板(2)上形成衍射光栅图案(20)的步骤；在加热的状态下向形成有上述衍射光栅图案的硅基板(2)按压具有所希望的曲面形状的固定基板(3)而使上述硅基板曲面化，并且在具有上述曲面形状的固定基板(3)上固定具有上述衍射图案的硅基板(2)来制作曲面衍射光栅的模具(1)的步骤；以及使具有柔软性的部件与上述曲面衍射光栅的模具接触来在该部件上转印衍射光栅图案的步骤。
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