台架装置
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101326626A

    公开(公告)日:2008-12-17

    申请号:CN200780000636.4

    申请日:2007-02-23

    CPC classification number: H01L21/682 G03F7/70716 G03F7/70791 G03F7/70975

    Abstract: 本发明的台架装置能分割地进行陆路运输,同时确保对被处理基板进行准确处理。台架装置备有支承被处理基板(W)的基板支承面、夹着基板支承面相向配置的一对导架(13X)、在一对导架(13X)之间延伸并可移动地支承在一对导架(13X)上的门形架(13Y)、和设置在门形架(13Y)上的基板处理单元(14);导架(13X)由主架部(15A)和副架部(15B)的结合体构成;主架部(15A)形成基板处理单元(14)进行基板处理所需的门形架(13Y)的移动路径(作业区域(R1)),副架部(15B)与主架部(15A)的长度方向一端部或两端部连接,形成门形架(13Y)的到达非作业位置(非作业区域(R2))的移动路径。

    台架装置
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101326625A

    公开(公告)日:2008-12-17

    申请号:CN200780000632.6

    申请日:2007-02-23

    CPC classification number: H01L21/682 G03F7/70716 G03F7/70975

    Abstract: 本发明的台架装置能分割而进行陆路运输、同时确保对被处理基板进行准确处理。台架装置(11)备有夹着设有被处理基板的基板支承面地相向配置的一对导架(13X1、13X2)、和可移动地支承在该对导架(13X1、13X2)上面的门形架(13Y)。该台架装置(11)由含有一方导架(13X1)的第1构造体(V1)、含有另一方导架(13X2)的第2构造体(V2)、和含有门形架(13Y)的第3构造体(V3)的结合体构成。这样,即使是大型的台架装置,也能自由分离成各构造体(V1~V3),从而能进行陆路运输。另外,由于在门形架(13Y)的移动路径上没有接缝,故不损害门形架(13Y)的移送精度,可确保准确的基板处理。

    隔件形成方法与隔件形成装置

    公开(公告)号:CN1914551A

    公开(公告)日:2007-02-14

    申请号:CN200580003470.2

    申请日:2005-10-18

    Abstract: 本发明涉及用于将液晶屏所用一对基板间的液晶封入间隙保持恒定的隔件的形成方法。在此方法中,将分散有粒状隔件的墨水(7)经喷墨法滴下到一对基板中的一块基板上的多个隔件形成位置(包围各像素R.G.B的格子状黑色矩阵5的交叉部)上,此时于每个隔件形成位置处滴下多滴墨水(7)。据此方法,能将隔件收纳于不影响像素的范围内且能可靠地形成必要个数的隔件。结果能稳定地保持液晶层厚度,还能抑制隔件本身对显示图像质量的影响,有助于改进液晶屏的质量。

    机台装置
    7.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101790783A

    公开(公告)日:2010-07-28

    申请号:CN200880105526.9

    申请日:2008-08-27

    CPC classification number: B65G7/04

    Abstract: 提供一种在正式设置场所的对位容易的机台装置。使配置有副底座板(21)的架台(25)承载于台车(22)上而构成副载置台(20a~20d),利用台车(22)使副底座板(21)移动,并将架台(25)固定在具有主底座板(11)的主载置台(10)。由设置于副载置台(20a~20d)的调整机构(30)对主底座板(11)和副底座板(21)进行对位。由于在主载置台(10)和副载置台(20a~20d)设置有主定位部件(16)和副定位部件(241、242),因而能够以复原对位状态的方式进行分离。所以,在搬送之后,在组装时容易进行对位。

    台架装置
    8.
    发明授权

    公开(公告)号:CN101326625B

    公开(公告)日:2010-04-21

    申请号:CN200780000632.6

    申请日:2007-02-23

    CPC classification number: H01L21/682 G03F7/70716 G03F7/70975

    Abstract: 本发明的台架装置能分割而进行陆路运输、同时确保对被处理基板进行准确处理。台架装置(11)备有夹着设有被处理基板的基板支承面地相向配置的一对导架(13X1、13X2)、和可移动地支承在该对导架(13X1、13X2)上面的门形架(13Y)。该台架装置(11)由含有一方导架(13X1)的第1构造体(V1)、含有另一方导架(13X2)的第2构造体(V2)、和含有门形架(13Y)的第3构造体(V3)的结合体构成。这样,即使是大型的台架装置,也能自由分离成各构造体(V1~V3),从而能进行陆路运输。另外,由于在门形架(13Y)的移动路径上没有接缝,故不损害门形架(13Y)的移送精度,可确保准确的基板处理。

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