公开(公告)号：CN101815659A

公开(公告)日：2010-08-25

申请号：CN200880109962.3

申请日：2008-11-11

Applicant: 株式会社爱发科

Inventor： 井上祐也 ,  田中寿人 ,  谷藤保

IPC: B65G49/06 ,  B23Q1/01 ,  B23Q1/58 ,  H01L21/027 ,  H01L21/68

CPC classification number: H01L21/67748 ,  B65G49/061 ,  B65G2249/04 ,  B65G2249/045 ,  H01L21/67103 ,  H01L21/68757 ,  Y10T483/10

Abstract: 一种可动元件，载置并移动被处理基板，其特征在于，包括：由金属材料制成的主板；和配置在所述主板上，并由硬度高于所述金属材料的材料制成的多个副板，所述多个副板的上表面为所述被处理基板的载置面。

公开(公告)号：CN101815659B

公开(公告)日：2012-09-26

申请号：CN200880109962.3

申请日：2008-11-11

Applicant: 株式会社爱发科

Inventor： 井上祐也 ,  田中寿人 ,  谷藤保

IPC: B65G49/06 ,  B23Q1/01 ,  B23Q1/58 ,  H01L21/027 ,  H01L21/68

CPC classification number: H01L21/67748 ,  B65G49/061 ,  B65G2249/04 ,  B65G2249/045 ,  H01L21/67103 ,  H01L21/68757 ,  Y10T483/10

Abstract: 一种可动元件，载置并移动被处理基板，其特征在于，包括：由金属材料制成的主板；和配置在所述主板上，并由硬度高于所述金属材料的材料制成的多个副板，所述多个副板的上表面为所述被处理基板的载置面。

公开(公告)号：CN102037552A

公开(公告)日：2011-04-27

申请号：CN200980117984.9

申请日：2009-05-13

Applicant: 株式会社爱发科

Inventor： 井上祐也 ,  谷藤保 ,  田中寿人 ,  高桥诚 ,  关根邦好

IPC: H01L21/68 ,  B05C13/02 ,  B65G49/06

CPC classification number: B25B1/00 ,  B65G49/061 ,  B65G2249/02

Abstract: 提供一种能够高速运送基板的基板平台。在本发明的基板平台(10)中，将辅助载置台(12a～12d)安装在主载置台(11)上，将下部导轨(131、132)从主载置台(11)上横跨到辅助载置台(12a～12d)上进行配置。若通过上下方向调整装置(6)预先使下部导轨(131、132)的两端向上弯曲，则在辅助载置台(12a～12d)的端部向下弯曲时，下部导轨(131、132)便变得笔直。由于下部导轨(131、132)未分割，因而直线性得到确保，移动板(16)不会发生摇摆，因而能够使基板(5)高速移动。

公开(公告)号：CN102037552B

公开(公告)日：2013-01-23

申请号：CN200980117984.9

申请日：2009-05-13

Applicant: 株式会社爱发科

Inventor： 井上祐也 ,  谷藤保 ,  田中寿人 ,  高桥诚 ,  关根邦好

IPC: H01L21/68 ,  B05C13/02 ,  B65G49/06

CPC classification number: B25B1/00 ,  B65G49/061 ,  B65G2249/02

Abstract: 提供一种能够高速运送基板的基板平台。在本发明的基板平台(10)中，将辅助载置台(12a～12d)安装在主载置台(11)上，将下部导轨(131、132)从主载置台(11)上横跨到辅助载置台(12a～12d)上进行配置。若通过上下方向调整装置(6)预先使下部导轨(131、132)的两端向上弯曲，则在辅助载置台(12a～12d)的端部向下弯曲时，下部导轨(131、132)便变得笔直。由于下部导轨(131、132)未分割，因而直线性得到确保，移动板(16)不会发生摇摆，因而能够使基板(5)高速移动。