公开(公告)号：CN1702024B

公开(公告)日：2011-08-17

申请号：CN200510073790.7

申请日：2005-05-24

Applicant: 株式会社爱发科

Inventor： 肉仓真人 ,  森胜彦 ,  中岛利夫 ,  新井进

IPC: B65G49/06 ,  C03B35/00 ,  H01L21/00

CPC classification number: Y02P40/57

Abstract: 本发明提供一种真空处理装置，是具备真空处理室(20)、(22)、(24)和基板搬运器(40)、和预备室(14)的立式真空处理装置(10)，其特征是，在预备室(14)内以及真空处理室(20)、(22)、(24)内设置往去路(16)和返回路(18)这两个搬送路径的同时，在真空处理室(24)内具备将基板搬运器从往去路(16)转移至返回路(18)的转移机构。

公开(公告)号：CN101916716A

公开(公告)日：2010-12-15

申请号：CN201010246804.1

申请日：2005-05-24

Applicant: 株式会社爱发科

Inventor： 肉仓真人 ,  森胜彦 ,  中岛利夫 ,  新井进

IPC: H01L21/00 ,  H01L21/677 ,  B65G49/06

Abstract: 本发明提供一种真空处理装置，是具备真空处理室(20、22、24)和基板搬运器(40)、和预备室(14)的立式真空处理装置(10)，其特征是，在预备室(14)内以及真空处理室(20、22、24)内设置往去路(16)和返回路(18)这两个搬送路径的同时，在真空处理室(24)内具备将基板搬运器从往去路(16)转移至返回路(18)的转移机构。

公开(公告)号：CN1702024A

公开(公告)日：2005-11-30

申请号：CN200510073790.7

申请日：2005-05-24

Applicant: 株式会社爱发科

Inventor： 肉仓真人 ,  森胜彦 ,  中岛利夫 ,  新井进

IPC: B65G49/06 ,  C03B35/00 ,  H01L21/00

CPC classification number: Y02P40/57

Abstract: 本发明提供一种真空处理装置，是具备真空处理室(20)、(22)、(24)和基板搬运器(40)、和预备室(14)的立式真空处理装置(10)，其特征是，在预备室(14)内以及真空处理室(20)、(22)、(24)内设置往去路(16)和返回路(18)这两个搬送路径的同时，在真空处理室(24)内具备将基板搬运器从往去路(16)转移至返回路(18)的转移机构。