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公开(公告)号：CN101501237B
公开(公告)日：2011-04-13
申请号：CN200780030016.5
申请日：2007-11-16
Applicant: 株式会社爱发科
CPC classification number: C23C14/564 , C23C14/562
Abstract: 高效保持清洁单元对罐辊的清洁机能，进行高质量的成膜处理。本发明中，在向基膜(12)进行成膜前，使清洁单元(30)与冷却用罐辊(14)接触，一边使罐辊(14)在非冷却状态下转动一边进行清洁，可以防止清洁单元(30)的过冷却，阻止已除去的灰尘的脱离，能够高效进行清洁单元(30)对罐辊(14)的除尘处理。另外，在完成清洁后，解除清洁单元(30)与罐辊(14)的接触状态，可防止成膜时的罐辊(14)的冷却操作对清洁单元(30)进行冷却，从罐辊(14)的周面除去的灰尘不会脱离而被保持着。
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公开(公告)号：CN101946022A
公开(公告)日：2011-01-12
申请号：CN200880126755.9
申请日：2008-04-14
Applicant: 株式会社爱发科
CPC classification number: C23C14/562 , C23C14/541
Abstract: 本发明提供一种卷绕式真空成膜装置，其技术既不需增大装置，还可防止因从去除电荷机构中泄漏出来的带电粒子而引起的基材的热变形。本发明中的卷绕式真空成膜(蒸镀)装置(10)包括电荷捕捉部件(25)，其设置在冷却用筒式辊(14)和去除电荷机构(23)之间，用以捕捉从去除电荷机构(23)朝向筒式辊(14)移动的带电粒子。有了上述电荷捕捉部件就可阻止从去除电荷机构(23)中泄漏出来的带电粒子到达筒式辊(14)，从而遏制供给筒式辊(14)的用来使之贴紧基材的偏压电势产生变动，可靠地保持了对基材(12)的静电引力。因此，该卷绕式真空成膜装置能可靠地保持基材(12)和筒式辊(14)之间的贴合力，从而可防止基材(12)产生热变形。
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公开(公告)号：CN101946022B
公开(公告)日：2012-10-24
申请号：CN200880126755.9
申请日：2008-04-14
Applicant: 株式会社爱发科
CPC classification number: C23C14/562 , C23C14/541
Abstract: 本发明提供一种卷绕式真空成膜装置，其技术既不需增大装置，还可防止因从去除电荷机构中泄漏出来的带电粒子而引起的基材的热变形。本发明中的卷绕式真空成膜(蒸镀)装置(10)包括电荷捕捉部件(25)，其设置在冷却用筒式辊(14)和去除电荷机构(23)之间，用以捕捉从去除电荷机构(23)朝向筒式辊(14)移动的带电粒子。有了上述电荷捕捉部件就可阻止从去除电荷机构(23)中泄漏出来的带电粒子到达筒式辊(14)，从而遏制供给筒式辊(14)的用来使之贴紧基材的偏压电势产生变动，可靠地保持了对基材(12)的静电引力。因此，该卷绕式真空成膜装置能可靠地保持基材(12)和筒式辊(14)之间的贴合力，从而可防止基材(12)产生热变形。
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公开(公告)号：CN101501237A
公开(公告)日：2009-08-05
申请号：CN200780030016.5
申请日：2007-11-16
Applicant: 株式会社爱发科
CPC classification number: C23C14/564 , C23C14/562
Abstract: 高效保持清洁单元对罐辊的清洁机能，进行高质量的成膜处理。本发明中，在向基膜(12)进行成膜前，使清洁单元(30)与冷却用罐辊(14)接触，一边使罐辊(14)在非冷却状态下转动一边进行清洁，可以防止清洁单元(30)的过冷却，阻止已除去的灰尘的脱离，能够高效进行清洁单元(30)对罐辊(14)的除尘处理。另外，在完成清洁后，解除清洁单元(30)与罐辊(14)的接触状态，可防止成膜时的罐辊(14)的冷却操作对清洁单元(30)进行冷却，从罐辊(14)的周面除去的灰尘不会脱离而被保持着。
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