公开(公告)号：CN101743623A

公开(公告)日：2010-06-16

申请号：CN200880024861.6

申请日：2008-07-15

申请人： 株式会社理光

发明人： 田野隆德 ,  小野寺敦 ,  铃木幸荣 ,  友野英纪

IPC分类号： H01L21/288 ,  H01L21/28 ,  H01L21/3205 ,  H01L21/336 ,  H01L29/786 ,  H01L51/05

CPC分类号： H01L51/0545 ,  H01L51/0022 ,  H01L51/052 ,  H01L51/055 ,  Y10T428/24612

摘要： 本发明公开了一种层状结构，该层状结构具有被较好地分开的含较高表面自由能的区域和含较低表面自由能的区域，具有在底层和导电层之间的高粘着性，并且能够容易以低成本形成。所述层状结构包括润湿性可变层以及形成在所述润湿性可变层的第二表面自由能区域上的导电层，其中所述润湿性可变层包括第一膜厚度的第一表面自由能区域以及第二膜厚度的第二表面自由能区域。所述第二膜厚度小于所述第一膜厚度，并且通过将预定量的能量施加在所述第二表面自由能区域上，所述第二表面自由能区域的表面自由能被弄成高于所述第一表面自由能区域的表面自由能。

公开(公告)号：CN103022003A

公开(公告)日：2013-04-03

申请号：CN201210504512.2

申请日：2012-09-17

申请人： 株式会社理光

发明人： 小野寺敦 ,  铃木幸荣 ,  三浦博 ,  田野隆德

IPC分类号： H01L23/522 ,  H01L27/12 ,  H01L21/768

CPC分类号： H05K3/1208 ,  H01L21/76814 ,  H01L21/76825 ,  H01L27/3262 ,  H01L51/0022 ,  H05K3/0035 ,  H05K3/125 ,  H05K3/4664

摘要： 本发明公开一种多层布线衬底，具有第一导电层；层间绝缘层；以及第二导电层，其中层间绝缘层包括表面能由接收能量而改变的材料，并具有不包括接触孔的第一区域和表面能被形成为高于该第一区域的第二区域，其中在第一导电层的接触孔内的区域具有高于层间绝缘层第二区域表面能的表面能，其中第二导电层是通过层叠形成，其中第二导电层与层间绝缘层的第二区域接触，沿着第二区域，并且通过接触孔与第一导电层连接。

公开(公告)号：CN103022003B

公开(公告)日：2015-06-10

申请号：CN201210504512.2

申请日：2012-09-17

申请人： 株式会社理光

发明人： 小野寺敦 ,  铃木幸荣 ,  三浦博 ,  田野隆德

IPC分类号： H01L23/522 ,  H01L27/12 ,  H01L21/768

CPC分类号： H05K3/1208 ,  H01L21/76814 ,  H01L21/76825 ,  H01L27/3262 ,  H01L51/0022 ,  H05K3/0035 ,  H05K3/125 ,  H05K3/4664

摘要： 本发明公开一种多层布线衬底，具有第一导电层；层间绝缘层；以及第二导电层，其中层间绝缘层包括表面能由接收能量而改变的材料，并具有不包括接触孔的第一区域和表面能被形成为高于该第一区域的第二区域，其中在第一导电层的接触孔内的区域具有高于层间绝缘层第二区域表面能的表面能，其中第二导电层是通过层叠形成，其中第二导电层与层间绝缘层的第二区域接触，沿着第二区域，并且通过接触孔与第一导电层连接。