公开(公告)号：CN110223934B

公开(公告)日：2021-10-08

申请号：CN201910129817.1

申请日：2019-02-21

申请人： 株式会社荏原制作所

发明人： 野野部宏司 ,  三谷隆 ,  小泉龙也 ,  大石邦夫

IPC分类号： H01L21/67 ,  H01L21/677

摘要： 本发明公开了调度器、衬底处理装置及衬底输送方法。其技术问题在于，减少用于衬底输送调度的计算量及计算时间。为此，提供一种调度器，其内置于衬底处理装置的控制部内，并计算衬底输送调度，衬底处理装置具备进行衬底的处理的多个衬底处理部、输送上述衬底的输送部、以及控制上述输送部和上述衬底处理部的上述控制部。该调度器具有：建模部，其使用图网络理论将衬底处理装置的处理条件、处理时间及制约条件建模为节点及边，创建图网络，计算到节点的最长路径长；和计算部，其基于最长路径长计算衬底输送调度。

公开(公告)号：CN108335997B

公开(公告)日：2023-05-09

申请号：CN201810040900.7

申请日：2018-01-16

申请人： 株式会社荏原制作所

发明人： 野野部宏司 ,  三谷隆 ,  小泉龙也 ,  大石邦夫

IPC分类号： H01L21/67 ,  H01L21/677

摘要： 一种调度器，内装于具备进行基板的处理的多个基板处理部、对所述基板进行搬运的搬运部、对所述搬运部与所述基板处理部进行控制的控制部的基板处理装置的所述控制部，并计算基板搬运行程表，该调度器具有：模型化部，该模型化部使用网络图理论而将基板处理装置的处理条件、处理时间以及制约条件模型化为点以及边，生成网络图并进行到各点的最长路径长度的计算；以及计算部，该计算部基于最长路径长度而计算所述基板搬运行程表。该调度器能够削减用于基板搬运行程表的计算量以及计算时间。

公开(公告)号：CN111325335A

公开(公告)日：2020-06-23

申请号：CN201911281745.9

申请日：2019-12-13

申请人： 株式会社荏原制作所

发明人： 大石邦夫 ,  下山正 ,  小泉龙也

IPC分类号： G06N3/08 ,  H01L21/67

摘要： 本发明提供预测可镀覆基板片数及构建其预测模型和构建预想引发异常的构成元件的选择模型的方法，能正确地预测基板保持器需要维修的时期。本方法使用基板保持器(18)镀覆多个基板，决定在基板保持器(18)引发异常前使用基板保持器(18)镀覆的基板的总片数，决定第1可处理片数以及第2可处理片数，制作由第1状况数据和第1可处理片数的组合构成的第1数据集，第1状况数据表示基板保持器(18)的构成元件的状态，制作由第2状况数据与第2可处理片数的组合构成的第2数据集，第2状况数据表示构成元件的状态，使用包含第1数据集和第2数据集在的训练数据，将由神经网络构成的预测模型的参数最佳化。

公开(公告)号：CN110223934A

公开(公告)日：2019-09-10

申请号：CN201910129817.1

申请日：2019-02-21

申请人： 株式会社荏原制作所

发明人： 野野部宏司 ,  三谷隆 ,  小泉龙也 ,  大石邦夫

IPC分类号： H01L21/67 ,  H01L21/677

摘要： 本发明公开了调度器、衬底处理装置及衬底输送方法。其技术问题在于，减少用于衬底输送调度的计算量及计算时间。为此，提供一种调度器，其内置于衬底处理装置的控制部内，并计算衬底输送调度，衬底处理装置具备进行衬底的处理的多个衬底处理部、输送上述衬底的输送部、以及控制上述输送部和上述衬底处理部的上述控制部。该调度器具有：建模部，其使用图网络理论将衬底处理装置的处理条件、处理时间及制约条件建模为节点及边，创建图网络，计算到节点的最长路径长；和计算部，其基于最长路径长计算衬底输送调度。

公开(公告)号：CN108335997A

公开(公告)日：2018-07-27

申请号：CN201810040900.7

申请日：2018-01-16

申请人： 株式会社荏原制作所

发明人： 野野部宏司 ,  三谷隆 ,  小泉龙也 ,  大石邦夫

IPC分类号： H01L21/67 ,  H01L21/677

CPC分类号： G05B19/4155 ,  G05B19/41865 ,  G05B2219/32252 ,  G05B2219/45031 ,  H01L21/6723 ,  H01L21/67253 ,  H01L21/67276 ,  H01L21/67745 ,  H01L21/67766 ,  H01L21/67778 ,  Y02P90/18 ,  Y02P90/20 ,  Y02P90/26 ,  Y02P90/28 ,  H01L21/67739

摘要： 一种调度器，内装于具备进行基板的处理的多个基板处理部、对所述基板进行搬运的搬运部、对所述搬运部与所述基板处理部进行控制的控制部的基板处理装置的所述控制部，并计算基板搬运行程表，该调度器具有：模型化部，该模型化部使用网络图理论而将基板处理装置的处理条件、处理时间以及制约条件模型化为点以及边，生成网络图并进行到各点的最长路径长度的计算；以及计算部，该计算部基于最长路径长度而计算所述基板搬运行程表。该调度器能够削减用于基板搬运行程表的计算量以及计算时间。