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公开(公告)号：CN104214101A
公开(公告)日：2014-12-17
申请号：CN201410234030.9
申请日：2014-05-29
申请人： 株式会社荏原制作所
CPC分类号： B01D53/74 , B01D53/005 , B01D2257/204 , B01D2257/2066 , B01D2257/553 , B01D2258/0216 , Y10T137/85978
摘要： 本发明提供带除害功能的真空泵，不需要为了将废气处理至容许浓度以下而进行除害部的定制(根据规格改变)，能够大幅缩短设计时间、验证时间，能够削减交货期，而且，与安全容许浓度相符地提供最低限度的规格，由此能够以最小限度的初始成本、使用成本来提供带除害功能的真空泵。在真空泵(1)的排气口附设有对从真空泵(1)排出的废气进行处理使之无害化的除害部(10)，在该真空泵(1)中，准备多个类型的、废气的处理形式以及/或者废气的处理量不同的除害部，并根据从真空泵(1)排出的废气的气体量以及气体种类而从多个类型的除害部(10)中选定1台或者多台除害部(10)，将所选定的除害部(10)与真空泵(1)的排气口连接。
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公开(公告)号：CN115143114A
公开(公告)日：2022-10-04
申请号：CN202210304826.1
申请日：2022-03-23
申请人： 株式会社荏原制作所
摘要： 提供一种真空泵装置，其能够防止由热传导造成的泵壳体的温度降低，将转子室的内部维持在高温度。配置在泵壳体(2)与电机壳(14)之间的侧罩(10A)具有形成转子室(1)的端面的内侧壁部(31)、与内侧壁部(31)相比位于外侧的外侧壁部(32)、和位于内侧壁部(31)与外侧壁部(32)之间的缩颈部(33)。内侧壁部(31)、外侧壁部(32)以及缩颈部(33)为一体成形物，缩颈部(33)具有比内侧壁部(31)以及外侧壁部(32)的截面面积小的截面面积。
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公开(公告)号：CN104074766A
公开(公告)日：2014-10-01
申请号：CN201410116543.X
申请日：2014-03-26
申请人： 株式会社荏原制作所
CPC分类号： F23J13/00 , B01D53/68 , B01D53/76 , B01D2251/102 , B01D2257/204 , B01D2257/553 , B01D2258/0216 , F04B37/14 , F04C25/02 , F04C2220/30 , F23G5/32 , F23G7/065 , F23J2219/00 , F23J2900/01007 , F23L17/00
摘要： 本发明提供带有除害功能的真空泵，通过旋转地供给可将废气和燃料充分稀薄化的量的空气而使其燃烧，能够在处理副产物不熔融或不向除害部内附着的情况下以粉体状态直接排出。本发明提供的真空泵（1），在真空泵（1）的排气口上附设有对从真空泵（1）排出的废气进行处理而使其无害化的除害部（10），除害部（10）在筒状体（11）的一端部侧设有将作为处理对象的废气导入的废气导入口，在另一端部侧设有将处理结束的气体排出的气体出口，在筒状体（11）的周壁上设有喷出燃料的多个燃料喷嘴（16），在筒状体的周壁上设有以沿着周壁的内周面而形成旋转流方式喷出空气的多个空气喷嘴（15），多个空气喷嘴（15）沿筒状体的轴心方向隔开间隔地多级配置。
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公开(公告)号：CN104074766B
公开(公告)日：2018-08-28
申请号：CN201410116543.X
申请日：2014-03-26
申请人： 株式会社荏原制作所
CPC分类号： F23J13/00 , B01D53/68 , B01D53/76 , B01D2251/102 , B01D2257/204 , B01D2257/553 , B01D2258/0216 , F04B37/14 , F04C25/02 , F04C2220/30 , F23G5/32 , F23G7/065 , F23J2219/00 , F23J2900/01007 , F23L17/00
摘要： 本发明提供带有除害功能的真空泵，通过旋转地供给可将废气和燃料充分稀薄化的量的空气而使其燃烧，能够在处理副产物不熔融或不向除害部内附着的情况下以粉体状态直接排出。本发明提供的真空泵（1），在真空泵（1）的排气口上附设有对从真空泵（1）排出的废气进行处理而使其无害化的除害部（10），除害部（10）在筒状体（11）的一端部侧设有将作为处理对象的废气导入的废气导入口，在另一端部侧设有将处理结束的气体排出的气体出口，在筒状体（11）的周壁上设有喷出燃料的多个燃料喷嘴（16），在筒状体的周壁上设有以沿着周壁的内周面而形成旋转流方式喷出空气的多个空气喷嘴（15），多个空气喷嘴（15）沿筒状体的轴心方向隔开间隔地多级配置。
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公开(公告)号：CN104074717B
公开(公告)日：2017-05-24
申请号：CN201410118130.5
申请日：2014-03-27
申请人： 株式会社荏原制作所
CPC分类号： B01D53/343 , C23C16/4412 , F04B37/06 , F04B37/14 , F23G7/065 , Y02C20/30
摘要： 本发明提供一种带除害功能的真空泵，其能够将通过真空泵的压缩热加热了的废气的热量利用于废气的无害化处理，且能够将在除害部中进行的无害化处理中所产生的热量用于向真空泵供给的惰性气体的加热。带除害功能的真空泵是通过在真空泵（1）的排气口附设对从真空泵（1）排出的废气进行处理而使之无害化的除害部而成的真空泵（1），该真空泵（1）设有热交换器（26），该热交换器（26）使用在除害部（10）中进行废气的无害化处理时产生的热量来加热惰性气体，将由热交换器（26）加热了的惰性气体导入真空泵（1）。
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公开(公告)号：CN104179688A
公开(公告)日：2014-12-03
申请号：CN201410217789.6
申请日：2014-05-21
申请人： 株式会社荏原制作所
CPC分类号： B01D53/70 , B01D53/0438 , B01D53/685 , B01D53/74 , B01D53/8659 , B01D53/8662 , B01D53/92 , B01D2251/30 , B01D2252/103 , B01D2253/102 , B01D2253/108 , B01D2253/1124 , B01D2253/206 , B01D2255/10 , B01D2257/2025 , B01D2257/204 , B01D2257/2042 , B01D2257/2045 , B01D2257/553 , B01D2257/556 , B01D2258/0216 , B01D2259/818 , F04B37/06 , F04B37/14
摘要： 本发明以低成本且迅速地提供一种带有除害功能的真空泵，其在真空泵的后级附设有小型且可拆卸的除害部，通过变更所附设的除害部的种类、个数、排列的组合，从而可符合所要求的除害性能。该带有除害功能的真空泵(1)，在真空泵(1)的排气口附设有对从真空泵(1)排出的废气进行处理而无害化的除害部(10)，废气的处理形式及/或废气的处理量及/或废气的处理性能不相同的多个除害部(10)中至少一个除害部(10)与真空泵(1)的排气口连接。
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公开(公告)号：CN104074717A
公开(公告)日：2014-10-01
申请号：CN201410118130.5
申请日：2014-03-27
申请人： 株式会社荏原制作所
CPC分类号： B01D53/343 , C23C16/4412 , F04B37/06 , F04B37/14 , F23G7/065 , Y02C20/30
摘要： 本发明提供一种带除害功能的真空泵，其能够将通过真空泵的压缩热加热了的废气的热量利用于废气的无害化处理，且能够将在除害部中进行的无害化处理中所产生的热量用于向真空泵供给的惰性气体的加热。带除害功能的真空泵是通过在真空泵（1）的排气口附设对从真空泵（1）排出的废气进行处理而使之无害化的除害部而成的真空泵（1），该真空泵（1）设有热交换器（26），该热交换器（26）使用在除害部（10）中进行废气的无害化处理时产生的热量来加热惰性气体，将由热交换器（26）加热了的惰性气体导入真空泵（1）。
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公开(公告)号：CN116265753A
公开(公告)日：2023-06-20
申请号：CN202211611161.5
申请日：2022-12-14
申请人： 株式会社荏原制作所
摘要： 本发明提供一种下述的真空泵装置及其运转方法：能够减少由工艺气体引起的副产物在泵室内的堆积，防止真空泵装置的意外停止，而且能够可靠地进行真空泵装置的再起动。真空泵装置具备：泵壳体(2)，该泵壳体在内部具有泵室(1)；泵转子(5E)，该泵转子配置在泵室(1)内；旋转轴(7)，在该旋转轴固定有泵转子(5E)；轴承(17)，该轴承将旋转轴(7)支承为能够旋转；侧盖(10A)，该侧盖与泵壳体(2)连接；加热器(35)，该加热器安装于侧盖(10A)；以及加热器控制部(40)，该加热器控制部在泵转子(5E)正在旋转时使加热器(35)间歇性地发热，轴承(17)与侧盖(10A)连结。
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公开(公告)号：CN116104762A
公开(公告)日：2023-05-12
申请号：CN202211386301.3
申请日：2022-11-07
申请人： 株式会社荏原制作所
摘要： 提供一种能够将泵壳的转子室的内部维持在较高的温度且容易进行加热器的装卸的真空泵装置。真空泵装置具备：泵壳(2)；配置于转子室(1)内的泵转子(5)；在该旋转轴(7)固定有泵转子(5)；与旋转轴(7)连结的电动机(8)；形成转子室(1)的端面(31a)的侧罩(10A、10B)；在旋转轴(7)的轴向上位于侧罩(10A、10B)的外侧的壳体构造体(14、16)；以及配置于侧罩(10A、10B)内且以能够装卸的方式安装的筒式加热器(70A、70B)，筒式加热器(70A、70B)具有加热器(71)和覆盖加热器(71)的至少一部分的加热器壳(72)，加热器壳(72)具有从该加热器壳的一端延伸至另一端的狭缝(72a)。
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公开(公告)号：CN110985884A
公开(公告)日：2020-04-10
申请号：CN201910921810.3
申请日：2019-09-27
申请人： 株式会社荏原制作所
摘要： 本发明提供一种真空排气系统，其在对内部存在大气压的气体的处理腔室进行抽真空时，能够抑制其他处理腔室中的压力上升。真空排气系统(1)能够用于从处理腔室(PC1、PC2、PC3)排出处理气体。真空排气系统(1)具备多个第一真空泵(BP1、BP2、BP3)、分别与多个第一真空泵(BP1、BP2、BP3)连结的多个缓冲罐(T1、T2、T3)、第二真空泵(MP)、使多个第一真空泵(BP1、BP2、BP3)与第二真空泵(MP)连通的集合管(20)。
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