公开(公告)号：CN105319862A

公开(公告)日：2016-02-10

申请号：CN201510319338.8

申请日：2015-06-11

Applicant: 株式会社阿迪泰克工程

Inventor： 竹田幸一郎 ,  山本健 ,  杉田健一 ,  山崎恒男 ,  姜承俊 ,  大塚明 ,  川崎裕生 ,  比企达也 ,  今井洋之

IPC: G03F7/20

Abstract: 提供光源装置，其使用不同波长的多个光源且不需要按照规定的排列严格配置光源。多个LD模块(1、2)分别具有1个LD和聚光透镜,射出不同波长的激光。各LD模块的LD由控制装置(99)控制其点亮、非点亮及输出(照度)。3个LD模块(1)和1个LD模块(2)的射出光输入第1光纤束部(b1),经由4条第1光纤(5)并通过第1连接器(6)聚集于1条第2光纤(7)。3条第2光纤被引导至第2光纤束部(b2),其出射端侧按照与对曝光头(18)内的DMD(56)的光照射区域形状对应的排列图案集束并与第3光纤(9)连接,经由第2连接器(10)与入射光学系统(40)连接,将激光引导至曝光装置(B)的曝光头(18)。