光束扫描器
    8.
    发明公开
    光束扫描器 审中-实审

    公开(公告)号:CN116300058A

    公开(公告)日:2023-06-23

    申请号:CN202211703135.5

    申请日:2015-10-15

    IPC分类号: G02B26/10

    摘要: 提出了一种具有基板的扫描设备,该基板具有第一表面和相对的平行的第二表面。该基板的区域包括第一表面和相对的平行的第二表面,并且经由穿过基板的厚度的蚀刻工艺来限定,其中该区域保持经由一个或多个铰链附接到基板。波导在该区域的第一表面上方被图案化并且沿着波导的长度引导辐射束。扫描设备包括位于该区域的第一表面上的刻面。刻面被设计成反射辐射束的至少一部分穿过该区域。光学元件位于该区域的第二表面上,并被设计成接收辐射束的反射的部分。

    光束扫描器
    9.
    发明授权

    公开(公告)号:CN107003513B

    公开(公告)日:2023-04-07

    申请号:CN201580067034.5

    申请日:2015-10-15

    IPC分类号: G02B26/10

    摘要: 提出了一种具有基板的扫描设备,该基板具有第一表面和相对的平行的第二表面。该基板的区域包括第一表面和相对的平行的第二表面,并且经由穿过基板的厚度的蚀刻工艺来限定,其中该区域保持经由一个或多个铰链附接到基板。波导在该区域的第一表面上方被图案化并且沿着波导的长度引导辐射束。扫描设备包括位于该区域的第一表面上的刻面。刻面被设计成反射辐射束的至少一部分穿过该区域。光学元件位于该区域的第二表面上,并被设计成接收辐射束的反射的部分。