公开(公告)号：CN116590692A

公开(公告)日：2023-08-15

申请号：CN202310489360.1

申请日：2023-05-04

申请人： 江苏微导纳米科技股份有限公司

发明人： 周芸福 ,  郭云飞 ,  王新征 ,  许允昕 ,  许所昌 ,  周仁 ,  黎微明 ,  吴飚 ,  侯彬

IPC分类号： C23C16/455 ,  C23C16/44 ,  H01L21/67 ,  H01L21/02

摘要： 本发明提供一种喷淋板、反应腔室、使用气体的处理设备以及基片的处理方法，淋板一面为平面、另一面为非平面，可使得本体中部区域的厚度大于两侧区域的厚度，这样气道可以设置在本体的不同厚度处，使得位于中部的气道至喷淋面的距离大于两侧区域气道至喷淋面的距离，这样中部区域的喷淋路径较两侧区域的喷淋路径更长，而喷淋面的中部面向待加工基片的中部区域，喷淋面的两侧区域面向待加工基片的两侧区域，从而，可以通过喷淋路径长度不同，改善进气腔体的混气二次分配的效果，提高混气效率和均匀性，有利于镀膜均匀性的改善。

公开(公告)号：CN112030137A

公开(公告)日：2020-12-04

申请号：CN202010906168.4

申请日：2020-09-01

申请人： 江苏微导纳米科技股份有限公司

发明人： 李翔 ,  许所昌 ,  邹嘉宸 ,  黎微明

IPC分类号： C23C16/442 ,  C23C16/455

摘要： 本发明涉及一种镀膜腔体及粉末镀膜装置，镀膜腔体包括外腔体及收容于外腔体内的多个内腔体。在进行批量的粉末镀膜时，可将大量的粉末分配于多个内腔体内。这样，在总处理量不变的前提下，单个内腔体的体积将显著缩小，且每个内腔体内盛放的粉末的量将大大减小。因此，仅需较小流量的流化气便可使得每个内腔体内的粉末呈现出良好的流化状态。而且，多个内腔体采用分布式布置的方式设于环形收容腔，在总的容纳空间不变的前提下，多个内腔体的总表面积变大。而且，环形收容腔的内外两侧均可进行加热。因此，加热过程中可使内腔体受热更均匀，单个内腔体内粉末的温度一致性较好。因此，上述镀膜腔体及粉末镀膜装置能够显著改善量产时的镀膜效果。

公开(公告)号：CN111619900A

公开(公告)日：2020-09-04

申请号：CN202010595070.1

申请日：2020-06-24

申请人： 江苏微导纳米科技股份有限公司

发明人： 周芸福 ,  许所昌 ,  王新征 ,  龚炳建 ,  黎微明 ,  胡彬

IPC分类号： B65B57/00 ,  B65B43/18 ,  B65B43/30 ,  B65B31/00 ,  B65B35/16 ,  B65B35/20 ,  B65B31/06 ,  B65B51/14 ,  B65B11/04 ,  B65B61/28 ,  B65C9/02 ,  B65C9/06 ,  B65C9/26 ,  B65C9/46

摘要： 一种应用于晶圆盒自动封装设备中的封口模组，包括抽气机构、能够驱动所述抽气机构滑行的驱动装置以及与所述抽气机构配合的封口装置。所述抽气机构设有用以抽气的吸嘴，所述封口装置包括用以限位的压条以及用以封口的封刀。本发明实现了包装袋的自动化封口、解放了人力、提高了生产效率。

公开(公告)号：CN111619898A

公开(公告)日：2020-09-04

申请号：CN202010594952.6

申请日：2020-06-24

申请人： 江苏微导纳米科技股份有限公司

发明人： 周芸福 ,  许所昌 ,  王新征 ,  龚炳建 ,  黎微明 ,  胡彬

IPC分类号： B65B57/00 ,  B65B43/18 ,  B65B43/30 ,  B65B31/00 ,  B65B35/16 ,  B65B35/20 ,  B65B31/06 ,  B65B51/14 ,  B65B11/04 ,  B65B61/28 ,  B65C9/02 ,  B65C9/06 ,  B65C9/26 ,  B65C9/46

摘要： 一种应用于晶圆盒自动封装设备中的进出料装置，包括进料平台和出料平台。所述进料平台包括第一放置平台以及限位机构，所述限位机构能够将所述晶圆盒定位于所述第一放置平台上。所述出料平台包括货叉和第二放置平台，所述第二放置平台滑动定位在能够伸缩运动的所述货叉上。本发明既保证了晶圆盒在进料平台上的传输又提供给操作人员容身之处，方便了维修。

公开(公告)号：CN113106421B

公开(公告)日：2024-09-17

申请号：CN202110317891.3

申请日：2021-03-25

申请人： 江苏微导纳米科技股份有限公司

发明人： 黎微明 ,  李翔 ,  周芸福 ,  王新征 ,  许所昌

IPC分类号： C23C16/455

摘要： 本发明涉及一种ALD喷淋组件，包括基板、盖板及第一进气件。盖板密封连接于基板且覆盖开口，待加工件放置于反应腔内，反应气体从第一进气孔进入进气腔后，进气腔会提供给反应气体一个缓冲空间，经过进气腔缓冲后的气体分布更加均匀。同时，从第一出气口排出的反应气体通过多个第一连通孔进入反应腔，进一步地提高了进入反应腔内的反应气体的均匀性，从而确保了反应腔内的反应气体与待加工件之间的接触更加均匀，使得最终反应气体在待加工件上生成的薄膜更加均匀，提高了薄膜的质量。本发明还涉及一种ALD镀膜设备。

公开(公告)号：CN116437507A

公开(公告)日：2023-07-14

申请号：CN202310692615.4

申请日：2023-06-13

申请人： 江苏微导纳米科技股份有限公司

发明人： 周芸福 ,  黎微明 ,  许允昕 ,  许所昌

IPC分类号： H05B3/02 ,  H05B3/54 ,  H01L21/67 ,  C23C14/22 ,  C23C16/46

摘要： 本申请提供了一种加热设备、半导体镀膜设备以及加热方法，该加热设备包括加热室、第一加热件以及第二加热件，加热室内形成工作腔，第一加热件套设于加热室的外壁，且第一加热件呈带状，呈首尾相接绕设于加热室外壁；第二加热件设置于加热室的一端，第二加热件与第一加热件相邻设置；其中，第一加热件包括：第一导热层，包裹设置于加热室外壁；第二导热层，与第一导热层层叠设置；加热丝，夹设于第一导热层和第二导热层之间。本申请的加热设备通过第一加热件和第二加热件对加热室进行加热，提高加热室内的温度均匀性的同时，做到紧靠加热室，以最短距离进行加热，减少热量损失，提高加热效率。

公开(公告)号：CN111645973A

公开(公告)日：2020-09-11

申请号：CN202010595067.X

申请日：2020-06-24

申请人： 江苏微导纳米科技股份有限公司

发明人： 周芸福 ,  许所昌 ,  王新征 ,  龚炳建 ,  黎微明 ,  胡彬

IPC分类号： B65B65/00 ,  B65B31/04 ,  B65B35/16 ,  B65B43/18 ,  B65B43/30 ,  B65B51/14 ,  B65B61/06 ,  B65B61/24

摘要： 一种应用于晶圆盒自动封装设备中的入袋模组，包括支撑机构以及第一驱动机构。所述支撑机构能够在第三方向上被第一驱动机构驱动而将晶圆盒送入包装袋内。本发明实现了晶圆盒入袋的自动化、解放了人力、提高了生产效率。

公开(公告)号：CN111459218A

公开(公告)日：2020-07-28

申请号：CN202010439980.0

申请日：2020-05-23

申请人： 江苏微导纳米科技股份有限公司

发明人： 黎微明 ,  李翔 ,  王新征 ,  许所昌 ,  李勇 ,  左敏

IPC分类号： G05D27/02

摘要： 一种温度流量控制装置，其包括加热管道、与加热管道并联设置的冷水管道、用以输送水的动力元件以及混合器。加热管道包括并联设置的第一加热管道与第二加热管道，第一加热管道中设有第一加热元件以及第一流量控制阀；第二加热管道中设有第二加热元件以及第二流量控制阀。冷水管道中设有第三流量控制阀。混合器设有第一管道、第二管道、混合腔以及第三管道，第一加热管道的出口与第二加热管道的出口先混合后再与第一管道连通，冷水管道的出口与第二管道连通。本发明能够实现对水的温度和流量的精细控制。本发明还涉及一种温度流量控制装置的控制方法。

公开(公告)号：CN111092242A

公开(公告)日：2020-05-01

申请号：CN201911364754.4

申请日：2020-02-27

申请人： 江苏微导纳米科技股份有限公司

发明人： 黎微明 ,  马树全 ,  许所昌 ,  窦凤祥

IPC分类号： H01M8/0228 ,  H01M8/0204 ,  H01M8/1004 ,  C23C14/06 ,  C23C14/16 ,  C23C14/35 ,  C23C16/06 ,  C23C16/32 ,  C23C16/34 ,  C23C16/40 ,  C23C16/455 ,  B82Y30/00 ,  B82Y40/00

摘要： 本发明公开了一种质子交换膜燃料电池金属双极板多纳米涂层结构的制备方法，属于质子交换膜燃料电池技术领域，该方法包含如下步骤：在清洗处理后的不锈钢或钛合金上利用PVD、CVD、ALD或电沉积中的任一种工艺，制备籽晶层；再利用PVD、CVD、ALD或电沉积工艺中的任一种制备第一功能层；进一步，利用ALD工艺制备分别制备第二功能层，其中籽晶层和催化层至少包含一种。本发明的结构在燃料电池工作的酸性环境下耐腐蚀性更强，同时第二功能层对第一功能层的缺陷也起到了修补、进一步保护的作用，催化层起到到加快反应速率的作用。与传统的涂层方式相比，能大大提高双极板的使用寿命，满足商业化需求。

公开(公告)号：CN116837348A

公开(公告)日：2023-10-03

申请号：CN202310783458.8

申请日：2023-06-28

申请人： 江苏微导纳米科技股份有限公司

发明人： 龚炳建 ,  许所昌 ,  侯永刚

IPC分类号： C23C16/448 ,  C23C16/52

摘要： 本申请提供一种化学物质输送系统及方法，载气进气口通过第一载气支路与汽化器连接，载气进气口通过第二载气支路分别与第一和第二阀门连接；第一阀门连接前级管路，第二阀门连接反应腔体；汽化器通过液体化学物质输送管路，与液体化学物质输送系统连接；汽化器通过薄膜沉积管路分别与第三和第四阀门连接；第三阀门连接前级管路，第四阀门连接反应腔体；第一阀门和第四阀门用于在输送化学蒸汽时开启，在进行吹扫时关闭；第二阀门和第三阀门用于在进行吹扫时开启，在输送化学蒸汽时关闭。从而本申请通过四个阀门之间的快速切换，可快速将大量化学物质输入反应腔，满足微观结构复杂的薄膜沉积的需求。