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公开(公告)号：CN116040955B
公开(公告)日：2023-09-29
申请号：CN202310074481.X
申请日：2023-02-07
申请人： 浙江大学 , 杭州利珀科技有限公司
IPC分类号： C03C15/00
摘要： 本发明公开了一种用于检测系统标定的熔石英表面微纳结构加工方法，包括以下步骤：S1：准备熔石英玻璃基片，依次经过超声机、等离子机清洗后，吹干备用；S2：依次涂覆六甲基二硅氮甲烷、电子束光刻胶、导电胶；S3：采用电子束曝光的方式，将待加工纳米级图形结构转移至表面的电子束光刻胶上；S4：对熔石英玻璃基片进行刻蚀后，洗净熔石英玻璃基片；S5：依次涂覆六甲基二硅氮甲烷、光刻胶；S6：采用激光直写曝光的方式，将待加工微米级图形结构以套刻的形式转移至表面的光刻胶上；S7：对玻璃基片进行刻蚀，洗净玻璃基片，形成最终的玻璃器件结构。利用本发明，可以解决现有标定板中线宽过大、长度无法充满整个幅宽的问题。
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公开(公告)号：CN116040955A
公开(公告)日：2023-05-02
申请号：CN202310074481.X
申请日：2023-02-07
申请人： 浙江大学 , 杭州利珀科技有限公司
IPC分类号： C03C15/00
摘要： 本发明公开了一种用于检测系统标定的熔石英表面微纳结构加工方法，包括以下步骤：S1：准备熔石英玻璃基片，依次经过超声机、等离子机清洗后，吹干备用；S2：依次涂覆六甲基二硅氮甲烷、电子束光刻胶、导电胶；S3：采用电子束曝光的方式，将待加工纳米级图形结构转移至表面的电子束光刻胶上；S4：对熔石英玻璃基片进行刻蚀后，洗净熔石英玻璃基片；S5：依次涂覆六甲基二硅氮甲烷、光刻胶；S6：采用激光直写曝光的方式，将待加工微米级图形结构以套刻的形式转移至表面的光刻胶上；S7：对玻璃基片进行刻蚀，洗净玻璃基片，形成最终的玻璃器件结构。利用本发明，可以解决现有标定板中线宽过大、长度无法充满整个幅宽的问题。
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公开(公告)号：CN114354627B
公开(公告)日：2022-11-22
申请号：CN202210001253.5
申请日：2022-01-04
申请人： 浙江大学
IPC分类号： G01N21/88
摘要： 本发明公开了一种用于表面缺陷检测的环形均匀准直照明装置及方法，环形均匀准直照明装置包括机械调整机构和奇数个照明单元，每个照明单元包括LED光源、光学准直系统、光学放大系统、角度可调反射镜；LED光源发出的光束经光学准直系统、光学放大系统后形成准直均匀光束，经角度可调反射镜反射后倾斜入射到目标面，多路倾斜的准直均匀光束在目标面同一位置叠加，形成具有特定入射方向的圆形均匀照明光斑。本发明中，光学准直系统和光学放大系统的设计使得照明单元出射光线的准直性较好，能够有效抑制暗场成像系统的杂散光，提高表面缺陷检测系统的信噪比；同时目标面上的照度均匀性较好，能够提高采集到图像的背景灰度均匀性，便于后续的图像处理。
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公开(公告)号：CN114354627A
公开(公告)日：2022-04-15
申请号：CN202210001253.5
申请日：2022-01-04
申请人： 浙江大学
IPC分类号： G01N21/88
摘要： 本发明公开了一种用于表面缺陷检测的环形均匀准直照明装置及方法，环形均匀准直照明装置包括机械调整机构和奇数个照明单元，每个照明单元包括LED光源、光学准直系统、光学放大系统、角度可调反射镜；LED光源发出的光束经光学准直系统、光学放大系统后形成准直均匀光束，经角度可调反射镜反射后倾斜入射到目标面，多路倾斜的准直均匀光束在目标面同一位置叠加，形成具有特定入射方向的圆形均匀照明光斑。本发明中，光学准直系统和光学放大系统的设计使得照明单元出射光线的准直性较好，能够有效抑制暗场成像系统的杂散光，提高表面缺陷检测系统的信噪比；同时目标面上的照度均匀性较好，能够提高采集到图像的背景灰度均匀性，便于后续的图像处理。
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公开(公告)号：CN114485499A
公开(公告)日：2022-05-13
申请号：CN202111623860.7
申请日：2021-12-28
申请人： 浙江大学嘉兴研究院
摘要： 本发明公开了一种球面透镜曲率半径和球心位置的自动测量装置及方法，所述的自动测量装置包括样品台、直线导轨、一台精密测距仪、用于数据采集、分析和硬件控制的计算机；所述的样品台上设有夹持机构，用于将待测的球面透镜水平固定在样品台上；所述直线导轨设置在样品台的正上方，所述的精密测距仪的测距方向朝下，正对样品台；所述直线导轨的X、Y轴与样品台的表面平行，直线导轨的Z轴与样品台的表面垂直。测量时，精密测距仪通过直线导轨移动分别采集球面透镜上四个采样点的相对距离；计算机通过相对距离自动计算出球面坐标方程，并输出球心位置和曲率半径。本发明操作步骤简单，实现球面透镜球心和曲率半径的非接触式、快速测量。
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公开(公告)号：CN114113150B
公开(公告)日：2023-10-20
申请号：CN202111306472.6
申请日：2021-11-05
申请人： 浙江大学
IPC分类号： G01N21/958 , G06T7/00 , G06T7/11
摘要： 本发明公开了一种小口径球面透镜表面缺陷检测装置和检测方法，其中，测量装置包括用于放置待测透镜的样品台，用于控制样品台移动的三维位移台，用于照明的环形光源，用于成像的远心镜头，用于图像采集的相机，用于控制样品台移动和图像采集的控制模块，用于缺陷识别的图像处理模块。本发明利用显微成像系统在景深范围内可以对物体清晰成像的特点，控制小口径弯月形球面透镜样品相对于成像系统纵向等间隔移动一定距离，每次移动后采集图像，并进行图像分割和图像融合，获得上下球面的全口径图像，进行缺陷识别与定位。本发明结构简单、测量高效，可以准确区分上下表面的缺陷，实现对曲率半径较小的弯月形球面透镜上下表面缺陷的高效检测。
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公开(公告)号：CN114485533A
公开(公告)日：2022-05-13
申请号：CN202111623901.2
申请日：2021-12-28
申请人： 浙江大学嘉兴研究院
摘要： 本发明公开了一种二次曲面光学元件的轴心测量装置及方法，包括样品台、高精度测距仪、三维位移台和控制器；所述的样品台上设有夹持机构，用于将待测的二次曲面光学元件水平固定在样品台上；所述的三维位移台设置在样品台的正上方；所述的高精度测距仪固定在三维位移台的下端面，朝向样品台；所述三维位移台的X、Y轴与光学元件的轴心互相垂直，用于承载高精度测距仪进行二维平移；三维位移台的Z轴与光学元件的轴心互相平行，用于承载高精度测距仪轴向平移；所述的控制器分别与高精度测距仪和三维位移台电连接。利用本发明，可以实现二次曲面光学元件的非接触式、自动化轴心测量。
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公开(公告)号：CN114113150A
公开(公告)日：2022-03-01
申请号：CN202111306472.6
申请日：2021-11-05
申请人： 浙江大学
IPC分类号： G01N21/958 , G06T7/00 , G06T7/11
摘要： 本发明公开了一种小口径球面透镜表面缺陷检测装置和检测方法，其中，测量装置包括用于放置待测透镜的样品台，用于控制样品台移动的三维位移台，用于照明的环形光源，用于成像的远心镜头，用于图像采集的相机，用于控制样品台移动和图像采集的控制模块，用于缺陷识别的图像处理模块。本发明利用显微成像系统在景深范围内可以对物体清晰成像的特点，控制小口径弯月形球面透镜样品相对于成像系统纵向等间隔移动一定距离，每次移动后采集图像，并进行图像分割和图像融合，获得上下球面的全口径图像，进行缺陷识别与定位。本发明结构简单、测量高效，可以准确区分上下表面的缺陷，实现对曲率半径较小的弯月形球面透镜上下表面缺陷的高效检测。
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公开(公告)号：CN117952953A
公开(公告)日：2024-04-30
申请号：CN202410206508.0
申请日：2024-02-26
申请人： 浙江大学
IPC分类号： G06T7/00 , G06T5/70 , G06F30/27 , G06F111/10
摘要： 本发明公开了一种基于荧光寿命数据的光学元件表面缺陷检测方法，包括：(1)获取待测光学元件样品表面的初始荧光寿命数据，去噪处理得到第一荧光寿命数据；(2)根据仪器响应函数和第一荧光寿命数据，获取第二荧光寿命数据；(3)根据第二荧光寿命数据，利用带柯西核的稳健拟合算法获得荧光寿命拟合模型，进行参数优化，获取拟合荧光寿命值；(4)根据拟合荧光寿命值，利用蒙特卡洛数值模拟方式建立荧光寿命校正模型，获取荧光寿命校正值；(5)根据荧光寿命校正值，获取荧光寿命分布图，进行数字图像处理后提取缺陷信息。利用本发明，可以实现高精度荧光寿命成像，从图像中提取出缺陷信息，实现对光学元件表面缺陷的检测。
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