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    一种用于检测系统标定的熔石英表面微纳结构加工方法
    2.
    发明授权
    一种用于检测系统标定的熔石英表面微纳结构加工方法 有权

    公开(公告)号：CN116040955B

    公开(公告)日：2023-09-29

    申请号：CN202310074481.X

    申请日：2023-02-07

    申请人： 浙江大学 ,  杭州利珀科技有限公司

    发明人： 刘东 ,  郑剑锋 ,  王劭文 ,  王狮凌 ,  刘钰波 ,  王旭龙琦 ,  金秉文 ,  孙剑 ,  李祥平 ,  杨冰

    IPC分类号： C03C15/00

    摘要： 本发明公开了一种用于检测系统标定的熔石英表面微纳结构加工方法，包括以下步骤：S1：准备熔石英玻璃基片，依次经过超声机、等离子机清洗后，吹干备用；S2：依次涂覆六甲基二硅氮甲烷、电子束光刻胶、导电胶；S3：采用电子束曝光的方式，将待加工纳米级图形结构转移至表面的电子束光刻胶上；S4：对熔石英玻璃基片进行刻蚀后，洗净熔石英玻璃基片；S5：依次涂覆六甲基二硅氮甲烷、光刻胶；S6：采用激光直写曝光的方式，将待加工微米级图形结构以套刻的形式转移至表面的光刻胶上；S7：对玻璃基片进行刻蚀，洗净玻璃基片，形成最终的玻璃器件结构。利用本发明，可以解决现有标定板中线宽过大、长度无法充满整个幅宽的问题。

    一种用于检测系统标定的熔石英表面微纳结构加工方法
    3.
    发明公开
    一种用于检测系统标定的熔石英表面微纳结构加工方法 审中-公开

    公开(公告)号：CN116040955A

    公开(公告)日：2023-05-02

    申请号：CN202310074481.X

    申请日：2023-02-07

    申请人： 浙江大学 ,  杭州利珀科技有限公司

    发明人： 刘东 ,  郑剑锋 ,  王劭文 ,  王狮凌 ,  刘钰波 ,  王旭龙琦 ,  金秉文 ,  孙剑 ,  李祥平 ,  杨冰

    IPC分类号： C03C15/00

    摘要： 本发明公开了一种用于检测系统标定的熔石英表面微纳结构加工方法，包括以下步骤：S1：准备熔石英玻璃基片，依次经过超声机、等离子机清洗后，吹干备用；S2：依次涂覆六甲基二硅氮甲烷、电子束光刻胶、导电胶；S3：采用电子束曝光的方式，将待加工纳米级图形结构转移至表面的电子束光刻胶上；S4：对熔石英玻璃基片进行刻蚀后，洗净熔石英玻璃基片；S5：依次涂覆六甲基二硅氮甲烷、光刻胶；S6：采用激光直写曝光的方式，将待加工微米级图形结构以套刻的形式转移至表面的光刻胶上；S7：对玻璃基片进行刻蚀，洗净玻璃基片，形成最终的玻璃器件结构。利用本发明，可以解决现有标定板中线宽过大、长度无法充满整个幅宽的问题。

    一种冷轧钢在线检测多向线性照明装置及其应用
    4.
    发明公开
    一种冷轧钢在线检测多向线性照明装置及其应用 审中-实审

    公开(公告)号：CN116027616A

    公开(公告)日：2023-04-28

    申请号：CN202310177371.6

    申请日：2023-02-28

    申请人： 浙江大学 ,  杭州利珀科技有限公司

    发明人： 刘东 ,  陈名渝 ,  郑剑锋 ,  王狮凌 ,  王旭龙琦 ,  金秉文 ,  孙剑 ,  李祥平 ,  杨冰

    IPC分类号： G03B15/02 ,  F21V21/14 ,  G01N21/892 ,  G01N21/01

    摘要： 本发明公开了一种冷轧钢在线检测多向线性照明装置及其应用，包括上表面照明主体、下表面照明主体和连接结构；上表面照明主体和下表面照明主体的结构相同，均包括由阵列连接件固定的若干个照明单元；每个照明单元包括由散热片、壳体和出光口组成的外壳以及在壳体内设置的LED阵列、聚光器件、横向光栅、匀化器件和纵向光栅；LED阵列由一字排列的若干RGB LED灯珠组成；聚光器件用于将LED阵列产生的光进行汇聚；横向光栅用于消除照明单元内的杂散光；匀化器件用于对经过横向光栅的光进行匀化；纵向光栅用于将光源整形成与物体运动方向相垂直的纵向交叉光。利用本发明，可根据冷轧钢等长带状产品幅宽和表面反射特性等特点灵活调整以此提供合适的照明。