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公开(公告)号:CN101546131A
公开(公告)日:2009-09-30
申请号:CN200910082324.3
申请日:2009-04-14
Applicant: 清华大学 , 深圳市东方宇之光电子科技有限公司
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明涉及一种基于激光光绘机的输出图像几何误差校正方法,其特征在于:将原始二维图像数组输入图像误差校正模块,通过倾斜密排误差校正、水平基线角度误差校正或任意水平直线误差校正,对所述光栅图像数据进行无效数据扩充和数据位置调换,实现几何误差校正;将校正后的图像数据输出到图像数据输出单元。本发明的图像采集和处理电路采用像素区域自动曝光和读取的方法,可以大大提高系统的更新率,提高系统的处理速度,也为本发明所采用的预测区域和图像相关算法提供了保证,且位置校正分辨率达到1/N光纤直径,且保持行长内的有效点数不变。本发明的方法由于通过计算机软件进行,因此校正精度和校正值实时可编程,可以按图像的二维网格地址实时改变校正值。
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公开(公告)号:CN103400603A
公开(公告)日:2013-11-20
申请号:CN201310272207.X
申请日:2013-07-01
Applicant: 清华大学
IPC: G12B5/00
Abstract: 本发明公开了一种抗扭转并联双驱运动解耦伺服平台,包括:基座;下层和上层直线电机组;解耦组件;支撑组件,连接组件和伺服运动平台。根据本发明实施例的抗扭转并联双驱运动解耦平台,采用抗扭转并联双驱式结构,通过平台正下方两层交错排布的导轨实现平台解耦,各分列于平台外侧的平行支撑导轨抑制了平台的扭转,第一和第二水平方向的运动组件可以互换,便于加工及维护,并且在工作时更容易保证运动平台在运动时的水平度,采用双驱的设计使得驱动力经过运动质量中心有利于实现高速高精度控制。从驱动力电信号的输入到运动平台的运动的执行结果在每个运动方向上更加一致,有利于控制平面运动的轨迹轮廓精度。
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公开(公告)号:CN101618517A
公开(公告)日:2010-01-06
申请号:CN200910182140.4
申请日:2009-07-14
Applicant: 南通科技投资集团股份有限公司 , 清华大学
Abstract: 本发明公开了一种多驱动单元组成的进给系统,包括工作台,工作台通过导轨与基体相联,双驱动单元分别设置在工作台上部两侧,在工作台下部设置另外的驱动单元。本发明所述进给系统结构实现工作台重心位置在垂直于驱动力方向平面内任意变化时,驱动力及外力形成的相对重心的力矩均得到补偿,最大程度抑制进给系统机械振动;可提高进给系统加速度;可提高工件加工的表面质量。
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公开(公告)号:CN101546131B
公开(公告)日:2010-12-01
申请号:CN200910082324.3
申请日:2009-04-14
Applicant: 清华大学 , 深圳市东方宇之光电子科技有限公司
IPC: G03F7/20
Abstract: 本发明涉及一种基于激光光绘机的输出图像几何误差校正方法,其特征在于:将原始二维图像数组输入图像误差校正模块,通过倾斜密排误差校正、水平基线角度误差校正或任意水平直线误差校正,对所述光栅图像数据进行无效数据扩充和数据位置调换,实现几何误差校正;将校正后的图像数据输出到图像数据输出单元。本发明的图像采集和处理电路采用像素区域自动曝光和读取的方法,可以大大提高系统的更新率,提高系统的处理速度,也为本发明所采用的预测区域和图像相关算法提供了保证,且位置校正分辨率达到1/N光纤直径,且保持行长内的有效点数不变。本发明的方法由于通过计算机软件进行,因此校正精度和校正值实时可编程,可以按图像的二维网格地址实时改变校正值。
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公开(公告)号:CN103400603B
公开(公告)日:2016-09-21
申请号:CN201310272207.X
申请日:2013-07-01
Applicant: 清华大学
IPC: G12B5/00
Abstract: 本发明公开了一种抗扭转并联双驱运动解耦伺服平台,包括:基座;下层和上层直线电机组;解耦组件;支撑组件,连接组件和伺服运动平台。根据本发明实施例的抗扭转并联双驱运动解耦平台,采用抗扭转并联双驱式结构,通过平台正下方两层交错排布的导轨实现平台解耦,各分列于平台外侧的平行支撑导轨抑制了平台的扭转,第一和第二水平方向的运动组件可以互换,便于加工及维护,并且在工作时更容易保证运动平台在运动时的水平度,采用双驱的设计使得驱动力经过运动质量中心有利于实现高速高精度控制。从驱动力电信号的输入到运动平台的运动的执行结果在每个运动方向上更加一致,有利于控制平面运动的轨迹轮廓精度。
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公开(公告)号:CN101618517B
公开(公告)日:2011-01-05
申请号:CN200910182140.4
申请日:2009-07-14
Applicant: 南通科技投资集团股份有限公司 , 清华大学
Abstract: 本发明公开了一种多驱动单元组成的进给系统,包括工作台,工作台通过导轨与基体相联,双驱动单元分别设置在工作台上部两侧,在工作台下部设置另外的驱动单元。本发明所述进给系统结构实现工作台重心位置在垂直于驱动力方向平面内任意变化时,驱动力及外力形成的相对重心的力矩均得到补偿,最大程度抑制进给系统机械振动;可提高进给系统加速度;可提高工件加工的表面质量。
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